Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
At present study the result of development and investigations of cluster technological set-up for synthesis of complex compound composites is demonstrated. The present set-up consist of complimentary DC-magnetron system, RF-inductive plasma source and ion source. The system allows to independently...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90956 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis / S.D. Yakovin, S.V. Dudin, A.V. Zykov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90956 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Yakovin, S.D. Dudin, S.V. Zykov, A.V. Farenik, V.I. 2016-01-06T12:08:58Z 2016-01-06T12:08:58Z 2011 Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis / S.D. Yakovin, S.V. Dudin, A.V. Zykov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90956 At present study the result of development and investigations of cluster technological set-up for synthesis of complex compound composites is demonstrated. The present set-up consist of complimentary DC-magnetron system, RF-inductive plasma source and ion source. The system allows to independently form the fluxes of metal atoms, chemically active particles, ions and also to synthesize the thin films of complex compound composites, including nanocomposites. Various types of high-quality coatings such as Al2O3, AlN, TiO2, TiN, ZrO2 and others with thickness up to 10 mkm have been synthesized using the described set-up. Представлено результати розробки і дослідження технологічної установки для синтезу складно- композитних сполук на поверхні. Установка складається з комплементарних модулів магнетрона постійного струму, ВЧ-індукційного джерела плазми і джерела іонів. Система дозволяє незалежно формувати потоки металевих атомів, хімічно активних часток, іонів і синтезувати тонкі складнокомпозитні плівки, включаючи нанокомпозити. На цій установці було отримано різні типи високоякісних покриттів, таких як Al2O3, AlN, TiO2, TiN, ZrO2 та ін., товщиною до 10 мкм. Представлены результаты разработки и исследования технологической установки для синтеза сложно- композитных соединений на поверхности. Установка состоит из комплементарных модулей магнетрона постоянного тока, ВЧ-индукционного источника плазмы и источника ионов. Система позволяет независимо формировать потоки металлических атомов, химически активных частиц, ионов и синтезировать тонкие сложнокомпозитные пленки, включая нанокомпозиты. На представленной установке были получены различные типы высококачественных покрытий, таких как Al2O3, AlN, TiO2, TiN, ZrO2 и др., толщиной до 10 мкм. The work was supported by Ministry of Education and Science of Ukraine, Project 0109U001323. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis Інтегральна кластерна установка для синтезу складнокомпозитних структур Интегральная кластерная установка для синтеза сложнокомпозитных структур Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis |
| spellingShingle |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis Yakovin, S.D. Dudin, S.V. Zykov, A.V. Farenik, V.I. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis |
| title_full |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis |
| title_fullStr |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis |
| title_full_unstemmed |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis |
| title_sort |
integral cluster set-up for complex compound composites syntesis |
| author |
Yakovin, S.D. Dudin, S.V. Zykov, A.V. Farenik, V.I. |
| author_facet |
Yakovin, S.D. Dudin, S.V. Zykov, A.V. Farenik, V.I. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2011 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Інтегральна кластерна установка для синтезу складнокомпозитних структур Интегральная кластерная установка для синтеза сложнокомпозитных структур |
| description |
At present study the result of development and investigations of cluster technological set-up for synthesis of
complex compound composites is demonstrated. The present set-up consist of complimentary DC-magnetron system,
RF-inductive plasma source and ion source. The system allows to independently form the fluxes of metal atoms,
chemically active particles, ions and also to synthesize the thin films of complex compound composites, including
nanocomposites. Various types of high-quality coatings such as Al2O3, AlN, TiO2, TiN, ZrO2 and others with thickness
up to 10 mkm have been synthesized using the described set-up.
Представлено результати розробки і дослідження технологічної установки для синтезу складно-
композитних сполук на поверхні. Установка складається з комплементарних модулів магнетрона постійного
струму, ВЧ-індукційного джерела плазми і джерела іонів. Система дозволяє незалежно формувати потоки
металевих атомів, хімічно активних часток, іонів і синтезувати тонкі складнокомпозитні плівки, включаючи
нанокомпозити. На цій установці було отримано різні типи високоякісних покриттів, таких як Al2O3, AlN, TiO2,
TiN, ZrO2 та ін., товщиною до 10 мкм.
Представлены результаты разработки и исследования технологической установки для синтеза сложно-
композитных соединений на поверхности. Установка состоит из комплементарных модулей магнетрона
постоянного тока, ВЧ-индукционного источника плазмы и источника ионов. Система позволяет независимо
формировать потоки металлических атомов, химически активных частиц, ионов и синтезировать тонкие
сложнокомпозитные пленки, включая нанокомпозиты. На представленной установке были получены различные
типы высококачественных покрытий, таких как Al2O3, AlN, TiO2, TiN, ZrO2 и др., толщиной до 10 мкм.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90956 |
| citation_txt |
Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis / S.D. Yakovin, S.V. Dudin, A.V. Zykov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT yakovinsd integralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT dudinsv integralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT zykovav integralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT farenikvi integralclustersetupforcomplexcompoundcompositessyntesis AT yakovinsd íntegralʹnaklasternaustanovkadlâsintezuskladnokompozitnihstruktur AT dudinsv íntegralʹnaklasternaustanovkadlâsintezuskladnokompozitnihstruktur AT zykovav íntegralʹnaklasternaustanovkadlâsintezuskladnokompozitnihstruktur AT farenikvi íntegralʹnaklasternaustanovkadlâsintezuskladnokompozitnihstruktur AT yakovinsd integralʹnaâklasternaâustanovkadlâsintezasložnokompozitnyhstruktur AT dudinsv integralʹnaâklasternaâustanovkadlâsintezasložnokompozitnyhstruktur AT zykovav integralʹnaâklasternaâustanovkadlâsintezasložnokompozitnyhstruktur AT farenikvi integralʹnaâklasternaâustanovkadlâsintezasložnokompozitnyhstruktur |
| first_indexed |
2025-12-07T19:13:54Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:13:54Z |
| _version_ |
1850878024071774208 |