Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки

Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быт...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Современная электрометаллургия
Datum:2009
Hauptverfasser: Березос, В.А., Ерохин, А.Г.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96007
record_format dspace
spelling Березос, В.А.
Ерохин, А.Г.
2016-03-08T20:54:57Z
2016-03-08T20:54:57Z
2009
Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
0233-7681
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007
669.187.526:51.001.57
Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей.
Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities.
ru
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Современная электрометаллургия
Электронно-лучевые процессы
Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
Refining of silicon using the method of electron beam melting
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
spellingShingle Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
Березос, В.А.
Ерохин, А.Г.
Электронно-лучевые процессы
title_short Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
title_full Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
title_fullStr Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
title_full_unstemmed Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
title_sort рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
author Березос, В.А.
Ерохин, А.Г.
author_facet Березос, В.А.
Ерохин, А.Г.
topic Электронно-лучевые процессы
topic_facet Электронно-лучевые процессы
publishDate 2009
language Russian
container_title Современная электрометаллургия
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
format Article
title_alt Refining of silicon using the method of electron beam melting
description Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей. Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities.
issn 0233-7681
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007
citation_txt Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT berezosva rafinirovaniekremniâsposobomélektronnolučevoiplavki
AT erohinag rafinirovaniekremniâsposobomélektronnolučevoiplavki
AT berezosva refiningofsiliconusingthemethodofelectronbeammelting
AT erohinag refiningofsiliconusingthemethodofelectronbeammelting
first_indexed 2025-11-29T13:02:13Z
last_indexed 2025-11-29T13:02:13Z
_version_ 1850854930702663680