Зображення обкладинки

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges

Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to ex...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2011
Автори:	Glazunov, G.P., Andreev, A.A., Bondarenko, M.N., Konotopskiy, A.L., Stolbovoy, V.A.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90894
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

The effect of nitrogen pressure during vacuum-arc TiN coatings deposition on the erosoin resistance in plasma of magnetron type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2014)

The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2013)

Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma
за авторством: Konovalov, V.G., та інші
Опубліковано: (2011)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings and stainless steel under the influence of stationary plasma discharges of a magnetron type
за авторством: G. P. Glazunov, та інші
Опубліковано: (2011)

On the influence of electrode erosion on properties of nonideal plasma of underwater discharges
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2012)

Calculations for parameters of a stationary reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Optimization of a vacuum spark discharge as an X-ray source
за авторством: Bashutin, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Plasma of arc discharge between melting Cu- and Ni-electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Deposition of chromium nitride coatings from vacuum arc plasma in increased nitrogen pressure
за авторством: Ovcharenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2014)

Spectroscopy of heterophase plasma of electric ARC discharge between W and Mo electrodes
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Erosion behavior of W-Ta coatings in plasmas of stationary mirror Penning discharges
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)

Non-equilibrium plasma properties of electric arc discharge in air between copper electrodes
за авторством: Boretskij, V., та інші
Опубліковано: (2012)

Non-self-sustained arc discharge in vapors of constructional materials of nuclear power engineering
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Thermal plasma of electric arc discharge in air between composite Cu-C electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Magnetron with a concave hemispherical cathode
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Erosion behavior of tungsten coatings in magnetron type discharges with hot cathode
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2008)

Current cathode spots in the glow discharge normal regime as a stationary dissipative structure: macroscopic parameters
за авторством: Ponomaryov, O.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of electric arc discharge plasma between one-component Cu and Ni and composite Ag-Ni electrodes
за авторством: Veklich, A., та інші
Опубліковано: (2017)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Formation of MoO₃ crystals in electric arc plasma source
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)

The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)

Properties of secondary discharge in plasma-liquid system based on rotating gliding discharge
за авторством: Hamazin, D.K., та інші
Опубліковано: (2017)

Ethanol conversion in glow and barrier discharges
за авторством: Levko, D.S., та інші
Опубліковано: (2014)