Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the differ...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | Glazunov, G.P., Andreev, A.A., Bondarenko, M.N., Konotopskiy, A.L., Stolbovoy, V.A. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
The effect of nitrogen pressure during vacuum-arc TiN coatings deposition on the erosoin resistance in plasma of magnetron type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2014) -
The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013) -
Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013) -
Erosion of vacuum-arc TiN coatings and stainless steel under the influence of stationary plasma discharges of a magnetron type
за авторством: G. P. Glazunov, та інші
Опубліковано: (2011) -
Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma
за авторством: Konovalov, V.G., та інші
Опубліковано: (2011)