Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the differ...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90894 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. 2016-01-05T18:29:17Z 2016-01-05T18:29:17Z 2011 Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.Hf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894 Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior. Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної поведінки. Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения различного характера эрозионного поведения. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges Ерозія вакуумно-дугових TiN-покриттів в плазмі стаціонарних розрядів магнетронного типу Эрозия вакуумно-дуговых TiN-покрытий в плазме стационарных разрядов магнетронного типа Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| spellingShingle |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_full |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_fullStr |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_full_unstemmed |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| title_sort |
erosion of vacuum-arc tin coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges |
| author |
Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. |
| author_facet |
Glazunov, G.P. Andreev, A.A. Bondarenko, M.N. Konotopskiy, A.L. Stolbovoy, V.A. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2011 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Ерозія вакуумно-дугових TiN-покриттів в плазмі стаціонарних розрядів магнетронного типу Эрозия вакуумно-дуговых TiN-покрытий в плазме стационарных разрядов магнетронного типа |
| description |
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different
ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible
physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior.
Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними
методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності
на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної
поведінки.
Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя
различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов
отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения
различного характера эрозионного поведения.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894 |
| citation_txt |
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT glazunovgp erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT andreevaa erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT bondarenkomn erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT konotopskiyal erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT stolbovoyva erosionofvacuumarctincoatingsinplasmaofstationarymagnetrontypedischarges AT glazunovgp erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu AT andreevaa erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu AT bondarenkomn erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu AT konotopskiyal erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu AT stolbovoyva erozíâvakuumnodugovihtinpokrittívvplazmístacíonarnihrozrâdívmagnetronnogotipu AT glazunovgp éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT andreevaa éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT bondarenkomn éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT konotopskiyal éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa AT stolbovoyva éroziâvakuumnodugovyhtinpokrytiivplazmestacionarnyhrazrâdovmagnetronnogotipa |
| first_indexed |
2025-12-07T17:11:15Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:11:15Z |
| _version_ |
1850870307352477696 |