Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий

Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и по...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Современная электрометаллургия
Дата:2004
Автори: Мовчан, Б.А., Яковчук, К.Ю.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2004
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95079
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-95079
record_format dspace
spelling Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
2016-02-13T18:52:20Z
2016-02-13T18:52:20Z
2004
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
0233-7681
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95079
Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении.
ru
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Современная электрометаллургия
Электронно-лучевые процессы
Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
spellingShingle Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
Электронно-лучевые процессы
title_short Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_full Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_fullStr Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_full_unstemmed Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
title_sort электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
author Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
author_facet Мовчан, Б.А.
Яковчук, К.Ю.
topic Электронно-лучевые процессы
topic_facet Электронно-лучевые процессы
publishDate 2004
language Russian
container_title Современная электрометаллургия
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
format Article
description Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и последующей конденсации в вакууме. Рассмотрены пути дальнейшего развития и совершенствования электронно-лучевого оборудования, связанные с внедрением новых технологических процессов в машиностроении.
issn 0233-7681
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95079
citation_txt Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT movčanba élektronnolučevyeustanovkidlâispareniâiosaždeniâneorganičeskihmaterialovipokrytii
AT âkovčukkû élektronnolučevyeustanovkidlâispareniâiosaždeniâneorganičeskihmaterialovipokrytii
first_indexed 2025-12-07T20:07:57Z
last_indexed 2025-12-07T20:07:57Z
_version_ 1850881425132224512