Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механ...
Saved in:
| Date: | 2004 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2004
|
| Series: | Современная электрометаллургия |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95062 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов / О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 1 (74). — С. 19-21. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-95062 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-950622025-02-09T14:24:04Z Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов Шаламберидзе, О.П. Хаханашвили, К.Г. Ломая, Т.П. Демчишин, А.В. Электронно-лучевые процессы На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механизм информирования в зависимости от скорости испарения и температуры конденсации. 2004 Article Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов / О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 1 (74). — С. 19-21. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 0233-7681 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95062 ru Современная электрометаллургия application/pdf Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Электронно-лучевые процессы Электронно-лучевые процессы |
| spellingShingle |
Электронно-лучевые процессы Электронно-лучевые процессы Шаламберидзе, О.П. Хаханашвили, К.Г. Ломая, Т.П. Демчишин, А.В. Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов Современная электрометаллургия |
| description |
На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механизм информирования в зависимости от скорости испарения и температуры конденсации. |
| format |
Article |
| author |
Шаламберидзе, О.П. Хаханашвили, К.Г. Ломая, Т.П. Демчишин, А.В. |
| author_facet |
Шаламберидзе, О.П. Хаханашвили, К.Г. Ломая, Т.П. Демчишин, А.В. |
| author_sort |
Шаламберидзе, О.П. |
| title |
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов |
| title_short |
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов |
| title_full |
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов |
| title_fullStr |
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов |
| title_full_unstemmed |
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов |
| title_sort |
субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов |
| publisher |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| publishDate |
2004 |
| topic_facet |
Электронно-лучевые процессы |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95062 |
| citation_txt |
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов / О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 1 (74). — С. 19-21. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Современная электрометаллургия |
| work_keys_str_mv |
AT šalamberidzeop substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov AT hahanašvilikg substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov AT lomaâtp substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov AT demčišinav substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov |
| first_indexed |
2025-11-26T20:14:16Z |
| last_indexed |
2025-11-26T20:14:16Z |
| _version_ |
1849885258423468032 |
| fulltext |
��� �����
�����
���
�������������
���� ������
� ����������� ���
���������
���� ������
�����������
�������
��
��
�������� !"�#
��
��
��$�%�&' � #
��
��
�(��)#
��
��
���* & %
�� ���� ��
���
��������� ������ � ������
� ���� �����
��� ������ ���� ��
�
�
�
� ���
�
� �
�
�
�
�
���
�� �� ���� �
���
�� ��� �
����
�� ������
���
� ��������� �
�����
� ������
�� ������� ����� �
����
��������� �
���
�� ����������� ���������
�� �������
� ���
��
�� ��� �
���
� � ������ �
���
���
�� ��������
�� � � ��
���
�� ��
����
�� �
� ��
�� � ������ ���� ��
��
����
����� �� �
�����
� �
�
���� ��� �
�� ��� ������� �� �
���� �������
��� ��
�
�
�
� ���
�
���
�
�
�
� �
�
�� µ�� ���
�������� �
���� �� �
�������� �����
����
� � �������
���� �� ��
����� ������
���
����
� �
� ������� ��
��� � ������
� ��
�� � �����
�� ������ �� ��
�� ��
� �� �������
�� ���
������
��� �� �������
��� �� ��
��
���
���� ��� � �
�� � �������� �
�� ���
��
��
�����
��� ������
���
�� �����
������������������� ���������
���������� ���
� � ���
�������� ��
�� ��
��� � ������� ��������� ������
���� ��� ��
��
���
���� �� ������
�������
�
������ ���� � ���� ���� ��
��
����� ���
�
�
��������� �����
�������� �������
��� ������
������ �� �
���
�� ������������
����
�� ����
��������
� ������
� �
������
��� ��������
���������
����
�����
�
�����
�
� ��������
������� ��
�
��
���
�
����
�� α�, β�,
γ�, δ������������ ��
��� �����
��� ��� �� �
������� ���
� ���
�� �� ��� ����������
����� ����� �
� ���
������
��
�����
�� �����
��� ���� �
���
�
� ���������� �����������
� ����� � � �
������
���
�
�
���� ������� ���
� �� �� ����
��
���� �� �� ��������
�
� �� �� �� ��� �� �� �� �
�
�� ����
���� �� �� �!"#�$% $&&' #�( $)�*% $&& )*+#,+�$�*- �*./�+*0 �1… 1� &)&2 � 3 *)��#$ ��� �45 � 3 *)��#$ $.6&�+�45
� 3 #�*)��#$ 7� )*+�4
��
����� ��� �� �
��� �
�� ������������
� �������
���� � �����
� � �����
����
� � ��������
�
�������� �������� �������������� � �����������
�
��
��� ����������� ���������� ��� ��������
�����������
���� ������ � ����� �� ��� ��������
��� � ��
�������� ���������! "�������
��� ���
��� ���� �
� �
����� �� ������
� ���������
�
����������
���� �
�� ����������� ���������
�
�����������
�������#�������� ����������
��$���
� �������������
�����%����� �������!
&���� � ���������� '() ��������� �������� ��
����������� � ���������� ������������� � ��� ��
���� �� �������������� � �����������
� ���! "�
��� ��������� � ������ '*) ����������
��� ������
������������ ��� ��������
� �������� �����
���� ���������
�����������
� ��� ������ �������
�
� ����������
������� ���������� ������� � ���
��#�����! +�� �
��� ����������� ������ ��#�
�����
���� ������
��� � ��%�� ������ ��$� ���
������������ �������� �� ��� �� ���� �
� �������
�� �����
� ��������
,�� -. � �/! 0������������
������
������������ ��
��
� �������� �������
��� �� �������� �� ���� � ��� ��������
� ����
�����
�� � ��������
������������
� ����� ���
�������� ���������� ������!
1���������� �����������
� ���� ����
� �����
�� ���� � �������� �� ������ ���������� 234�
��� ������������
������� ����%�� �� ����������
����� ��� ����������
���
������ ��$������ �����
�
�����
'5) � ������� �� �� � �� �������� ����
��# � ���#������� ���������!
6����� ������������ �������������� � ������
������
� ������ ���� �� ����
� ���������� ���
������ �� � ����� ��� �������� ����������� ����
�� ������ � �������� �������������� '7)! 0�������
��� ������ ����������� ���������������� �� ���
� ���������� ������� ��� ���������� �� �����
�������� ����� ������ �� ������������ � ��������
������� � ��� ��#�� ����������! 1 ����
� ���
������
�������������� � ��������� ��������
,������
� �� �����/! 8�#�� �������� ���������
������ � ���������� ������������ ������
� ���
�� ��� � ����������� �� ��%�� � ���������� ����
��� �����! 9������������� � ������������� ����
����� ��������������� ��� ��������
� ��������
���� ������
� ���� �
����� �����������
� ���
%�� � �����������! 6�� ��������� �
%� ��������
���� ������� ���� �
�� �� ����
� ���������
����
������ �����
������ ��� �������� �� ���������
#����! 6 ���������
���� ��� ������������ ������
����� �����# � :-..…:(.. ;0 �������
�����
����������� �� ��������
� ���� ��������
������ ���� ,���! </! =���� �� � �� �� � � ����
����� ���#�����
�� � ������
� ���� ��� �� �����
���� ��#�����! >� ���! ?
@ �����
��� ����� �����
��������� ������������ ���� ��������� �� �����
��� ���
� ����� ������
� ,���! @
�/
�� �
��������
�
�������
� ,���! @
�/ �����������
�����! A� ���� ��� ����� ����� ��� ��������� ����
��������� ������� ������ ����� ��������#����!
6 ��������� ����� ������ ������ ����#����� �
����� ���������� ������� �� ���������� ��� ���
�������� ���#����� �� ����������
�� � �� ����
�� ������ �� ����
���� ������� ������� �������
���
�� ���� ���� ���������� ������� �� ������
�����
� ��� �����
� � ���� B! 0! A������ ':.)!
6 ������ ��������
��� � �������
� ������� ����
����
� ������#������� ����������� ���#�
�
����� ���
�
������� �
�� �� �������� ������
������ ��� ���������
� ���������� ����������
�����������
� ���
�� ����������
� ��
������
���� ���������! 6 ����������������
�� ����
�
����� '::
:<)
���� ������� �� ���������� �����
������
�������� ��������� � ������������ ������
���� �� � ���� ���� �� ����������
� � ���� ��
����������! 1 ��� �������� � ������������ ����
������ �����#�� ��������
4
4�
CD
CD4
CD�4�
CD�4
CD�4�
��� ��� ��� ���� E 4
4�
23
234
234�
� � ��� ������ E F
4
F4
F4�
F�4
F�4�!���� 8� 9� :)�: $ ,.;,($ ,��,��-,++*0 <*-, !+*��� )*+#,+�$"
�*- *)��#$ $.6&�+�4 =�,&<, $�: $ <*#.*>)� �11� ?@A
���� �� B.,)� *+*% $&&' )*+#,+�$�*- *)��#$ $.6&�+�42 � 3 �,&<, $�: $ <*#.*>)� �1�� ?@ =β"CD�E�A5 � 3 �,&<, $�: $ <*#"
.*>)� �11� ?@ =β"CD�E�A
��
A�� ���������� �� ��������
���#�
�� �����
��������
��������
�� �����# �
����� ������� ���
��������! A� ��%��� ���#�����
����������� ����
�� ������� ��� ��� ���� ����������� �� �����
�� ���� ����� �������� �� ����
� �� ��������
����� �������� � ������� �� ��� ��� �� �����# �
��� ����#����� ������� �������������
� �� �
���� ������� ����� �������� �� ������
� ��������
��� ���������� ���������� E � ������ ���������
� ����������
�����# �! A����� �� ��� ����� ���
�������� ������������� ������%���� �������
�
���� �����
� ���������� � ������� ����
� ����
��� E ������������� �����#����� ���������� ��
�����# � � � ������ ��� ��� ����������� ������
����� �� ����������! A�� ���������� � ������
���������� ���� �
�����
���
�� ������������
�� ������ ���� CD�4� �� �������
� ����������
� ��� ��� ������ ���� 234� � F�4�! G���� ����
�������
� �� �� ������
���� ���� � �� #� ����
�������� �� ������ ���� ������������� � ����
�
� �����������
� ���������� �����# �!
>����� �� ����#������ �
%�
��#�� ���������
#���
��� � �������� ���������� ��� �������� ����
�������� �����# � � ������� �� ��� ��� �������
�� ����������
� ���
����������
��� ��������
����� ������������� ��� �� � ������� � �������
� ����������� �� ��%�� � �
� ������� �����
���
����������� �� ������ ����
����
� ��� ���
��#����� �����# � �� ������������ �� � �� ���
������� � ��� �������� ����������� �������� ����
����������� � ��������
�! G������
� �� ����
��������� ���� ��������#���� ���#�� ��� �� �
��� ��������
� ��������
����
� ������ ��������
�
%� ����������
��������� � �������� � �����
��� �������� ����������� ������������ ����� ����
��������������
����������� ������ ����!
A����������
�������� �������������� �� �����
�������
���������� � ��#�� �
�� �
����������
�������
� ������� �� ��� ���
��
��#������
� ���������� ��� �����������
� ����
� � ������
��������� �� ���� ������� �� �������
� �����
������
�������� � ������� ����!
�� �����
����� �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- )*+#,+�$�*-
FGE�� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$ ,+�,& J
� �� *-H$+� K� �� �$-$#L,� � �� �) *�$M-�.�
� # � JJ � *N.� �<,7� I.,)� *&,�$..: %��� 3 �OPQ� 3
�'<� O� 3 @� PQRQ��
��
��
������� �� ��� ���� �� �� ��� ��������� ��
� ��
��.,#*-$+�, �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- )*+#,+�$�*-
CD�E�� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$ ,+�,& JJ
�$& >,� 3 @� Q�RQQ�
8� �����
����� �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- -$)::&+'!
)*+#,+�$�*- *)��#$ $.6&�+�4� <*.:H,++'! I.,)� *++*"
.:H,-'& ��<$ ,+�,& < � -'�*)�! �,&<, $�: $! <*#.*>"
)� J �� �� �$!$+$M-�.�� K� �� �$-$#L,� �� �� �$.$&N,"
�#L,� B� �� �:�,.�4 JJ � *N.� �<,7� I.,)� *&,�$."
.: %��� 3 �OQP� 3 S �� 3 @� �QR1��
�� �����
����� �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- -$)::&+'!
)*+#,+�$�*- FGE�� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$"
,+�,& < � -'�*)�! �,&<, $�: $! <*#.*>)� J �� �� �$!$"
+$M-�.�� K� �� �$-$#L,� �� �� �$.$&N, �#L, � # � JJ
�$& >,� 3 S �� 3 @� 8�R8P�
1� ��������� � �-*0��-$ -$)::&+'! )*+#,+�$�*- *)��#$ ��"
� �4� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$ ,+�,& J
�� �� �$!$+$M-�.�� K� �� �$-$#L,� �� �� �$.$&N, �#L,
� # � JJ �$& >,� 3 �OQQ� 3 S �� 3 @� �TR1��
T� �������� �� ��� ���� �� �� !
����" #� �� ,!$+�L&
*N $L*-$+�4 � �:N�� :)�: $ �*+)�! <.,+*)� 3 �2 �$:"
)$� �OP�� 3 8�� U�
P� �
�����
� #� �� �) *&,�$..: %�4 � <, �<,)��-' ,,
$L-���4 JJ K�L�)$ � !�&�4 *N $N*�)� &$�, �$.*-� 3
�OPP� 3 S �� 3 @� 18RTT�
Q� �����
����� -.�4+�4 *�>�%$ +$ �� :)�: +', � *<��H,�"
)�, �-*0��-$ <.,+*) #-:*)��� 7� )*+�4 J �� �� �.4H)*-"
�)$4� ��
� ��� *-$� 9�
� 9$%��*-� 9� �� 9,&�.,"
�*- JJ � ���$..*% $(�4� 3 �OQ�� 3 ��� S 1� 3
@� ���PR���O�
O� !
��
�$ %� �,��,!�*&,� �4� 3 �2 � � �OP�� 3 �QQ U�
��� �������� �� ��� �
�
��� #� !� ��+*-' <.,+*H+*%* <*"
.:< *-*#+�)*-*%* &$�, �$.*-,#,+�4� 3 �2 B+, %�4�
�OP8� 3 �OT U�
��� &'()*+,-�)./ 012+, *3 45�E� VWXYZ [ \[WW W]^U_G`\^_^G J
6� 7(*8�(1� 9� 7' :�(.�� ;� <� =2(-0� :� 9� >-?@(�) AA
6� `a @b^\XU[D cbdWXUW� 3 �OT�� 3 ��� e 1� 3 c� �8TTR�8P��
��� !����
� �� �� �, &*#�+$&�)$ *)��#*-� 3 �2 ,�$."
.: %�4� �OQT� 3 8�� U�
� :L�+�)�0 �,!+�H,�)�0 :+"�� �N�.���
+"� I.,)� *�-$ )� �&� �� �� �$�*+$ ��� f) $�+'� ��,-
�*��:<�.$ �P�������8
���� �� 9� :)�: $ <*<, ,H+*%* �L.*&$ )*+#,+�$�*- *)��#$ $.6&�+�42 � 3 #��.*)$7�*++'0 &,!$+�L& *��$ &*+*) ���$..$5
� 3 +* &$.;+'0� <*�.*0+'0 &,!$+�L& *��$ &*+*) ���$..$
��
|