Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов

На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2004
Main Authors: Шаламберидзе, О.П., Хаханашвили, К.Г., Ломая, Т.П., Демчишин, А.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2004
Series:Современная электрометаллургия
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95062
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов / О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 1 (74). — С. 19-21. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-95062
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-950622025-02-09T14:24:04Z Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов Шаламберидзе, О.П. Хаханашвили, К.Г. Ломая, Т.П. Демчишин, А.В. Электронно-лучевые процессы На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механизм информирования в зависимости от скорости испарения и температуры конденсации. 2004 Article Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов / О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 1 (74). — С. 19-21. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 0233-7681 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95062 ru Современная электрометаллургия application/pdf Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Электронно-лучевые процессы
Электронно-лучевые процессы
spellingShingle Электронно-лучевые процессы
Электронно-лучевые процессы
Шаламберидзе, О.П.
Хаханашвили, К.Г.
Ломая, Т.П.
Демчишин, А.В.
Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
Современная электрометаллургия
description На базе экспериментальных данных о фазовом составе вакуумных конденсатов Al?O?, ZrO? и Y?O? толщиной до 50 мкм, осажденных при различных температурах подложки, рассмотрены возможные причины стабилизации высокотемпературных модификаций исследованных оксидов при комнатной температуре и предложен механизм информирования в зависимости от скорости испарения и температуры конденсации.
format Article
author Шаламберидзе, О.П.
Хаханашвили, К.Г.
Ломая, Т.П.
Демчишин, А.В.
author_facet Шаламберидзе, О.П.
Хаханашвили, К.Г.
Ломая, Т.П.
Демчишин, А.В.
author_sort Шаламберидзе, О.П.
title Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
title_short Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
title_full Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
title_fullStr Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
title_full_unstemmed Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
title_sort субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
publishDate 2004
topic_facet Электронно-лучевые процессы
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95062
citation_txt Субструктурные особенности электронно-лучевых вакуумных конденсатов тугоплавких оксидов / О.П. Шаламберидзе, К.Г. Хаханашвили, Т.П. Ломая, А.В. Демчишин // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 1 (74). — С. 19-21. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
series Современная электрометаллургия
work_keys_str_mv AT šalamberidzeop substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov
AT hahanašvilikg substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov
AT lomaâtp substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov
AT demčišinav substrukturnyeosobennostiélektronnolučevyhvakuumnyhkondensatovtugoplavkihoksidov
first_indexed 2025-11-26T20:14:16Z
last_indexed 2025-11-26T20:14:16Z
_version_ 1849885258423468032
fulltext ��� ����� ����� ��� ������������� ���� ������ � ����������� ��� ��������� ���� ������ ����������� ������� �� �� �������� !"�# �� �� ��$�%�&' � # �� �� �(��)# �� �� ���* & % �� ���� �� ��� ��������� ������ � ������ � ���� ����� ��� ������ ���� �� � � � � ��� � � � � � � � ��� �� �� ���� � ��� �� ��� � ���� �� ������ ��� � ��������� � ����� � ������ �� ������� ����� � ���� ��������� � ��� �� ����������� ��������� �� ������� � ��� �� �� ��� � ��� � � ������ � ��� ��� �� �������� �� � � �� ��� �� �� ���� �� � � �� �� � ������ ���� �� �� ���� ����� �� � ����� � � � ���� ��� � �� ��� ������� �� � ���� ������� ��� �� � � � � ��� � ��� � � � � � � �� µ�� ��� �������� � ���� �� � �������� ����� ���� � � ������� ���� �� �� ����� ������ ��� ���� � � � ������� �� ��� � ������ � �� �� � ����� �� ������ �� �� �� �� � �� ������� �� ��� ������ ��� �� ������� ��� �� �� �� ��� ���� ��� � � �� � �������� � �� ��� �� �� ����� ��� ������ ��� �� ����� ������������������� ��������� ���������� ��� � � ��� �������� �� �� �� ��� � ������� ��������� ������ ���� ��� �� �� ��� ���� �� ������ ������� � ������ ���� � ���� ���� �� �� ����� ��� � � ��������� ����� �������� ������� ��� ������ ������ �� � ��� �� ������������ ���� �� ���� �������� � ������ � � ������ ��� �������� ��������� ���� ����� � ����� � � �������� ������� �� � �� ��� � ���� �� α�, β�, γ�, δ������������ �� ��� ����� ��� ��� �� � ������� ��� � ��� �� �� ��� ���������� ����� ����� � � ��� ������ �� ����� �� ����� ��� ���� � ��� � � ���������� ����������� � ����� � � � ������ ��� � � ���� ������� ��� � �� �� ���� �� ���� �� �� �������� � � �� �� �� ��� �� �� �� � � �� ���� ���� �� �� �!"#�$% $&&' #�( $)�*% $&& )*+#,+�$�*- �*./�+*0 �1… 1� &)&2 � 3 *)��#$ ��� �45 � 3 *)��#$ $.6&�+�45 � 3 #�*)��#$ 7� )*+�4 �� ����� ��� �� � ��� � �� ������������ � ������� ���� � ����� � � ����� ���� � � �������� � �������� �������� �������������� � ����������� � �� ��� ����������� ���������� ��� �������� ����������� ���� ������ � ����� �� ��� �������� ��� � �� �������� ���������! "������� ��� ��� ��� ���� � � � ����� �� ������ � ��������� � ���������� ���� � �� ����������� ��������� � ����������� �������#�������� ���������� ��$��� � ������������� �����%����� �������! &���� � ���������� '() ��������� �������� �� ����������� � ���������� ������������� � ��� �� ���� �� �������������� � ����������� � ���! "� ��� ��������� � ������ '*) ���������� ��� ������ ������������ ��� �������� � �������� ����� ���� ��������� ����������� � ��� ������ ������� � � ���������� ������� ���������� ������� � ��� ��#�����! +�� � ��� ����������� ������ ��#� ����� ���� ������ ��� � ��%�� ������ ��$� ��� ������������ �������� �� ��� �� ���� � � ������� �� ����� � �������� ,�� -. � �/! 0������������ ������ ������������ �� �� � �������� ������� ��� �� �������� �� ���� � ��� �������� � ���� ����� �� � �������� ������������ � ����� ��� �������� ���������� ������! 1���������� ����������� � ���� ���� � ����� �� ���� � �������� �� ������ ���������� 234� ��� ������������ ������� ����%�� �� ���������� ����� ��� ���������� ��� ������ ��$������ ����� � ����� '5) � ������� �� �� � �� �������� ���� ��# � ���#������� ���������! 6����� ������������ �������������� � ������ ������ � ������ ���� �� ���� � ���������� ��� ������ �� � ����� ��� �������� ����������� ���� �� ������ � �������� �������������� '7)! 0������� ��� ������ ����������� ���������������� �� ��� � ���������� ������� ��� ���������� �� ����� �������� ����� ������ �� ������������ � �������� ������� � ��� ��#�� ����������! 1 ���� � ��� ������ �������������� � ��������� �������� ,������ � �� �����/! 8�#�� �������� ��������� ������ � ���������� ������������ ������ � ��� �� ��� � ����������� �� ��%�� � ���������� ���� ��� �����! 9������������� � ������������� ���� ����� ��������������� ��� �������� � �������� ���� ������ � ���� � ����� ����������� � ��� %�� � �����������! 6�� ��������� � %� �������� ���� ������� ���� � �� �� ���� � ��������� ���� ������ ����� ������ ��� �������� �� ��������� #����! 6 ��������� ���� ��� ������������ ������ ����� �����# � :-..…:(.. ;0 ������� ����� ����������� �� �������� � ���� �������� β������� ���� ,���! </! =���� �� � �� �� � � ���� ����� ���#����� �� � ������ � ���� ��� �� ����� ���� ��#�����! >� ���! ? @ ����� ��� ����� ����� ��������� ������������ ���� ��������� �� ����� ��� ��� � ����� ������ � ,���! @ �/ �� � �������� � ������� � ,���! @ �/ ����������� �����! A� ���� ��� ����� ����� ��� ��������� ���� ��������� ������� ������ ����� ��������#����! 6 ��������� ����� ������ ������ ����#����� � ����� ���������� ������� �� ���������� ��� ��� �������� ���#����� �� ���������� �� � �� ���� �� ������ �� ���� ���� ������� ������� ������� ��� �� ���� ���� ���������� ������� �� ������ ����� � ��� ����� � � ���� B! 0! A������ ':.)! 6 ������ �������� ��� � ������� � ������� ���� ���� � ������#������� ����������� ���#� � ����� ��� � ������� � �� �� �������� ������ ������ ��� ��������� � ���������� ���������� ����������� � ��� �� ���������� � �� ������ ���� ���������! 6 ���������������� �� ���� � ����� ':: :<) ���� ������� �� ���������� ����� ������ �������� ��������� � ������������ ������ ���� �� � ���� ���� �� ���������� � � ���� �� ����������! 1 ��� �������� � ������������ ���� ������ �����#�� �������� 4 4� CD CD4 CD�4� CD�4 CD�4� ��� ��� ��� ���� E 4 4� 23 234 234� � � ��� ������ E F 4 F4 F4� F�4 F�4�!���� 8� 9� :)�: $ ,.;,($ ,��,��-,++*0 <*-, !+*��� )*+#,+�$" �*- *)��#$ $.6&�+�4 =�,&<, $�: $ <*#.*>)� �11� ?@A ���� �� B.,)� *+*% $&&' )*+#,+�$�*- *)��#$ $.6&�+�42 � 3 �,&<, $�: $ <*#.*>)� �1�� ?@ =β"CD�E�A5 � 3 �,&<, $�: $ <*#" .*>)� �11� ?@ =β"CD�E�A �� A�� ���������� �� �������� ���#� �� ����� �������� �������� �� �����# � ����� ������� ��� ��������! A� ��%��� ���#����� ����������� ���� �� ������� ��� ��� ���� ����������� �� ����� �� ���� ����� �������� �� ���� � �� �������� ����� �������� � ������� �� ��� ��� �� �����# � ��� ����#����� ������� ������������� � �� � ���� ������� ����� �������� �� ������ � �������� ��� ���������� ���������� E � ������ ��������� � ���������� �����# �! A����� �� ��� ����� ��� �������� ������������� ������%���� ������� � ���� ����� � ���������� � ������� ���� � ���� ��� E ������������� �����#����� ���������� �� �����# � � � ������ ��� ��� ����������� ������ ����� �� ����������! A�� ���������� � ������ ���������� ���� � ����� ��� �� ������������ �� ������ ���� CD�4� �� ������� � ���������� � ��� ��� ������ ���� 234� � F�4�! G���� ���� ������� � �� �� ������ ���� ���� � �� #� ���� �������� �� ������ ���� ������������� � ���� � � ����������� � ���������� �����# �! >����� �� ����#������ � %� ��#�� ��������� #��� ��� � �������� ���������� ��� �������� ���� �������� �����# � � ������� �� ��� ��� ������� �� ���������� � ��� ���������� ��� �������� ����� ������������� ��� �� � ������� � ������� � ����������� �� ��%�� � � � ������� ����� ��� ����������� �� ������ ���� ���� � ��� ��� ��#����� �����# � �� ������������ �� � �� ��� ������� � ��� �������� ����������� �������� ���� ����������� � �������� �! G������ � �� ���� ��������� ���� ��������#���� ���#�� ��� �� � ��� �������� � �������� ���� � ������ �������� � %� ���������� ��������� � �������� � ����� ��� �������� ����������� ������������ ����� ���� �������������� ����������� ������ ����! A���������� �������� �������������� �� ����� ������� ���������� � ��#�� � �� � ���������� ������� � ������� �� ��� ��� �� ��#������ � ���������� ��� ����������� � ���� � � ������ ��������� �� ���� ������� �� ������� � ����� ������ �������� � ������� ����! �� ����� ����� �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- )*+#,+�$�*- FGE�� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$ ,+�,& J � �� *-H$+� K� �� �$-$#L,� � �� �) *�$M-�.� � # � JJ � *N.� �<,7� I.,)� *&,�$..: %��� 3 �OPQ� 3 �'<� O� 3 @� PQRQ�� �� �� ������� �� ��� ���� �� �� ��� ��������� �� � �� ��.,#*-$+�, �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- )*+#,+�$�*- CD�E�� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$ ,+�,& JJ �$& >,� 3 @� Q�RQQ� 8� ����� ����� �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- -$)::&+'! )*+#,+�$�*- *)��#$ $.6&�+�4� <*.:H,++'! I.,)� *++*" .:H,-'& ��<$ ,+�,& < � -'�*)�! �,&<, $�: $! <*#.*>" )� J �� �� �$!$+$M-�.�� K� �� �$-$#L,� �� �� �$.$&N," �#L,� B� �� �:�,.�4 JJ � *N.� �<,7� I.,)� *&,�$." .: %��� 3 �OQP� 3 S �� 3 @� �QR1�� �� ����� ����� �� :)�: ' � +,)*�* '! �-*0��- -$)::&+'! )*+#,+�$�*- FGE�� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$" ,+�,& < � -'�*)�! �,&<, $�: $! <*#.*>)� J �� �� �$!$" +$M-�.�� K� �� �$-$#L,� �� �� �$.$&N, �#L, � # � JJ �$& >,� 3 S �� 3 @� 8�R8P� 1� ��������� � �-*0��-$ -$)::&+'! )*+#,+�$�*- *)��#$ ��" � �4� <*.:H,++'! I.,)� *++*".:H,-'& ��<$ ,+�,& J �� �� �$!$+$M-�.�� K� �� �$-$#L,� �� �� �$.$&N, �#L, � # � JJ �$& >,� 3 �OQQ� 3 S �� 3 @� �TR1�� T� �������� �� ��� ���� �� �� ! ����" #� �� ,!$+�L& *N $L*-$+�4 � �:N�� :)�: $ �*+)�! <.,+*)� 3 �2 �$:" )$� �OP�� 3 8�� U� P� � ����� � #� �� �) *&,�$..: %�4 � <, �<,)��-' ,, $L-���4 JJ K�L�)$ � !�&�4 *N $N*�)� &$�, �$.*-� 3 �OPP� 3 S �� 3 @� 18RTT� Q� ����� ����� -.�4+�4 *�>�%$ +$ �� :)�: +', � *<��H,�" )�, �-*0��-$ <.,+*) #-:*)��� 7� )*+�4 J �� �� �.4H)*-" �)$4� �� � ��� *-$� 9� � 9$%��*-� 9� �� 9,&�.," �*- JJ � ���$..*% $(�4� 3 �OQ�� 3 ��� S 1� 3 @� ���PR���O� O� ! �� �$ %� �,��,!�*&,� �4� 3 �2 � � �OP�� 3 �QQ U� ��� �������� �� ��� � � ��� #� !� ��+*-' <.,+*H+*%* <*" .:< *-*#+�)*-*%* &$�, �$.*-,#,+�4� 3 �2 B+, %�4� �OP8� 3 �OT U� ��� &'()*+,-�)./ 012+, *3 45�E� VWXYZ [ \[WW W]^U_G`\^_^G J 6� 7(*8�(1� 9� 7' :�(.�� ;� <� =2(-0� :� 9� >-?@(�) AA 6� `a @b^\XU[D cbdWXUW� 3 �OT�� 3 ��� e 1� 3 c� �8TTR�8P�� ��� !���� � �� �� �, &*#�+$&�)$ *)��#*-� 3 �2 ,�$." .: %�4� �OQT� 3 8�� U� � :L�+�)�0 �,!+�H,�)�0 :+"�� �N�.��� +"� I.,)� *�-$ )� �&� �� �� �$�*+$ ��� f) $�+'� ��,- �*��:<�.$ �P�������8 ���� �� 9� :)�: $ <*<, ,H+*%* �L.*&$ )*+#,+�$�*- *)��#$ $.6&�+�42 � 3 #��.*)$7�*++'0 &,!$+�L& *��$ &*+*) ���$..$5 � 3 +* &$.;+'0� <*�.*0+'0 &,!$+�L& *��$ &*+*) ���$..$ ��