Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Yakovin, S.D., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Farenik, V.I.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Schlagworte: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90956
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis / S.D. Yakovin, S.V. Dudin, A.V. Zykov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

At present study the result of development and investigations of cluster technological set-up for synthesis of
 complex compound composites is demonstrated. The present set-up consist of complimentary DC-magnetron system,
 RF-inductive plasma source and ion source. The system allows...