Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда

Исследовано влияние фоновой примеси кислорода и суммарной концентрации примесей на время жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ) в монокристаллах кремния, выращенных методом Чохральского и предназначенных для использования в солнечной энергетике. Рассмотрен вопрос распределения концентрации кисло...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Современная электрометаллургия
Datum:2007
Hauptverfasser: Червоный, И.Ф., Швец, Е.Я., Воляр, Р.Н., Голев, А.С.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95518
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда / И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец, Р.Н. Воляр, А.С. Голев // Современная электрометаллургия. — 2007. — № 1 (86). — С. 21-24. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859816032680542208
author Червоный, И.Ф.
Швец, Е.Я.
Воляр, Р.Н.
Голев, А.С.
author_facet Червоный, И.Ф.
Швец, Е.Я.
Воляр, Р.Н.
Голев, А.С.
citation_txt Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда / И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец, Р.Н. Воляр, А.С. Голев // Современная электрометаллургия. — 2007. — № 1 (86). — С. 21-24. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Современная электрометаллургия
description Исследовано влияние фоновой примеси кислорода и суммарной концентрации примесей на время жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ) в монокристаллах кремния, выращенных методом Чохральского и предназначенных для использования в солнечной энергетике. Рассмотрен вопрос распределения концентрации кислорода и времени жизни ННЗ по длине монокристалла. The effect of background impurity of oxygen and total concentration of impurities on life of non-equilibrium carriers of charge (NCC) in silicon single crystals grown by the method of Czochralski and designed for use in solar power engineering was studied. Problem of distribution of oxygen concentration and NCC life in the single crystal length was studied.
first_indexed 2025-12-07T15:22:25Z
format Article
fulltext ��� ���� � � �� ����������� � � ������� ������ ������� ����� � ��� � �� � �� ���� � �� ���� �� ����� ��� ����� ������ � �� ������� ! �� �� "��#! �� �� �$%�! �� �� ��$�� ��������� � ���� �� � ���� ������� ��������� � ������ �� �� �� ������ �������� �� ����� �� ������� ������ ��� ���� ����� ����� � ������ � ����� ����� �� ���������� �� ���� ������������ � ��� �� � � �� ��� ����� ��� �� � ��� �� �� � ��������� ��������� ������ ���������� �� �� �� ������ ��������� � ����� � ����� ��� � ���� � ���������� ��� ������ �� ��� ���� ���� ��� �� ������ �� ��� � ������� ���� �� ���� ����� �� ���� �� ����� ������ �������� �� ������ � � � ������ �� ��� �������� ���� �� ��������� �� ���������� � � ����� �� ��� ��� � �� �� �� �� � �� ���� � ��� ����� � �� �� � � ���������� � � ��� � � �� ������ � ��� ��� ��� �� �� ����� ������� � ���� ��� ����� � ���� ��� � � � � � ����� �� �� ������ ����� ������ �������� � � ���� � � ����� ���� �� ��� � ��� � � ���� ��������� ������ ��������� � ������ �� � �� ��� ���������� �� ������ � �� ��� � � ������ ������ ������ ���������� ��� ��� ��� ���� �������� ������ � ���������� � �� ���� ��������� �������� ������� � � � ����� ��� ����� ����� ��� ���� ����� ��� � ����� �� �� ������ � ������ �� ��� � �� �� � ��� � ���� ���� ������ ���� � ��� � � ������� �� ����� � ������ ��������� � �� �� � �������� �� � � ������������ � ������� ��� ��� � � � ������� �� ���� ���� �������� ������ ��������� ��� ��� ����� ��� ����������� � � � ������ ������� ����� �� � ��� �� �� ��� ���� �� ����������� ���� �� ��������� ��� ��� ��������� ����������� ���� ���� ����� � � � � � ������ �������� � �� ����� ��� ��� � ������������� ������ ���� ��� ���� �� �� � �� � ����������� � ����� �������� ���������� ��������� ��� � ���� ������� � �� ������������ ��������� ���� �� � � ��� � ����� � ������� � ��������� � � � ��� ���� �� ������������ ��������� � �������� ������ ���������� �������� ������� � � � � � ������� � ����� � ��� ��������� ���� ��� ���� ��� �� �� � ������� �� ����� ��� � � �� ����� ������� � � ���� �������� �� � ��� � � � �� � � ������� ����� ������ �� ��� ��� �� � �� � �� �� ���� ���� �������� �� �������� ������ ������� �� ���� ������ ��� � � � �� � � �� ������ �� � � ��������� �� ��� ��� �������� � � �� ������� � �������� ������� ��� ���� ���� �� ��� � ������ ����� ��� ��� ��� ������ ����� � ��� ������ ��� � �������� ���� ���� ����� �� ������� � ��� � �� ��� ��������� �� ������ �� ����� � ����� ������� � � ���� � ������ � � ���� � ����� � ����������� � ������� �������� �� �������� � �� ��� ��� ��� ����� � �� �� ��������� �� ��� ���� ������� ����� ������ � ������� � � � �������������������� �������� ������ �� � ��� �� ��������� ��� ��� ��� ���� ������ � � ���� ����� ���� �� �������� ���� � ����� ��� �� ������ �� ����� �� ������������ ��� ��� � � ������� ��������� �� � � �������� � � ��� ���� � ������ � ��� ����������� ��� �� ��� ������ ������� ��� � �� �� �� ���� ��������� �� �� ���� �� � �� ��� �� ���� �������� ���� �� � ����� �� � ��� � ���� �� ����� ������ � ��� ������� � � ���� ��� �� ��� � ����� �� ���� ��� � ������� � �� � ������ ������� � �������� ���� ���� ���� �� � � ���� �� � � � ��� ���� ����� � �� �� ��� �� � �� �� � ��� �� �� ���� �� �� � �� � ���� �� ��� ����� � �� ���� � �� ������ ������� �� �� �� � � ������� �� ������������ ����������� � ������� � � ����������� ��� ����� �� �� ������� �� ������ ����� ���� ��� ��� � �!��� ���� �� �� ������� ��� ��� ��� "�� � ���� �# � ��� ��$ ������ ������#���� �������� � ����������� �������� � ��!���� %��� ���� ��������$ � ����� � ��� � ������������� ��� ���� ������ � ���� �������� �� ���� �������� �� ��#�� �������� �� �!������ ���������� ���� ��� �� �������� ���&� � �� �� ��� �� � '()� *��+� �� ��!��� �# �� � ������� �� ��� � ��� ���$ �� � ,�� � �����$ �# ��#� ������� ���� ������ �� ��� ����� ��� ���� � � ���� �������� -�� ����&�� ��� ����� �# � �� ������ ������ ��� � �+���� �� ��� �� �#�&��� ������ � ����� ����� ���� ������������� ������� �� �� �� ����� �� ��� � ��� ����� �$� .�#� �����$ ��������� �#����� ��� �# �� �� ���� ���� ���/��� ���� �$ /���� ������ ����� �� ��� ���� ��������� ��� � �������� �� ����� ��� ��� /��#������ � �����$ #��������� *������� �� ������ �� ������� � ������� ��� ������ ��� �������� �� ������ �!������ ������ ���������� ���� ���������� ����# ������ ������� -��� ���� ��������� � � ������������ � ��� �� ��� � ��� ��� ���� ���/������ +� ���� 0���������� ���� ��� ��� �+�$ � ���� ��� �� ��� ������� � � �������� � ������ �� �������� ����������� � �� � ��� � �� ����� ��� �� �� "�� ��� ������ ���� %��� ��� ���� ������ � �+� ��� ������ �#����� ���+������ �������������� ������ ���� � #��� �� �� ��� �� � &� � �� ������ #�� ������ ��$ ��� ���� � ���� � � ������ ��� 1� ������ � �� ������$ #�� ��� � � ������ ���� � ����� ���� �� �$ � ����� ����� ��� /������� �� ����� !�#�� **2 � ������� �� �� �������� ������� �� � ������ ���3 �������� �������� � �� ������� �� �� �������� ������#�������� � � ���������� � � �����$ ���������� ��� � �� � #������ �� � ������������ � ���� � ��� �$ ����$ ������ �� ������ ����� ���� �� �����% ����$ � ������� 4.������567� 8 ��#� ���� �� ����� ��� ����� �� � ������� ������ � ������������� �� ����������� +����� ���&�����&��$ ,�9⋅,6�� ���� ��������� ,59 �� � � ���$ �� :66 ��� -�� �� �� ���/��� ��� �������&�� �� ������� ������� �� � �� ������ ����� � ;,66<� 8������� � ������� �� � ��� ������� ����� ����� ��� ��!����= ���� � ��������� ��� > �� ,�: � ���� � � 6�? ��@��� � ���&� ���� &� �� ���� � �������� ��� �� � > ,9 ������ ���� � �������� ��� � > 9 ������ *����!���� �� ��������� � � ��� � � (9 8� ��� > ,966 A� .� ��� ��������� ��#� ������ ������ ����� 56 @���� 3#������� ���&�����&�� �� ����� � ������� �� �� ������� � ������� 3-���� ���� ��� '9) � �� #������� ��/����� ���� ������� /�������� ���� BCDEFG HH� 8���� !�#�� **2 � ������� �� �� ������ � � ������� ���� �&�� ��������� �� � �������� �������� �� � ������� IAJ�,6H �� K"�I ,LM9:N:, 'M)� O� ��#� ����� �#������� ���������� � ���� ���� ������� �� �� �� ������ ������ �� ������ ���� ���&�����&�� �� ����� � � ������� !�#�� **2 �� � ��� ������� �� �� �� � � ��� �#� ��� ������� ��#� ����� ��������� �� �� ������ �������� �� ����� ���� ���&�����&�� ������ �$ � �� � ��� ������� �� � �� � H�� O���������� �� �� � H �� ����� ���� #��� ����$ � �����/�#��� ��� ���������� �������� ��#��� � ���������� �+������� ��� � ��� ������� �� �� *� �� �� �� ����� � �� ���� �� ���� �� ������ O������� �� �� ����� � �� ��������� �� � #������ �� �#������ � ��� ��� ��� ����� ������ ������$ ���&�����&�� �� ������ *� ��� !� ��� ��� ���� ����� �#� �������� �� � ��������� �!��� ������ ����� �� ����� ���� ������� !�#�� **2 � ������ ��$ ���&�����&�� ����� �$ ������ � � ��� O�� ���� �#������� ������� !�#�� **2 +� �� ����� ��� �� ����� ���� ����� �$� *��������� ���� �� ����� �!"#$#%# &'"� &� �(#$)� *"+ $,-�.�$�(�+ �#/ (#)-�� �""#$ )-��(�+ !# �� #*& �#�-�"0�)#%#1 � 2 �#(#)-��/ �""3 �2 $�-�(�4 5)-�(3 �2 -��!"�$3 �2 )$�-6�$,4 �%�"03 � 2 %-�7� #$�+ !#*� �$)� !#* �%�"03 � 2 (�%-�$� �"03 � 2 8#)#$#4 '�.� (,4 5)-�(3 � 2 !#**#( ���� �� ���!-�*�"�(�� )#(6�( -�6�� )��"#-#*� �9 ��� :�;� �&���-(#4 )#(6�( -�6�� !-�����4 ���� :�; � $-���(� τ <�'(� ��= !# *"�(� � �#(#)-�� �""� :�; �� ��$ �������� �� ����� ���� � �����/�#��� ��� ���������� �� � ��� ���������� ������� �� �� ���#����� �� �!�� � ���&� ��� ���� ������� � �� � ��� ��� ����������� ������� �� ��� �� ���� �� ���� � �� ������������ J ����� �� ��� ��� ���&�����&�� �� ����� � ������� �� �� ������� #��� �� �� � ���$ ����������� > ��� �� �� �������� ��� � � ��� �� �� ���� �� ����� �������� ����!����$ ���� /��� � � ���� �� �� ��� '?)� 8 ������ � �������� ��� � ���� ���� ���!��� � �� ��������� 3 �������� #����#����� ������� �� � ����� ��� �� ������ �� ��� � ����&���$ ���� � ����� �������� ��������� �� � ���� ������� � ���&� � ����������� �+��#������� �������� ��+������ �� ������ ������������ � ������� �� � 3����� ���� � �� �������� ��� � � �������� �� ����� � �� � �� #��� �� �� � ����� ������ ������� ��� ������ �� ��� � � �� � ���� �� � ������ ���������$ �������� �� ��� � � ����!���� ����� �$ � ����&�� � ���!� �� ������&������ ������� � �� � ��� ':)� 8 ��� �� ��� ��$ ��%���� ������� ����� �� � ����� #������� ��!���#� ��� �� �!����� �+��� #�� + �!�$%��� ������� ������� &������ PQNFNPQ� .� �������� ����&� � �� � ��� ������� ���� ����� �+��#������� PQF �� ����&�� ������� � ��� � ������ � *� �� � 5 ����#��� ���� �������� �� ����� �# ����&����� ��� � � �� � ��� 8 ���&� � ��� �� � �#�&�� ����� �� ����� ������ ����� ��� � ��!�� !����$� ��#���$ � ������$ /�#�$� 8 ���� � /��� ��+���$ ������ �� ���� �������� � ���� ������ ��� �������� ������$ � ������ � ������ ��� �� �� � ���� �� � ������ ��� ������� ���� ��� ����� � � � ����� � ���� �������� � ���� �� ����� �������� ���� �� ��+���$ ������ ���� � ��� ���������� ������ �� � � ��#��+��#��� � ������ ��� �� � �������� ��#�� � ��������� � ���� � � �� ����� � /� ����� 3 ���� �# ��������� �� ����� ���� �� ����� �� � ��� ������� �� � �� � 5�� ���&� ������� ����� ��!�� � ���� ��#�� �� �� ��� ����� ��� � ����= �����$ > 6… H96� �����$ > H96… (56� ���� ��$ > (56… :66 ��� O����$ ���� ���������#��� � �� ���� �� ���� ������ ����&�� ��� � � �� ������� �� � ��� �� � ������� ��� ��!�� �+R� ��� ����%� ������� ����� ����������� ���&� �� � �� ���� � �����$ %����� ������$ �������� � ��� +� �� �� ���$ ���� �������� �� ,96… H66 - ��%� ����������� � ��� ���� ��������� O� � �� ���� �� � �� ���� %���� �������� �����!�� �� � ��� � � ��� ��������#�&��� � ����� ��� ������$ �������� � ��� � ����� !��� ������ ���� �� ������ �� 8 ���� !� ������ �������� �+� ��#������ � ��//�#�����$ +�� �� ��!�� ����� &�� � �� � �� ����� �������� � ���� �� � ���� PQF ':)� 8�#�������� � �� � ��� ����� ����� ������� &������ ������ �� ���� ����� �� �+ ����� ��#��� ����� ������%�$ � �� ����$ � ����� ��� ���� � ����� ������� �� ����� � �� � ��� *� ���� ��� ��� ���&�����&�� �� ����� � ��� ����� �� � ���� �� ����� � �������� �� ����� �� ��� �� ����� ����� #������ ��$ ��� ��� *� �� � ������� ��� ���� ���� �� ����� ���� ������� � +� �� �� ���$� ����������� � ���&�����&�� �� � ����� ���� %��� � ���+ �#��� �� ������ *� ������ ����� ���� ����� #������� ��!���� ���&�����&�� �� ������ ��� �+R� ���� � ���� � %����� � ����� �������� �� � ��� ������� � ������� ��� � �� ���� �� �� ������� �� �� *� ���� ��� ��� � �� � �� ��������� ��� %�� �� ��� � ��� �� ������ �� �� �� � ���� ��+����$ ��� ������ �� �� � ���� ������$ ���� ����� � ����� ��� ������ ��� ������� � ������� ���&� � ����� �������� � ���� � �� ������$� 8 ��� !� ����� ���� %��� � ����� ���� � ������&������ ����� ��� � �� � ���� ��� �� �+ ����� ����� ���� ��� ������ �� ��!�� �� � ���� ������� � ������� ��� � � ���� %���� �������� �� ����� � �� � ��� I����$ ���� ���������#��� � ��+� �#�&��$ ���&� � ������������ ������������� ������� &������ ������� � #����� ����� �� ������ �� ��!�� �� � �� ����� �������� � ����&�� ��� �� K������� ���&�����&�� �� ����� �� ������ ��� � ��� ���� ��� 3#������� ������� !�#�� **2 �� � ��� ��� ����� �� � ���� ��� ��� �� �� � H� ������ �� *�� ������� ���� ��#����� � �����!��� �� ��� � #�� ����� ��#�������� � �� ���� ���������� ���� ��#� ��$ ���� �� �� ���������� � �� ��������� � � ���� ���������� ��� ������� �� 'L)� 3#������� ������� !�#�� **2 �� � ��� ��� ����� �� � �� ������ ���� ��� ���� ���� ����� ���� ���&���� �� �#������� ���&�����&�� �� ������ ���� >� ����� -��!-�*�"�(�+ )��"#-#*� $ !-#6���� $,-�.�$�(�+ �#(#)-�� �""#$ !# �� #*& �#�-�"0�)#%#1 � 2 �#(#)-�� �""3 � 2 ��� ��� 5)-�(#$3 � 2 (�%-�$� �"03 � 2 )$�-6�$,4 �%�"0 �� -�� ������ �� ������ ��� ��� ������ �������� ���� � �� ���� ������ ��� ��#�� ��� ������ �� !�� #��� ��� � ������� !�#�� **2 �� ���&��� ���&�� �� ����� � ������� �� �� *� ���� �� ��� ��� ����� !�#�� **2 ���� %�� �� � #������ �� +� ����� ��� ���&�����&�� �� � ������ ��� ��!�� �+R� ��� ��� ������� ������ ����� �������$ ����� � � �� � ��� � ��#� ���� ���� ����� �� /������ ��� �� �#�&�� � �� � ��� ���� �� ����� !�#�� **2� S � ��� �#� �� ������� ��#� ����� �� ����� �� �� ����� ���� �������$ ���&�����&�� ������ �$ �� � ��� ������� �� � �� � H� ������ � �� A�� �# ������ �#������� � �����/�#��� ��� ��� �������� �� � ��� ������� �� �� ����#� � ��� ���//�&���� ����� �&�� ��!�� #�������� ������ �� !�#�� **2 � �������$ ���&�����&��$ ������ � � ���� 6�L,9� � ��!�� �������� !�#�� **2 � ���&�����&��$ �� ����� > 6�L96� ������ ,� *� � ������� �� ������� ��#� ����� ��!�� �� �� ����� � ���� ��� �� #������� ������� !�#�� **2 � ������� �� �� �������� ���������� �� ������ ����� ����� ��� ������� � ����� ���� #����� ����� �� ������ O�� ����%���� ���&��� ���&�� ����� !�#�� **2 ��!��� �� ��� ������� � ����� ���#����� � �������� ����!���� ������ �$� ���&�����&�� ������� ��#�� ���� � ���&� � ����������� � ��#� ���� #������ �//����� ��� �+R� ���� � ����� !���� ��!���� ������� !�#�� **2 ��� ��+� �#�&�� ���&�����&�� �� ������ H� O���#���� ��� ��� ������ ������� !�#�� **2 ��!�� �+� ����� ����� ���������� 4�� ��� ��7 � ������� �� � � ����� ����� ��� �������� �+� ���������� ��!���� �� �������� ������� � ��� � � �� � ��� �������� � ���!� ��&�� ��� ��� �$ ���������� ��!����� �� �� ������� � � �� � ���� !-#)"�*,$�� !& 0 ) !-���(�(�? 8#"�� 57/ 7�) �$(,� �#"(�@(,� &� �(#$#)� 2 A?"� �(<� )#���-@��)#4 �(7#-�� B �C�3 !&8"� ���������D� 2 �� �E� �� � ��������� 5(�-%� �)� ���� 2 A?"� �(<� )#���-@��)#4 �(7#-�� B �>�3 !&8"� �F�������D� 2 �� ��C�>� >� ��������� ��� !"� #� �#"(�@(,� 5"���( ,1 G�#-�+ � 5)�!�-���( 9 H�-� � �(%"�� !#* -�*� I� I� J#" &(�� 2 I�1 K(�-%#� #��'*� � �FL�� 2 �L� �� E� $������%�� !#"&!-#$#*(�)#$#%# )-��(�+ 9 K� �� ��"0/ )�$�@� K� � H&"0(�-� �� �� ��-$#(,4 � *-� 2 I�1 I�/ �""&-%�+� �FF�� 2 E�L �� D� &'() M ��LL NOPQRPSR OTUO VTOWXR YXS ZQOTSUOZOZP[ POXVZ\ X]^_TQ \XQOTQO XY UZ[Z\XQ `^ ZQYSP/STR P`UXSaOZXQ 99 bQQc/ P[ `XXd XY bNef NOPQRPSRU� 2 �FF�� 2 B ��� 2 �� ��C��� g� *+,$ �FgDLCL�� J-��(�4 �#(#)-�� �""�@��)�4 $ �"� / )��� G��(�@��)�� &�"#$�+� 2 I�1 �'*/$# � �(*�- #$� �FF�� 2 �� �� �� -./��!�0�� �� �� $��(#"#%�+ !#"&!-#$#*(�)#$,� �� �/ -��"#$� 2 I�1 I� �""&-%�+� �F��� 2 E>� �� L� .��� �� 1�� ��20.� -� 3�� ���%�� 4� �� J��"#-#* $ �#(#)-�� �""�� )-��(�+� 2 J��$1 �( �-!-�� � *�� �FF�� 2 �E� �� F� .5��0�6 �� �� K"�) -#����+ !#"&!-#$#*(�)#$� h@�8� !#�#8��� 2 �/� �'*� *#!� 2 A�-(�&"1 �'*/$# �" � &(/ �� ����� 2 �g� �� =�!#-#<� %#�� �(<� �)�*� H#� &!�"� �E��E����g ����������� ���� �� ���� ������� �������� �� ���������� ��� �� �� ������ ��� � ������� ����� �� � � ��� �� �� ������ �������� ���� �� �������������� ������ ���� ���������������������� ������ ��� � ���������������������� !"#!$ �� !%%& '� �������( '� )��* ��( +� ���� �,�� �������� � � ���� � ��������� � � ������� ���� �������� �� �� ���� ��� � � ��� ��� � ��������� � �������� ������������� �� ���� ��������� � � �������� � � �� � � ����� � ����� � ��� ���� ��������� � ������� � �� ����� ���������� ����� ������ ��������� ����� ����� �� ����� � ��� �� � ���� ���� � � ����� � ��� ��! "# � �������� � ���� � � � �������� �� �� ����������� �������� � ����� ���� ����� ������� � � � ��$� � ���� � �������� %������ � � � � � ��� � � � ����������� � � ���� ���� #�� �� ��������� � �������� � ������� & � � ��� � ������ ����� ��� � � ����� � ����� �������� � �� ��� ����������� ������ � '���� ������ ��� � (�� � � )*+,)� �- . ��� ��- /������� 00 1���� � ����� ������� 231 �- 4- �- 5 ��� 6��-� %)77& 890 8: +) ;$<=>?� @ABCD?8))9EFGB-HDI ��
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-95518
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0233-7681
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:22:25Z
publishDate 2007
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
record_format dspace
spelling Червоный, И.Ф.
Швец, Е.Я.
Воляр, Р.Н.
Голев, А.С.
2016-02-27T13:57:10Z
2016-02-27T13:57:10Z
2007
Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда / И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец, Р.Н. Воляр, А.С. Голев // Современная электрометаллургия. — 2007. — № 1 (86). — С. 21-24. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
0233-7681
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95518
Исследовано влияние фоновой примеси кислорода и суммарной концентрации примесей на время жизни неравновесных носителей заряда (ННЗ) в монокристаллах кремния, выращенных методом Чохральского и предназначенных для использования в солнечной энергетике. Рассмотрен вопрос распределения концентрации кислорода и времени жизни ННЗ по длине монокристалла.
The effect of background impurity of oxygen and total concentration of impurities on life of non-equilibrium carriers of charge (NCC) in silicon single crystals grown by the method of Czochralski and designed for use in solar power engineering was studied. Problem of distribution of oxygen concentration and NCC life in the single crystal length was studied.
ru
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Современная электрометаллургия
Вакуумно-индукционная плавка
Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
Oxygen distribution in silicon single crystals and its effect on life of non-equilibrium carriers of charge
Article
published earlier
spellingShingle Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
Червоный, И.Ф.
Швец, Е.Я.
Воляр, Р.Н.
Голев, А.С.
Вакуумно-индукционная плавка
title Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
title_alt Oxygen distribution in silicon single crystals and its effect on life of non-equilibrium carriers of charge
title_full Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
title_fullStr Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
title_full_unstemmed Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
title_short Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
title_sort распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда
topic Вакуумно-индукционная плавка
topic_facet Вакуумно-индукционная плавка
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95518
work_keys_str_mv AT červonyiif raspredeleniekislorodavmonokristallahkremniâiegovliânienavremâžiznineravnovesnyhnositeleizarâda
AT šveceâ raspredeleniekislorodavmonokristallahkremniâiegovliânienavremâžiznineravnovesnyhnositeleizarâda
AT volârrn raspredeleniekislorodavmonokristallahkremniâiegovliânienavremâžiznineravnovesnyhnositeleizarâda
AT golevas raspredeleniekislorodavmonokristallahkremniâiegovliânienavremâžiznineravnovesnyhnositeleizarâda
AT červonyiif oxygendistributioninsiliconsinglecrystalsanditseffectonlifeofnonequilibriumcarriersofcharge
AT šveceâ oxygendistributioninsiliconsinglecrystalsanditseffectonlifeofnonequilibriumcarriersofcharge
AT volârrn oxygendistributioninsiliconsinglecrystalsanditseffectonlifeofnonequilibriumcarriersofcharge
AT golevas oxygendistributioninsiliconsinglecrystalsanditseffectonlifeofnonequilibriumcarriersofcharge