Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is
 important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In
 the high-current pulse discharge in tin vapor...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862644918082600960 |
|---|---|
| author | Tseluyko, A.F. Lazurik, V.T. Ryabchikov, D.L. Hassanein, A. Borgun, I.V. Sereda, I.N. Borisko, S.V. |
| author_facet | Tseluyko, A.F. Lazurik, V.T. Ryabchikov, D.L. Hassanein, A. Borgun, I.V. Sereda, I.N. Borisko, S.V. |
| citation_txt | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is
important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In
the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of wall currents space distribution and power of wall effect
were experimentally investigated. It has been shown, that the ring area in anode flat is undergone by main influence. It
was detected the rapid decreasing of energetic wall effect at distance from discharge axis increasing from 8 to 12 cm.
Досліджується рівень впливу плазми сильнострумового імпульсного розряду на стінку камери, що важливо
для вибору місця розташування першого дзеркала нанолітографу, що збирає з газорозрядним джерелом
випромінювання. В сильнострумовому імпульсному розряді в парах олова експериментально вивчена динаміка
просторового розподілення пристінних струмів та потужності впливу на стінку. Показано, що найбільшому
впливу підлягає кільцева область в площині аноду. Виявлено різкий спад енергетичного впливу на стінку при
збільшені відстані від осі розряду з 8 до 12 см.
Исследуется уровень воздействия плазмы сильноточного импульсного разряда на стенку камеры, что важно
для выбора месторасположения первого собирающего зеркала нанолитографа с газоразрядным источником
излучения. В сильноточном импульсном разряде в парах олова экспериментально изучена динамика
пространственного распределения пристеночных токов и мощности воздействия на стенку. Показано, что
наибольшему воздействию подвергается кольцевая область в плоскости анода. Обнаружено резкое спадение
энергетического воздействия на стенку при увеличении расстояния от оси разряда с 8 до 12 см.
|
| first_indexed | 2025-12-01T09:57:15Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90952 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T09:57:15Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Tseluyko, A.F. Lazurik, V.T. Ryabchikov, D.L. Hassanein, A. Borgun, I.V. Sereda, I.N. Borisko, S.V. 2016-01-06T12:00:21Z 2016-01-06T12:00:21Z 2011 Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.75.-d; 52.59Mv https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952 In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is
 important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In
 the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of wall currents space distribution and power of wall effect
 were experimentally investigated. It has been shown, that the ring area in anode flat is undergone by main influence. It
 was detected the rapid decreasing of energetic wall effect at distance from discharge axis increasing from 8 to 12 cm. Досліджується рівень впливу плазми сильнострумового імпульсного розряду на стінку камери, що важливо
 для вибору місця розташування першого дзеркала нанолітографу, що збирає з газорозрядним джерелом
 випромінювання. В сильнострумовому імпульсному розряді в парах олова експериментально вивчена динаміка
 просторового розподілення пристінних струмів та потужності впливу на стінку. Показано, що найбільшому
 впливу підлягає кільцева область в площині аноду. Виявлено різкий спад енергетичного впливу на стінку при
 збільшені відстані від осі розряду з 8 до 12 см. Исследуется уровень воздействия плазмы сильноточного импульсного разряда на стенку камеры, что важно
 для выбора месторасположения первого собирающего зеркала нанолитографа с газоразрядным источником
 излучения. В сильноточном импульсном разряде в парах олова экспериментально изучена динамика
 пространственного распределения пристеночных токов и мощности воздействия на стенку. Показано, что
 наибольшему воздействию подвергается кольцевая область в плоскости анода. Обнаружено резкое спадение
 энергетического воздействия на стенку при увеличении расстояния от оси разряда с 8 до 12 см. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor Динаміка пристіночних струмів в сильнострумовому імпульсному плазмовому діоді в парах олова Динамика пристеночных токов в сильноточном импульсном плазменном диоде в парах олова Article published earlier |
| spellingShingle | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor Tseluyko, A.F. Lazurik, V.T. Ryabchikov, D.L. Hassanein, A. Borgun, I.V. Sereda, I.N. Borisko, S.V. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor |
| title_alt | Динаміка пристіночних струмів в сильнострумовому імпульсному плазмовому діоді в парах олова Динамика пристеночных токов в сильноточном импульсном плазменном диоде в парах олова |
| title_full | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor |
| title_fullStr | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor |
| title_full_unstemmed | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor |
| title_short | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor |
| title_sort | dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952 |
| work_keys_str_mv | AT tseluykoaf dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT lazurikvt dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT ryabchikovdl dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT hassaneina dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT borguniv dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT seredain dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT boriskosv dynamicofwallcurrentsinpulseplasmadiodeintinvapor AT tseluykoaf dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT lazurikvt dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT ryabchikovdl dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT hassaneina dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT borguniv dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT seredain dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT boriskosv dinamíkapristínočnihstrumívvsilʹnostrumovomuímpulʹsnomuplazmovomudíodívparaholova AT tseluykoaf dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova AT lazurikvt dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova AT ryabchikovdl dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova AT hassaneina dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova AT borguniv dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova AT seredain dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova AT boriskosv dinamikapristenočnyhtokovvsilʹnotočnomimpulʹsnomplazmennomdiodevparaholova |