Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
In the paper the level of high-current pulse discharge plasma influence on the chamber wall is carried out, that is important for position choosing of the nanolithographer first collecting mirror with gas-discharge radiation source. In the high-current pulse discharge in tin vapor the dynamic of w...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90952 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor / A.F. Tseluyko, V.T. Lazurik, D.L. Ryabchikov, A. Hassanein, I.V. Borgun , I.N. Sereda, S.V. Borisko // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 143-145. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)
Influence of external magnetic field on intensity and directivity of EUV radiation from high-current pulse plasma diode
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Dynamics of EUV-radiation from the partially contracted plasma diode
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)
Influence of hydrogen supply on emissive characteristics of pig with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Hydrogen injector based on penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
Formation of forest of single-walled carbon nanotubes in plasma-enhanced chemical vapor deposition
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2012)
Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
The capacitive component of double layer current in plasma
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
Effect of the external magnetic field on the dynamics and power of the self-sustained plasma-beam discharge
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
Obtaining silicon carbide via chemical vapor, plasma-chemical and sublimation methods
за авторством: Zhuravlov, А.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Zhuravlov, А.Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
Low pressure gas discharge in magnetically insulated diode
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Jamirzoev, A., та інші
Опубліковано: (2015)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Several peaks of total current in Trichel pulse
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2015)
Growth of forest of single-walled carbon nanotubes at inhomogenious fluxes from plasma
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Burmaka, G.P., та інші
Опубліковано: (2015)
Current waveforms for pulse microdischarge inside dielectric cell
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Researching of acoustic waves in plasma-liquid system with pulsed discharge
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)
The obtaining and properties investigation of plasma formation at pulse discharge in water aerosol
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Radiation of multicomponent gas-metal plasma of a pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Azimuthal instability of the pulsed positive glow corona and sinuous streamer trace
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bolotov, O., та інші
Опубліковано: (2014)
The research of double-pulse discharge in a plasma-liquid system with cylindrical geometry
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2012)
Propagation of multicomponent plasma oscillations along the magnetic field in the pulsed reflex discharge
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2012)
Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)
Influence of plasma stream parameters in pulsed plasma gun on modification processes in exposed structural materials
за авторством: Byrka, O.V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Byrka, O.V., та інші
Опубліковано: (2011)
On features of the radiation from pulsed discharges initiated by thick wires in water
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)
About unrealization of tungsten lines up to the ground state in the nonideal plasma of pulse discharges in water
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O.A.
Опубліковано: (2009)
Investigation of electron cut-off in a cylindrical electrode system in pulsed magnetic field of an inductor
за авторством: Drozd, I., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Drozd, I., та інші
Опубліковано: (2018)
Effect of quasi-hydrostatic extrusion on microhardness in CuCrZr alloy
за авторством: Belyaeva, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Belyaeva, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Features of atmospheric pressure discharges with a transverse component of the velocity of gas flow to the current channel
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2018)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Behavior of molybdenum target in condition of irradiation by the high current relativistic electron beam
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2018)