Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения

Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электриче...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Современная электрометаллургия
Datum:2009
Hauptverfasser: Демчишин, А.В., Голтвяница, В.С., Голтвяница, С.К., Кулак, Л.Д., Токарев, О.А., Автономов, Г.А.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95985
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А.В. Демчишин, В.С. Голтвяница, С.К. Голтвяница, Л.Д. Кулак, О.А. Токарев, Г.А. Автономов // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 2 (95). — С. 42-47. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859602329134694400
author Демчишин, А.В.
Голтвяница, В.С.
Голтвяница, С.К.
Кулак, Л.Д.
Токарев, О.А.
Автономов, Г.А.
author_facet Демчишин, А.В.
Голтвяница, В.С.
Голтвяница, С.К.
Кулак, Л.Д.
Токарев, О.А.
Автономов, Г.А.
citation_txt Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А.В. Демчишин, В.С. Голтвяница, С.К. Голтвяница, Л.Д. Кулак, О.А. Токарев, Г.А. Автономов // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 2 (95). — С. 42-47. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Современная электрометаллургия
description Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения подложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых конденсатов. Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates.
first_indexed 2025-11-28T01:03:38Z
format Article
fulltext сливали в металлическую форму. После охлажде- ния отливки (рис. 5) отправляли на гидравлические испытания. Получены положительные результаты. Также осуществляли испытания механических свойств и определяли содержание газовых примесей. Испытания показали, что механические свой- ства соответствуют действующим ТУ 48-10-8—86 (σв – до 500 МПа, δ – более 5 %, КСU – 0,1 МДж/м2, среднее содержание кислорода в отливках состав- ляло 0,15, азота – 0,075, водорода – 0,004 и уг- лерода – 0,09 мас. %), что подтверждает эффек- тивность предложенной технологии получения рас- ходуемых электродов. 1. Производство фасонных отливок из титановых сплавов / Е. Л. Бибиков, С. Г. Глазунов, А. А. Неуструев и др. – М.: Металлургия, 1983. – 298 с. 2. Анализ технологических схем изготовления прессованной заготовки из некомпактной шихты для получения слитка титана первого переплава / Ю. В. Латаш, В. Н. Замков, В. С. Константинов и др. // Пробл. спец. электрометал- лургии. – 1998. – № 2. – С. 35—38. 3. Реконструкция плазменно-дуговой печи УП-100 для вы- плавки титановых слитков из некомпактной титановой шихты / Ю. В. Латаш, В. С. Константинов, В. В. Тэлин и др. // Там же. – 1990. – № 1. – С. 72—75. 4. Родякин В. В., Гегер В. Э., Скрыпнюк В. М. Магнийтер- мическое производство губчатого титана. – М.: Метал- лургия, 1971. – 216 с. 5. Проблемы надежности аппарата магнийтермического по- лучения губчатого титана повышенной цикловой произво- дительности / С. М. Теслевич, В. В. Тэлин, А. Н. Пам- пушко и др. // Современ. электрометаллургия. – 2004. – № 2. – С. 50—53. 6. Неуструев А. А., Ходорковский Г. Л. Вакуумные гарнис- сажные печи. – М.: Металлургия, 1967. – 272 с. Ин-т электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины, Киев КП «Запорожский титано-магниевый комбинат» Поступила 24.03.2009 УДК 669.187.2 СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ ИЗ Ti, Ti36Al, Ti/Al, ПОЛУЧЕННЫХ СПОСОБОМ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ А. В. Демчишин, В. С. Голтвяница, С. К. Голтвяница, Л. Д. Кулак, О. А. Токарев, Г. А. Автономов Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения под- ложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых конденсатов. Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates. Ключ е вы е с л о в а : вакуумно-дуговое осаждение; за- щитные покрытия; конденсаты; титан; фазовый состав; структура Введение. Конденсаты чистого титана, его сплавов с алюминием и многослойных композиций системы Ti/Al представляют большой практический инте- рес благодаря высоким значениям коррозионной стойкости в агрессивных средах и прочности, а так- же низкому удельному весу. Указанные материалы могут быть использованы в качестве защитных пок- рытий в химической промышленности, авиакосми- ческой технике, автомобилестроении и медицинс- кой технике. Например, алюминиды титана явля- ются перспективными материалами для покрытий, эксплуатируемых в условиях высоких температур. Многослойные Ti/Al композиции можно исполь- зовать для получения новых типов защитных пок- рытий, а также создания самостоятельных изделий из интерметаллических и неразъемных соединений способом диффузионной сварки [1, 2]. Осаждение покрытий с помощью нефильтрован- ного вакуумно-дугового испарения позволяет в зна- чительной степени экономить дорогие материалы, © А. В. ДЕМЧИШИН, В. С. ГОЛТВЯНИЦА, С. К. ГОЛТВЯНИЦА, Л. Д. КУЛАК, О. А. ТОКАРЕВ, Г. А. АВТОНОМОВ, 2009 42 поскольку микрокапельная фаза в плазменных по- токах, эмитируемая с большими скоростями из ка- тодных пятен в направлении к подложкам, вносит свой вклад в формирование покрытий. В данной работе представлены результаты ис- следований влияния некоторых технологических параметров (электрическое смещение на подложке, толщина субслоев в многослойных композициях) на структуру, фазовый состав и твердость конден- сатов чистого титана, бинарного сплава Ti—Al и мно- гослойной композиции Ti/Al, полученных с по- мощью нефильтрованного катодно-дугового испа- рения в вакууме. Методика эксперимента. Покрытия из Ti, Ti—Al и Ti/Al на подложках из нержавеющей стали и по- ликристаллического корунда получены посред- ством нефильтрованного вакуумно-дугового осаж- дения. Для этих целей использовали модифициро- ванную вакуумно-дуговую установку «Булат-3T». Ее схематическое изображение представлено на рис. 1. Цилиндрические катоды торцевого типа диаметром 64 мм и высотой 45 мм из чистых металлов (титана, алюминия) изготовили путем механического точе- ния из слитков электронно-лучевого переплава ди- аметром 70 мм. Катоды из труднообрабатываемого титанового сплава получали способом вакуумно-ду- гового переплава титана и алюминия в аргоне, а их хвостовую часть (со стороны охлаждения) отлили в едином технологическом цикле из чистого титана с целью обеспечения хорошей механической обра- батываемости охлаждаемого торца катода. Подлож- ками для покрытий служили листовые заготовки из нержавеющей стали 12 17 размерами 100 100 0,3 мм, а также шлифованные пластинки поликора (70 50 0,25 мм). Осаждение конденсатов осущес- твляли в рабочей камере с аргоном высокой чис- тоты при давлении 3⋅10—1 Па. Очистку подложек при помощи бомбардировки их поверхностей иона- ми аргона, а затем металлическими ионами катодных материалов перед нанесением покрытий производи- ли при подаче на подложку отрицательного потен- циала 1000 В и при давлении в камере 3⋅10—2 Па для предотвращения образования микродуг и поврежде- ний ими поверхности конденсации. Рис. 1. Схема вакуумно-дуговой установки «Булат-3T»: 1 – вакуумная камера; 2 – подложка; 3 – стабилизирующая ка- тушка; 4 – торцевой катод; 5 – поджигатель; 6 – источник питания дугового разряда; 7 – механизм вращения подложко- держателя; 8 – источник питания для подачи электрического смещения на подложкодержатель Рис. 2. Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) микрофотографии морфологии поверхности титанового покрытия, полу- ченного при отрицательных напряжениях смещения, подаваемых на стальную подложку: а – 50; б – 180 В, 860 Рис. 3. Микрофотографии излома титанового покрытия; смещение подложки —50 В; толщина слоя 60 мкм; 1000 (a); 3000 (б) 43 После очистки путем ионной бомбардировки и одновременного прогрева подложек до 400…450 °С (3…5 мин) отрицательный потенциал снижался до —180 и —50 В, и осаждались покрытия. Расстояние между подложкой и катодом составляло 125 мм. Ток дуги варьировали в пределах 100…140 А в за- висимости от материала катода. Конденсацию многослойных конденсатов Ti /Al осуществляли путем периодического перемещения подложек от одного катода к другому с помощью механизма вращения подложкодержателя консоль- ного типа при непрерывном испарении катодов. Длительность осаждения субслоев задавали с по- мощью реле времени, связанного с электрической цепью привода вращения вертикального вала с вакуумным вводом в рабочую камеру установки (рис. 1, поз. 7, 8). Продолжительность конденсации каждого субслоя в данном исследовании составляла 30, 20 и 10 с, что позволило получать конденсаты с модуляцией многослойной структуры 500, 350 и 200 нм. Общая длительность осаждения таких по- крытий равнялась 60 мин, а суммарная толщина – 50…90 мкм. Толщина однослойных конденсатов ти- тана и титанового сплава Ti36Al достигала соответ- ственно 90 и 140 мкм. Структуру покрытий исследовали с помощью сканирующего электронного микроскопа «JEOL 733» и трансмиссионного электронного микроскопа «JEOL 200». Рентгенографический анализ выпол- няли на установке «ДРОН-3», а рентгенофазовый анализ – на установке HZG-4 в CuKα излучении с использованием внешнего стандарта – кремния. Обрабатывали полученные рентгенограммы с по- мощью прикладных программ «New Profile-356», «Leasquar», а расчитывали периоды решетки – с использованием программы «Lattice». Микротвер- дость конденсатов в поперечном сечении измеряли приборами ПМТ-3М и «Микрон-Гамма». Плот- ность конденсатов чистого титана определяли гид- ростатическим взвешиванием. Экспериментальные результаты и обсуждение. Структура поверхности титановых вакуумно-дуго- вых конденсатов, сформированных на стальных подложках при различных опорных напряжениях (—50 и —180 В), представлены на рис. 2. Микрофотографии излома титанового покры- тия, осажденного на подложку с электрическим сме- щением —50 В, демонстрируют наличие пористой структуры (рис. 3). Нижняя часть конденсата, при- легающая к подложке, имеет множество пор разме- Рис. 4. Микрофотография полированного шлифа поперечного сечения титанового покрытия; смещение подложки —50 В; тол- щина слоя 60 мкм; 3000 Рис. 5. Микрофотографии излома титанового покрытия, сформированного из микрокапельной фазы; смещение подложки —50 B; толщина покрытия 40 мкм; 1000 (а); 3000 (б) Рис. 6. Микрофотографии излома титанового покрытия; смещение подложки —180 В; толщина слоя 20 мкм; 1000 (а); 4000 (б) 44 ром 0,5…3,0, а верхняя часть осажденного слоя – столбчатую структуру. Причина образования послед- ней заключается в более высокой температуре повер- хности осаждения на этом этапе роста покрытия. Полированный шлиф поперечного сечения тита- нового покрытия, осажденного при электрическом смещении подложки —50 В, также показывает на- личие множества пор округлой формы (рис. 4). Формирование пористого титанового слоя за- фиксировано и в случае набрызгивания микрока- пель из неохлаждаемого титанового катода на сталь- ную подложку с электрическим смещением —50 В. Микрофотографии излома такого слоя представле- ны на рис. 5. Измерения плотности таких титановых конден- сатов, отделенных от медных подложек и прошед- ших гидростатическое взвешивание в четыреххло- ристом углероде, показали, что их пористость состав- ляет соответственно 15 и 30 % в зависимости от тем- пературы титанового катода. Вакуумно-дуговое ис- парение водоохлаждаемого катода приводит к фор- мированию конденсатов с меньшей пористостью. Повышение значения отрицательного потенциа- ла, подаваемого на подложку, от —50 до —180 В способствует формированию более плотного тита- нового конденсата. На рис. 6 представлена струк- тура излома титанового конденсата, полученного при скорости осаждения 1,0 мкм/мин на стальной подложке с электрическим смещением —180 В. Изучение структуры титанового конденсата в по- перечном сечении показало наличие столбчатых кристаллитов по всей толщине конденсированного слоя (рис. 7). Измерения микротвердости титановых конден- сатов на приборе ПМТ-3М при нагрузке 0,50 Н показали, что твердость конденсированных слоев, сформированных при электрическом смещении —50 и —180 B, составляет соответственно 2,36 и 2,20 ГПа. Аналогичные измерения микротвердости, прове- денные на приборе «Микрон-Гамма» с записью кри- вых нагружения и последующей разгрузки, пока- зали, что титановый конденсат, полученный на под- ложке с потенциалом —50 B, имеет микротвердость 2,96 ГПа, модуль упругости – 96 ГПа, а коэффи- циент пластичности – 0,765. Коэффициент пластич- ности массивного титана равняется 0,9. Меньшие зна- чения пластичности вакуумно-дугового титанового конденсата объясняются его высокой пористостью. В ходе рентгенографических исследований ти- тановых конденсатов, полученных при потенциале Рис. 7. Микроструктура титанового конденсата в поперечном сечении; электрическое смещение стальной подложки —180 В, 2000 Рис. 8. СЭМ микрофотографии морфологии поверхности покрытия TiAl, полученного при отрицательном напряжении смещения —50 В, подаваемого на стальную подложку; 1000 (а); 4000 (б) Рис. 9. Микрофотографии излома покрытия из сплава TiAl; напряжение смещения на стальной подложке —50 В; 600 (а); 1500 (б) 45 смещения —180 B, установлено, что конденсирован- ные слои содержат α-фазу и текстуру [001]. Пара- метры ГПУ решетки имеют следующие значения: а = 2,9511 А; с = 4,6871; с/а = 1,588. Полученные результаты показали, что вакуум- но-дуговое осаждение слоев титана позволяет изме- нять в широком диапазоне микроструктуру и мор- фологию покрытий. Наличие микрочастиц в ваку- умно-дуговых конденсатах в случае использования нефильтрованной металлической плазмы для фор- мирования конденсированных слоев на подложках с малым опорным напряжением дает возможность получать пористые титановые покрытия с большой развитой поверхностью. Указанные свойства таких конденсатов могут быть использованы в медицин- ской практике для нанесения функциональных по- крытий на имплантаты из титановых сплавов. При изучении структуры вакуумно-дуговых конденсатов титанового сплава Ti—36 мас. % Al тол- щиной 100…140 мкм, сформированных при потен- циале электрического смещения на подложке —50 B, обнаружено, что топография поверхности и попе- речный излом этих конденсатов близки к структу- рам чистого титана (рис. 8, 9). Микроструктура такого конденсата, полученная на шлифе поперечного сечения, также свидетель- ствует о наличии несплошностей в объеме конден- сированного сплава (рис. 10). Рентгенографический анализ стружки исход- ного материала и конденсатов титанового сплава Ti—Al, сформированных на поликоровой и стальной подложках при потенциалах электрического смеще- ния соответственно —50 и —180 В, показал, что ма- териал катода содержит γ—TiAl фазу с гранецент- рированной тетрагональной решеткой и соответствует химическому составу Ti—36 мас. % Al (таблица). Вакуумно-дуговой конденсат, полученный на поликоровой подложке при электрическом сме- щении —50 В, включает соединение Ti3Al и α-Ti. Покрытие на нержавеющей стали, сформированное при электрическом потенциале —180 В, содержит, по- мимо этих фаз, дополнительно около 4 мас. % β—Ti-фазы, что можно объяснить взаимодействием растущего конденсата с подложкой, содержащей хромовый β-стабилизатор. Изменение фазового состава конденсированных слоев титанового сплава, по сравнению с исходным материалом, свидетельствует об обеднении конден- сата алюминием. Анализ диаграммы состояния сис- темы Ti—Al показал, что содержание алюминия в конденсатах, сформированных при потенциалах смещения —50 и —180 В, составляет соответственно 25 и 20 мас. %. Полученные данные свидетельствуют о зависимости химического состава покрытий от по- тенциала подложки, а это дает возможность управ- лять составом посредством данного технологичес- кого параметра. Изменение состава вакуумно-дуго- вых покрытий Ti—Al в зависимости от электричес- кого потенциала на подложке отмечено и в работе [3], где уменьшение содержания алюминия с уве- личением напряжения смещения объясняется раз- личиями в степени ионизации титана и алюминия. Степень ионизации паровой фазы титана выше (80 %), чем пара алюминия (50 %). Это приводит к Рис. 10. Микрофотография полированного шлифа поперечного сечения титанового покрытия; смещение стальной подложки — 50 В; толщина слоя 100 мкм; 3000 Рис. 11. СЭМ микрофотографии поперечного сечения вакуум- но-дугового многослойного Ti/Al покрытия; длительность осаж- дения субслоев 20 с; 20000 Фазовый состав и параметры кристаллической решетки исходного Ti—36 мас. % Al сплава и осажденных покрытий Объект исследования Фазовый сос- тав a, A c, A c/a Металличес- кая стружка катода TiAl(γ-фаза) 3,991 4,0536 1,0156 Покрытие на поликоре Ti3Al + α-Ti 2,946 α-Ti 5,812 Ti3Al 4,644 α-Ti 4,60 Ti3Al 1,576 0,792 Покрытие на нержаве- ющей стали Ti3Al + α-Ti + β-Ti 5,828 Ti3Al 3,214 β-Ti 2,914 α-Ti 4,657 Ti3Al 4,657 α-Ti 0,799 1,598 Рис. 12. Tрансэмиссионная электронная микроскопия микро- структуры вакуумно-дугового Ti/Al покрытия; 72000 46 более сильному притягива- нию отрицательно заряжен- ной подложкой ионов титана, что способствует изменению соотношения титана и алюми- ния в покрытии. Измерения микротвердости конденсатов титанового сплава Ti—Al толщиной 140 мкм (вре- мя осаждения 60 мин) на при- боре ПМТ-3М при нагрузке 2 Н показали, что твердость кон- денсированных слоев, сфор- мированных при электричес- ком смещении —50 и —180 B, составляет соответственно 5,1 и 5,5 ГПa. Аналогичные изме- рения микротвердости на приборе «Микрон-Гамма» с записью кривых нагружения и последующей разгрузки по- казали, что титановый кон- денсат, осажденный на под- ложке с потенциалом —50 B, имеет микротвердость 5,06 ГПa и модуль упругости 140 ГПa. Полученные данные находятся в соответ- ствии с литературными, свидетельствующими о том, что уменьшение содержания алюминия от 36 до 20 % вызывает повышение твердости [4]. Большой научный и практический интерес пред- ставляют многослойные композиции. Электронно- микроскопические исследования многослойных конденсатов системы Ti/Al (общая толщина 40…60 мкм) показали, что в случае толщины череду- ющихся субслоев 500 и 350 нм при конденсации фор- мируются слои с модулированной структурой (рис. 11). Однако при толщине субслоев 200 нм и меньше об- наружена их фрагментация, связанная с большими внутренними напряжениями в такой композиции. Трансмиссионные электронно-микроскопичес- кие исследования многослойных конденсатов сис- темы Ti/Al в продольном сечении зафиксировали наличие мелкозернистой структуры с размером зер- на 0,3…0,5 и 0,1…0,3 нм в зависимости от толщины субслоев (рис. 12). Рентгенографический анализ многослойных конденсатов установил, что дифрактограммы содер- жат пики как титана, так и алюминия. Кремниевые линии использовали в качестве реперных (рис. 13). Помимо линий чистых металлов, присутствуют так- же пики интерметаллидов TixAl1—x. Уменьшение пе- риода модуляции способствует образованию интер- металлидов различного состава на межслойных по- верхностях раздела. Зафиксированное удвоение пи- ков титана и алюминия свидетельствует об образо- вании твердых растворов алюминия в гексагональ- ном титане и титана в алюминии. Низкий и широкий пики на малых градусах отражают наличие в этих композициях рентгеноаморфной фазы с размером кристаллитов в несколько нанометров. Измерения микротвердости многослойных Ti/Al конденсатов показали, что уменьшение тол- щины субслоев от 500 до 350 нм вызывает рост твер- дости от 3,04 до 3,70 ГПa. Однако дальнейшее уменьшение толщины субслоев (до 200 нм) приводит к снижению твердости до 2,93 ГПa, что объясняется фрагментацией субслоев. Выводы 1. Показано, что вакуумно-дуговая технология осаждения позволяет получать покрытия с разными типами металлических структур и различными свойствами, включая чистые металлы, сплавы и многослойные композиции. 2. Определено, что высокая степень ионизации создаваемых в этом случае плазменных потоков в сочетании с подачей отрицательного потенциала на подложки дает возможность управлять химическим составом и физико-механическими свойствами кон- денсатов в широком диапазоне. 3. Установлено, что варьирование периода мо- дуляции в многослойных композициях ведет к из- менению соотношения фазового состава, микрост- руктуры и твердости таких покрытий. 1. Jiangwei R, Li Yajiang, Feng Tao. Microstructure charac- teristics in the interface zone of Ti/Al diffusion bon- ding // Materials Letters 56. – 2002. – November. – P. 647—652. 2. Ramos A. S., Calinas R., Vieira M. T. The formation of γ-TiAl from Ti/Al multilayers with different periods // Surface and Coatings Technology. – 2006. – № 200. – P. 6196—6200. 3. PalDey S., Deevi S. C., Alford T. L. Cathodic arc deposi- ted thin film coatings based on TiAl intermetallics // In- termetallics. – 2004. – № 12. – P. 985—991. 4. Еременко В. Н. Титан и его сплавы. 2-е изд. – Киев: Академия наук УССР, 1960. – 500 с. Ин-т пробл. материаловед. им. И. Н. Францевича НАН Украины, Киев ООО «РИАЛ», Запорожье Поступила 13.02.2009 Рис. 13. 2θ рентгенографические развертки многослойных Ti/Al конденсатов с различными значениями толщины субслоев; I – интенсивность 47
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-95985
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0233-7681
language Russian
last_indexed 2025-11-28T01:03:38Z
publishDate 2009
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
record_format dspace
spelling Демчишин, А.В.
Голтвяница, В.С.
Голтвяница, С.К.
Кулак, Л.Д.
Токарев, О.А.
Автономов, Г.А.
2016-03-08T17:49:51Z
2016-03-08T17:49:51Z
2009
Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А.В. Демчишин, В.С. Голтвяница, С.К. Голтвяница, Л.Д. Кулак, О.А. Токарев, Г.А. Автономов // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 2 (95). — С. 42-47. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
0233-7681
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95985
669.187.2
Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения подложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых конденсатов.
Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates.
ru
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Современная электрометаллургия
Вакуумно-дуговой переплав
Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
Structure and properties of coatings of Ti, Ti36AI, Ti/Al, produced by the method of vacuum arc evaporation
Article
published earlier
spellingShingle Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
Демчишин, А.В.
Голтвяница, В.С.
Голтвяница, С.К.
Кулак, Л.Д.
Токарев, О.А.
Автономов, Г.А.
Вакуумно-дуговой переплав
title Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
title_alt Structure and properties of coatings of Ti, Ti36AI, Ti/Al, produced by the method of vacuum arc evaporation
title_full Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
title_fullStr Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
title_full_unstemmed Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
title_short Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
title_sort структура и свойства покрытий из ti, ti36al, ti/al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
topic Вакуумно-дуговой переплав
topic_facet Вакуумно-дуговой переплав
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95985
work_keys_str_mv AT demčišinav strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ
AT goltvânicavs strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ
AT goltvânicask strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ
AT kulakld strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ
AT tokarevoa strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ
AT avtonomovga strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ
AT demčišinav structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation
AT goltvânicavs structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation
AT goltvânicask structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation
AT kulakld structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation
AT tokarevoa structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation
AT avtonomovga structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation