Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges

Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the differ...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2011
Hauptverfasser: Glazunov, G.P., Andreev, A.A., Bondarenko, M.N., Konotopskiy, A.L., Stolbovoy, V.A.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90894
record_format dspace
spelling Glazunov, G.P.
Andreev, A.A.
Bondarenko, M.N.
Konotopskiy, A.L.
Stolbovoy, V.A.
2016-01-05T18:29:17Z
2016-01-05T18:29:17Z
2011
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.40.Hf
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior.
Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної поведінки.
Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения различного характера эрозионного поведения.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Ерозія вакуумно-дугових TiN-покриттів в плазмі стаціонарних розрядів магнетронного типу
Эрозия вакуумно-дуговых TiN-покрытий в плазме стационарных разрядов магнетронного типа
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
spellingShingle Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Glazunov, G.P.
Andreev, A.A.
Bondarenko, M.N.
Konotopskiy, A.L.
Stolbovoy, V.A.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
title_full Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
title_fullStr Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
title_full_unstemmed Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
title_sort erosion of vacuum-arc tin coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
author Glazunov, G.P.
Andreev, A.A.
Bondarenko, M.N.
Konotopskiy, A.L.
Stolbovoy, V.A.
author_facet Glazunov, G.P.
Andreev, A.A.
Bondarenko, M.N.
Konotopskiy, A.L.
Stolbovoy, V.A.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2011
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Ерозія вакуумно-дугових TiN-покриттів в плазмі стаціонарних розрядів магнетронного типу
Эрозия вакуумно-дуговых TiN-покрытий в плазме стационарных разрядов магнетронного типа
description Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior. Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної поведінки. Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения различного характера эрозионного поведения.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894
citation_txt Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT glazunovgp erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges
AT andreevaa erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges
AT bondarenkomn erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges
AT konotopskiyal erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges
AT stolbovoyva erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges
AT glazunovgp erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu
AT andreevaa erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu
AT bondarenkomn erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu
AT konotopskiyal erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu
AT stolbovoyva erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu
AT glazunovgp éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT andreevaa éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT bondarenkomn éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT konotopskiyal éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT stolbovoyva éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa
first_indexed 2025-12-07T17:11:15Z
last_indexed 2025-12-07T17:11:15Z
_version_ 1850870307352477696