Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2009
• Main Authors: Березос, В.А., Ерохин, А.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
• Subjects: Электронно-лучевые процессы
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей. Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities.