Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor

In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of w...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2011
Hauptverfasser: Tseluyko, A.F., Lazurik, V.T., Ryabchikov, D.L., Hassanein, A., Borgun, I.V., Sereda, I.N., Borisko, S.V.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schlagworte:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90952
record_format dspace
spelling Tseluyko, A.F.
Lazurik, V.T.
Ryabchikov, D.L.
Hassanein, A.
Borgun, I.V.
Sereda, I.N.
Borisko, S.V.
2016-01-06T12:00:21Z
2016-01-06T12:00:21Z
2011
Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.75.-d; 52.59Mv
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952
In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of wall currents space distribution and power of wall effect were experimentally investigated. It has been shown, that the ring area in anode flat is undergone by main influence. It was detected the rapid decreasing of energetic wall effect at distance from discharge axis increasing from 8 to 12 cm.
Досліджується рівень впливу плазми сильнострумового імпульсного розряду на стінку камери, що важливо для вибору місця розташування першого дзеркала нанолітографу, що збирає з газорозрядним джерелом випромінювання. В сильнострумовому імпульсному розряді в парах олова експериментально вивчена динаміка просторового розподілення пристінних струмів та потужності впливу на стінку. Показано, що найбільшому впливу підлягає кільцева область в площині аноду. Виявлено різкий спад енергетичного впливу на стінку при збільшені відстані від осі розряду з 8 до 12 см.
Исследуется уровень воздействия плазмы сильноточного импульсного разряда на стенку камеры, что важно для выбора месторасположения первого собирающего зеркала нанолитографа с газоразрядным источником излучения. В сильноточном импульсном разряде в парах олова экспериментально изучена динамика пространственного распределения пристеночных токов и мощности воздействия на стенку. Показано, что наибольшему воздействию подвергается кольцевая область в плоскости анода. Обнаружено резкое спадение энергетического воздействия на стенку при увеличении расстояния от оси разряда с 8 до 12 см.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
Динаміка пристіночних струмів в сильнострумовому імпульсному плазмовому діоді в парах олова
Динамика пристеночных токов в сильноточном импульсном плазменном диоде в парах олова
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
spellingShingle Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
Tseluyko, A.F.
Lazurik, V.T.
Ryabchikov, D.L.
Hassanein, A.
Borgun, I.V.
Sereda, I.N.
Borisko, S.V.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
title_full Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
title_fullStr Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
title_full_unstemmed Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
title_sort dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
author Tseluyko, A.F.
Lazurik, V.T.
Ryabchikov, D.L.
Hassanein, A.
Borgun, I.V.
Sereda, I.N.
Borisko, S.V.
author_facet Tseluyko, A.F.
Lazurik, V.T.
Ryabchikov, D.L.
Hassanein, A.
Borgun, I.V.
Sereda, I.N.
Borisko, S.V.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2011
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Динаміка пристіночних струмів в сильнострумовому імпульсному плазмовому діоді в парах олова
Динамика пристеночных токов в сильноточном импульсном плазменном диоде в парах олова
description In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of wall currents space distribution and power of wall effect were experimentally investigated. It has been shown, that the ring area in anode flat is undergone by main influence. It was detected the rapid decreasing of energetic wall effect at distance from discharge axis increasing from 8 to 12 cm. Досліджується рівень впливу плазми сильнострумового імпульсного розряду на стінку камери, що важливо для вибору місця розташування першого дзеркала нанолітографу, що збирає з газорозрядним джерелом випромінювання. В сильнострумовому імпульсному розряді в парах олова експериментально вивчена динаміка просторового розподілення пристінних струмів та потужності впливу на стінку. Показано, що найбільшому впливу підлягає кільцева область в площині аноду. Виявлено різкий спад енергетичного впливу на стінку при збільшені відстані від осі розряду з 8 до 12 см. Исследуется уровень воздействия плазмы сильноточного импульсного разряда на стенку камеры, что важно для выбора месторасположения первого собирающего зеркала нанолитографа с газоразрядным источником излучения. В сильноточном импульсном разряде в парах олова экспериментально изучена динамика пространственного распределения пристеночных токов и мощности воздействия на стенку. Показано, что наибольшему воздействию подвергается кольцевая область в плоскости анода. Обнаружено резкое спадение энергетического воздействия на стенку при увеличении расстояния от оси разряда с 8 до 12 см.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952
citation_txt Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT tseluykoaf dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT lazurikvt dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT ryabchikovdl dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT hassaneina dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT borguniv dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT seredain dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT boriskosv dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor
AT tseluykoaf dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT lazurikvt dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT ryabchikovdl dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT hassaneina dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT borguniv dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT seredain dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT boriskosv dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova
AT tseluykoaf dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
AT lazurikvt dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
AT ryabchikovdl dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
AT hassaneina dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
AT borguniv dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
AT seredain dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
AT boriskosv dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova
first_indexed 2025-12-01T09:57:15Z
last_indexed 2025-12-01T09:57:15Z
_version_ 1850859831578066945

Ähnliche Einträge