Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2004
• Main Authors: Мовчан, Б.А., Яковчук, К.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2004
• Subjects: Электронно-лучевые процессы
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95079
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и по...