Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения
Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электриче...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Современная электрометаллургия |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95985 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А.В. Демчишин, В.С. Голтвяница, С.К. Голтвяница, Л.Д. Кулак, О.А. Токарев, Г.А. Автономов // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 2 (95). — С. 42-47. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859602329134694400 |
|---|---|
| author | Демчишин, А.В. Голтвяница, В.С. Голтвяница, С.К. Кулак, Л.Д. Токарев, О.А. Автономов, Г.А. |
| author_facet | Демчишин, А.В. Голтвяница, В.С. Голтвяница, С.К. Кулак, Л.Д. Токарев, О.А. Автономов, Г.А. |
| citation_txt | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А.В. Демчишин, В.С. Голтвяница, С.К. Голтвяница, Л.Д. Кулак, О.А. Токарев, Г.А. Автономов // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 2 (95). — С. 42-47. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Современная электрометаллургия |
| description | Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения подложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых конденсатов.
Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates.
|
| first_indexed | 2025-11-28T01:03:38Z |
| format | Article |
| fulltext |
сливали в металлическую форму. После охлажде-
ния отливки (рис. 5) отправляли на гидравлические
испытания. Получены положительные результаты.
Также осуществляли испытания механических свойств
и определяли содержание газовых примесей.
Испытания показали, что механические свой-
ства соответствуют действующим ТУ 48-10-8—86
(σв – до 500 МПа, δ – более 5 %, КСU – 0,1 МДж/м2,
среднее содержание кислорода в отливках состав-
ляло 0,15, азота – 0,075, водорода – 0,004 и уг-
лерода – 0,09 мас. %), что подтверждает эффек-
тивность предложенной технологии получения рас-
ходуемых электродов.
1. Производство фасонных отливок из титановых сплавов /
Е. Л. Бибиков, С. Г. Глазунов, А. А. Неуструев и др. –
М.: Металлургия, 1983. – 298 с.
2. Анализ технологических схем изготовления прессованной
заготовки из некомпактной шихты для получения слитка
титана первого переплава / Ю. В. Латаш, В. Н. Замков,
В. С. Константинов и др. // Пробл. спец. электрометал-
лургии. – 1998. – № 2. – С. 35—38.
3. Реконструкция плазменно-дуговой печи УП-100 для вы-
плавки титановых слитков из некомпактной титановой
шихты / Ю. В. Латаш, В. С. Константинов, В. В. Тэлин
и др. // Там же. – 1990. – № 1. – С. 72—75.
4. Родякин В. В., Гегер В. Э., Скрыпнюк В. М. Магнийтер-
мическое производство губчатого титана. – М.: Метал-
лургия, 1971. – 216 с.
5. Проблемы надежности аппарата магнийтермического по-
лучения губчатого титана повышенной цикловой произво-
дительности / С. М. Теслевич, В. В. Тэлин, А. Н. Пам-
пушко и др. // Современ. электрометаллургия. –
2004. – № 2. – С. 50—53.
6. Неуструев А. А., Ходорковский Г. Л. Вакуумные гарнис-
сажные печи. – М.: Металлургия, 1967. – 272 с.
Ин-т электросварки им. Е. О. Патона НАН Украины, Киев
КП «Запорожский титано-магниевый комбинат»
Поступила 24.03.2009
УДК 669.187.2
СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ
ИЗ Ti, Ti36Al, Ti/Al, ПОЛУЧЕННЫХ СПОСОБОМ
ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ
А. В. Демчишин, В. С. Голтвяница, С. К. Голтвяница,
Л. Д. Кулак, О. А. Токарев, Г. А. Автономов
Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора
с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы,
микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения под-
ложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований
показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых
конденсатов.
Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor
using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness
and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and
thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the
mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates.
Ключ е вы е с л о в а : вакуумно-дуговое осаждение; за-
щитные покрытия; конденсаты; титан; фазовый состав;
структура
Введение. Конденсаты чистого титана, его сплавов
с алюминием и многослойных композиций системы
Ti/Al представляют большой практический инте-
рес благодаря высоким значениям коррозионной
стойкости в агрессивных средах и прочности, а так-
же низкому удельному весу. Указанные материалы
могут быть использованы в качестве защитных пок-
рытий в химической промышленности, авиакосми-
ческой технике, автомобилестроении и медицинс-
кой технике. Например, алюминиды титана явля-
ются перспективными материалами для покрытий,
эксплуатируемых в условиях высоких температур.
Многослойные Ti/Al композиции можно исполь-
зовать для получения новых типов защитных пок-
рытий, а также создания самостоятельных изделий
из интерметаллических и неразъемных соединений
способом диффузионной сварки [1, 2].
Осаждение покрытий с помощью нефильтрован-
ного вакуумно-дугового испарения позволяет в зна-
чительной степени экономить дорогие материалы,
© А. В. ДЕМЧИШИН, В. С. ГОЛТВЯНИЦА, С. К. ГОЛТВЯНИЦА, Л. Д. КУЛАК, О. А. ТОКАРЕВ,
Г. А. АВТОНОМОВ, 2009
42
поскольку микрокапельная фаза в плазменных по-
токах, эмитируемая с большими скоростями из ка-
тодных пятен в направлении к подложкам, вносит
свой вклад в формирование покрытий.
В данной работе представлены результаты ис-
следований влияния некоторых технологических
параметров (электрическое смещение на подложке,
толщина субслоев в многослойных композициях)
на структуру, фазовый состав и твердость конден-
сатов чистого титана, бинарного сплава Ti—Al и мно-
гослойной композиции Ti/Al, полученных с по-
мощью нефильтрованного катодно-дугового испа-
рения в вакууме.
Методика эксперимента. Покрытия из Ti, Ti—Al и
Ti/Al на подложках из нержавеющей стали и по-
ликристаллического корунда получены посред-
ством нефильтрованного вакуумно-дугового осаж-
дения. Для этих целей использовали модифициро-
ванную вакуумно-дуговую установку «Булат-3T».
Ее схематическое изображение представлено на рис. 1.
Цилиндрические катоды торцевого типа диаметром
64 мм и высотой 45 мм из чистых металлов (титана,
алюминия) изготовили путем механического точе-
ния из слитков электронно-лучевого переплава ди-
аметром 70 мм. Катоды из труднообрабатываемого
титанового сплава получали способом вакуумно-ду-
гового переплава титана и алюминия в аргоне, а их
хвостовую часть (со стороны охлаждения) отлили
в едином технологическом цикле из чистого титана
с целью обеспечения хорошей механической обра-
батываемости охлаждаемого торца катода. Подлож-
ками для покрытий служили листовые заготовки из
нержавеющей стали 12 17 размерами 100 100 0,3 мм,
а также шлифованные пластинки поликора
(70 50 0,25 мм). Осаждение конденсатов осущес-
твляли в рабочей камере с аргоном высокой чис-
тоты при давлении 3⋅10—1 Па. Очистку подложек
при помощи бомбардировки их поверхностей иона-
ми аргона, а затем металлическими ионами катодных
материалов перед нанесением покрытий производи-
ли при подаче на подложку отрицательного потен-
циала 1000 В и при давлении в камере 3⋅10—2 Па для
предотвращения образования микродуг и поврежде-
ний ими поверхности конденсации.
Рис. 1. Схема вакуумно-дуговой установки «Булат-3T»: 1 –
вакуумная камера; 2 – подложка; 3 – стабилизирующая ка-
тушка; 4 – торцевой катод; 5 – поджигатель; 6 – источник
питания дугового разряда; 7 – механизм вращения подложко-
держателя; 8 – источник питания для подачи электрического
смещения на подложкодержатель
Рис. 2. Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) микрофотографии морфологии поверхности титанового покрытия, полу-
ченного при отрицательных напряжениях смещения, подаваемых на стальную подложку: а – 50; б – 180 В, 860
Рис. 3. Микрофотографии излома титанового покрытия; смещение подложки —50 В; толщина слоя 60 мкм; 1000 (a); 3000 (б)
43
После очистки путем ионной бомбардировки и
одновременного прогрева подложек до 400…450 °С
(3…5 мин) отрицательный потенциал снижался до
—180 и —50 В, и осаждались покрытия. Расстояние
между подложкой и катодом составляло 125 мм.
Ток дуги варьировали в пределах 100…140 А в за-
висимости от материала катода.
Конденсацию многослойных конденсатов Ti /Al
осуществляли путем периодического перемещения
подложек от одного катода к другому с помощью
механизма вращения подложкодержателя консоль-
ного типа при непрерывном испарении катодов.
Длительность осаждения субслоев задавали с по-
мощью реле времени, связанного с электрической
цепью привода вращения вертикального вала с
вакуумным вводом в рабочую камеру установки
(рис. 1, поз. 7, 8). Продолжительность конденсации
каждого субслоя в данном исследовании составляла
30, 20 и 10 с, что позволило получать конденсаты
с модуляцией многослойной структуры 500, 350 и
200 нм. Общая длительность осаждения таких по-
крытий равнялась 60 мин, а суммарная толщина –
50…90 мкм. Толщина однослойных конденсатов ти-
тана и титанового сплава Ti36Al достигала соответ-
ственно 90 и 140 мкм.
Структуру покрытий исследовали с помощью
сканирующего электронного микроскопа «JEOL
733» и трансмиссионного электронного микроскопа
«JEOL 200». Рентгенографический анализ выпол-
няли на установке «ДРОН-3», а рентгенофазовый
анализ – на установке HZG-4 в CuKα
излучении с
использованием внешнего стандарта – кремния.
Обрабатывали полученные рентгенограммы с по-
мощью прикладных программ «New Profile-356»,
«Leasquar», а расчитывали периоды решетки – с
использованием программы «Lattice». Микротвер-
дость конденсатов в поперечном сечении измеряли
приборами ПМТ-3М и «Микрон-Гамма». Плот-
ность конденсатов чистого титана определяли гид-
ростатическим взвешиванием.
Экспериментальные результаты и обсуждение.
Структура поверхности титановых вакуумно-дуго-
вых конденсатов, сформированных на стальных
подложках при различных опорных напряжениях
(—50 и —180 В), представлены на рис. 2.
Микрофотографии излома титанового покры-
тия, осажденного на подложку с электрическим сме-
щением —50 В, демонстрируют наличие пористой
структуры (рис. 3). Нижняя часть конденсата, при-
легающая к подложке, имеет множество пор разме-
Рис. 4. Микрофотография полированного шлифа поперечного
сечения титанового покрытия; смещение подложки —50 В; тол-
щина слоя 60 мкм; 3000
Рис. 5. Микрофотографии излома титанового покрытия, сформированного из микрокапельной фазы; смещение подложки —50 B;
толщина покрытия 40 мкм; 1000 (а); 3000 (б)
Рис. 6. Микрофотографии излома титанового покрытия; смещение подложки —180 В; толщина слоя 20 мкм; 1000 (а); 4000 (б)
44
ром 0,5…3,0, а верхняя часть осажденного слоя –
столбчатую структуру. Причина образования послед-
ней заключается в более высокой температуре повер-
хности осаждения на этом этапе роста покрытия.
Полированный шлиф поперечного сечения тита-
нового покрытия, осажденного при электрическом
смещении подложки —50 В, также показывает на-
личие множества пор округлой формы (рис. 4).
Формирование пористого титанового слоя за-
фиксировано и в случае набрызгивания микрока-
пель из неохлаждаемого титанового катода на сталь-
ную подложку с электрическим смещением —50 В.
Микрофотографии излома такого слоя представле-
ны на рис. 5.
Измерения плотности таких титановых конден-
сатов, отделенных от медных подложек и прошед-
ших гидростатическое взвешивание в четыреххло-
ристом углероде, показали, что их пористость состав-
ляет соответственно 15 и 30 % в зависимости от тем-
пературы титанового катода. Вакуумно-дуговое ис-
парение водоохлаждаемого катода приводит к фор-
мированию конденсатов с меньшей пористостью.
Повышение значения отрицательного потенциа-
ла, подаваемого на подложку, от —50 до —180 В
способствует формированию более плотного тита-
нового конденсата. На рис. 6 представлена струк-
тура излома титанового конденсата, полученного
при скорости осаждения 1,0 мкм/мин на стальной
подложке с электрическим смещением —180 В.
Изучение структуры титанового конденсата в по-
перечном сечении показало наличие столбчатых
кристаллитов по всей толщине конденсированного
слоя (рис. 7).
Измерения микротвердости титановых конден-
сатов на приборе ПМТ-3М при нагрузке 0,50 Н
показали, что твердость конденсированных слоев,
сформированных при электрическом смещении —50
и —180 B, составляет соответственно 2,36 и 2,20 ГПа.
Аналогичные измерения микротвердости, прове-
денные на приборе «Микрон-Гамма» с записью кри-
вых нагружения и последующей разгрузки, пока-
зали, что титановый конденсат, полученный на под-
ложке с потенциалом —50 B, имеет микротвердость
2,96 ГПа, модуль упругости – 96 ГПа, а коэффи-
циент пластичности – 0,765. Коэффициент пластич-
ности массивного титана равняется 0,9. Меньшие зна-
чения пластичности вакуумно-дугового титанового
конденсата объясняются его высокой пористостью.
В ходе рентгенографических исследований ти-
тановых конденсатов, полученных при потенциале
Рис. 7. Микроструктура титанового конденсата в поперечном
сечении; электрическое смещение стальной подложки —180 В,
2000
Рис. 8. СЭМ микрофотографии морфологии поверхности покрытия TiAl, полученного при отрицательном напряжении смещения
—50 В, подаваемого на стальную подложку; 1000 (а); 4000 (б)
Рис. 9. Микрофотографии излома покрытия из сплава TiAl; напряжение смещения на стальной подложке —50 В; 600 (а); 1500 (б)
45
смещения —180 B, установлено, что конденсирован-
ные слои содержат α-фазу и текстуру [001]. Пара-
метры ГПУ решетки имеют следующие значения:
а = 2,9511 А; с = 4,6871; с/а = 1,588.
Полученные результаты показали, что вакуум-
но-дуговое осаждение слоев титана позволяет изме-
нять в широком диапазоне микроструктуру и мор-
фологию покрытий. Наличие микрочастиц в ваку-
умно-дуговых конденсатах в случае использования
нефильтрованной металлической плазмы для фор-
мирования конденсированных слоев на подложках
с малым опорным напряжением дает возможность
получать пористые титановые покрытия с большой
развитой поверхностью. Указанные свойства таких
конденсатов могут быть использованы в медицин-
ской практике для нанесения функциональных по-
крытий на имплантаты из титановых сплавов.
При изучении структуры вакуумно-дуговых
конденсатов титанового сплава Ti—36 мас. % Al тол-
щиной 100…140 мкм, сформированных при потен-
циале электрического смещения на подложке —50 B,
обнаружено, что топография поверхности и попе-
речный излом этих конденсатов близки к структу-
рам чистого титана (рис. 8, 9).
Микроструктура такого конденсата, полученная
на шлифе поперечного сечения, также свидетель-
ствует о наличии несплошностей в объеме конден-
сированного сплава (рис. 10).
Рентгенографический анализ стружки исход-
ного материала и конденсатов титанового сплава
Ti—Al, сформированных на поликоровой и стальной
подложках при потенциалах электрического смеще-
ния соответственно —50 и —180 В, показал, что ма-
териал катода содержит γ—TiAl фазу с гранецент-
рированной тетрагональной решеткой и соответствует
химическому составу Ti—36 мас. % Al (таблица).
Вакуумно-дуговой конденсат, полученный на
поликоровой подложке при электрическом сме-
щении —50 В, включает соединение Ti3Al и α-Ti.
Покрытие на нержавеющей стали, сформированное
при электрическом потенциале —180 В, содержит, по-
мимо этих фаз, дополнительно около 4 мас. %
β—Ti-фазы, что можно объяснить взаимодействием
растущего конденсата с подложкой, содержащей
хромовый β-стабилизатор.
Изменение фазового состава конденсированных
слоев титанового сплава, по сравнению с исходным
материалом, свидетельствует об обеднении конден-
сата алюминием. Анализ диаграммы состояния сис-
темы Ti—Al показал, что содержание алюминия в
конденсатах, сформированных при потенциалах
смещения —50 и —180 В, составляет соответственно
25 и 20 мас. %. Полученные данные свидетельствуют
о зависимости химического состава покрытий от по-
тенциала подложки, а это дает возможность управ-
лять составом посредством данного технологичес-
кого параметра. Изменение состава вакуумно-дуго-
вых покрытий Ti—Al в зависимости от электричес-
кого потенциала на подложке отмечено и в работе
[3], где уменьшение содержания алюминия с уве-
личением напряжения смещения объясняется раз-
личиями в степени ионизации титана и алюминия.
Степень ионизации паровой фазы титана выше
(80 %), чем пара алюминия (50 %). Это приводит к
Рис. 10. Микрофотография полированного шлифа поперечного
сечения титанового покрытия; смещение стальной подложки
— 50 В; толщина слоя 100 мкм; 3000
Рис. 11. СЭМ микрофотографии поперечного сечения вакуум-
но-дугового многослойного Ti/Al покрытия; длительность осаж-
дения субслоев 20 с; 20000
Фазовый состав и параметры кристаллической решетки
исходного Ti—36 мас. % Al сплава и осажденных покрытий
Объект
исследования
Фазовый сос-
тав
a, A c, A c/a
Металличес-
кая стружка
катода
TiAl(γ-фаза) 3,991 4,0536 1,0156
Покрытие
на поликоре
Ti3Al + α-Ti 2,946 α-Ti
5,812 Ti3Al
4,644 α-Ti
4,60 Ti3Al
1,576
0,792
Покрытие
на нержаве-
ющей стали
Ti3Al + α-Ti
+ β-Ti
5,828 Ti3Al
3,214 β-Ti
2,914 α-Ti
4,657 Ti3Al
4,657 α-Ti
0,799
1,598
Рис. 12. Tрансэмиссионная электронная микроскопия микро-
структуры вакуумно-дугового Ti/Al покрытия; 72000
46
более сильному притягива-
нию отрицательно заряжен-
ной подложкой ионов титана,
что способствует изменению
соотношения титана и алюми-
ния в покрытии.
Измерения микротвердости
конденсатов титанового сплава
Ti—Al толщиной 140 мкм (вре-
мя осаждения 60 мин) на при-
боре ПМТ-3М при нагрузке 2 Н
показали, что твердость кон-
денсированных слоев, сфор-
мированных при электричес-
ком смещении —50 и —180 B,
составляет соответственно 5,1
и 5,5 ГПa. Аналогичные изме-
рения микротвердости на
приборе «Микрон-Гамма» с
записью кривых нагружения
и последующей разгрузки по-
казали, что титановый кон-
денсат, осажденный на под-
ложке с потенциалом —50 B,
имеет микротвердость 5,06 ГПa и модуль упругости
140 ГПa. Полученные данные находятся в соответ-
ствии с литературными, свидетельствующими о том,
что уменьшение содержания алюминия от 36 до 20 %
вызывает повышение твердости [4].
Большой научный и практический интерес пред-
ставляют многослойные композиции. Электронно-
микроскопические исследования многослойных
конденсатов системы Ti/Al (общая толщина
40…60 мкм) показали, что в случае толщины череду-
ющихся субслоев 500 и 350 нм при конденсации фор-
мируются слои с модулированной структурой (рис. 11).
Однако при толщине субслоев 200 нм и меньше об-
наружена их фрагментация, связанная с большими
внутренними напряжениями в такой композиции.
Трансмиссионные электронно-микроскопичес-
кие исследования многослойных конденсатов сис-
темы Ti/Al в продольном сечении зафиксировали
наличие мелкозернистой структуры с размером зер-
на 0,3…0,5 и 0,1…0,3 нм в зависимости от толщины
субслоев (рис. 12).
Рентгенографический анализ многослойных
конденсатов установил, что дифрактограммы содер-
жат пики как титана, так и алюминия. Кремниевые
линии использовали в качестве реперных (рис. 13).
Помимо линий чистых металлов, присутствуют так-
же пики интерметаллидов TixAl1—x. Уменьшение пе-
риода модуляции способствует образованию интер-
металлидов различного состава на межслойных по-
верхностях раздела. Зафиксированное удвоение пи-
ков титана и алюминия свидетельствует об образо-
вании твердых растворов алюминия в гексагональ-
ном титане и титана в алюминии. Низкий и широкий
пики на малых градусах отражают наличие в этих
композициях рентгеноаморфной фазы с размером
кристаллитов в несколько нанометров.
Измерения микротвердости многослойных
Ti/Al конденсатов показали, что уменьшение тол-
щины субслоев от 500 до 350 нм вызывает рост твер-
дости от 3,04 до 3,70 ГПa. Однако дальнейшее
уменьшение толщины субслоев (до 200 нм) приводит
к снижению твердости до 2,93 ГПa, что объясняется
фрагментацией субслоев.
Выводы
1. Показано, что вакуумно-дуговая технология
осаждения позволяет получать покрытия с разными
типами металлических структур и различными
свойствами, включая чистые металлы, сплавы и
многослойные композиции.
2. Определено, что высокая степень ионизации
создаваемых в этом случае плазменных потоков в
сочетании с подачей отрицательного потенциала на
подложки дает возможность управлять химическим
составом и физико-механическими свойствами кон-
денсатов в широком диапазоне.
3. Установлено, что варьирование периода мо-
дуляции в многослойных композициях ведет к из-
менению соотношения фазового состава, микрост-
руктуры и твердости таких покрытий.
1. Jiangwei R, Li Yajiang, Feng Tao. Microstructure charac-
teristics in the interface zone of Ti/Al diffusion bon-
ding // Materials Letters 56. – 2002. – November. –
P. 647—652.
2. Ramos A. S., Calinas R., Vieira M. T. The formation of
γ-TiAl from Ti/Al multilayers with different periods //
Surface and Coatings Technology. – 2006. – № 200. –
P. 6196—6200.
3. PalDey S., Deevi S. C., Alford T. L. Cathodic arc deposi-
ted thin film coatings based on TiAl intermetallics // In-
termetallics. – 2004. – № 12. – P. 985—991.
4. Еременко В. Н. Титан и его сплавы. 2-е изд. – Киев:
Академия наук УССР, 1960. – 500 с.
Ин-т пробл. материаловед. им. И. Н. Францевича
НАН Украины, Киев
ООО «РИАЛ», Запорожье
Поступила 13.02.2009
Рис. 13. 2θ рентгенографические развертки многослойных Ti/Al конденсатов с различными
значениями толщины субслоев; I – интенсивность
47
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-95985 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7681 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T01:03:38Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Демчишин, А.В. Голтвяница, В.С. Голтвяница, С.К. Кулак, Л.Д. Токарев, О.А. Автономов, Г.А. 2016-03-08T17:49:51Z 2016-03-08T17:49:51Z 2009 Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения / А.В. Демчишин, В.С. Голтвяница, С.К. Голтвяница, Л.Д. Кулак, О.А. Токарев, Г.А. Автономов // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 2 (95). — С. 42-47. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 0233-7681 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95985 669.187.2 Получены покрытия из Ti, Ti36Al и Ti/Al толщиной 40… 140 мм на подложках из нержавеющей стали и поликора с использованием нефильтрованного вакуумно-дугового осаждения. Морфологию поверхности, поперечные изломы, микроструктуру, микротвердость и плотность конденсатов изучали в зависимости от электрического смещения подложки, температуры катода и и толщины субслоев в многослойных Ti/Al конденсатах. Результаты исследований показали существенное влияние указанных технологических параметров на структуру и свойства вакуумно-дуговых конденсатов. Coatings of Ti, Ti36Al and Ti/Al of 40… 140 mm thickness were produced on substrates of stainless steel and polycor using a non-filtered vacuum-arc deposition. Morphology of surface, transverse fractures, microstructure, microhardness and density of condensates were studied depending on electric displacement of substrate, temperature of cathode and thickness of sublayers in multi-layer Ti/Al condensates. Results of investigations showed the significant effect of the mentioned technological parameters on structure and properties of vacuum-arc condensates. ru Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України Современная электрометаллургия Вакуумно-дуговой переплав Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения Structure and properties of coatings of Ti, Ti36AI, Ti/Al, produced by the method of vacuum arc evaporation Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения Демчишин, А.В. Голтвяница, В.С. Голтвяница, С.К. Кулак, Л.Д. Токарев, О.А. Автономов, Г.А. Вакуумно-дуговой переплав |
| title | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения |
| title_alt | Structure and properties of coatings of Ti, Ti36AI, Ti/Al, produced by the method of vacuum arc evaporation |
| title_full | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения |
| title_fullStr | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения |
| title_full_unstemmed | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения |
| title_short | Структура и свойства покрытий из Ti, Ti36Al, Ti/Al, полученных способом вакуумно-дугового испарения |
| title_sort | структура и свойства покрытий из ti, ti36al, ti/al, полученных способом вакуумно-дугового испарения |
| topic | Вакуумно-дуговой переплав |
| topic_facet | Вакуумно-дуговой переплав |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/95985 |
| work_keys_str_mv | AT demčišinav strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ AT goltvânicavs strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ AT goltvânicask strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ AT kulakld strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ AT tokarevoa strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ AT avtonomovga strukturaisvoistvapokrytiiiztiti36altialpolučennyhsposobomvakuumnodugovogoispareniâ AT demčišinav structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation AT goltvânicavs structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation AT goltvânicask structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation AT kulakld structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation AT tokarevoa structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation AT avtonomovga structureandpropertiesofcoatingsoftiti36aitialproducedbythemethodofvacuumarcevaporation |