Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быт...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Современная электрометаллургия |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862615157647081472 |
|---|---|
| author | Березос, В.А. Ерохин, А.Г. |
| author_facet | Березос, В.А. Ерохин, А.Г. |
| citation_txt | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Современная электрометаллургия |
| description | Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей.
Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities.
|
| first_indexed | 2025-11-29T13:02:13Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96007 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7681 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-29T13:02:13Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Березос, В.А. Ерохин, А.Г. 2016-03-08T20:54:57Z 2016-03-08T20:54:57Z 2009 Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 0233-7681 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007 669.187.526:51.001.57 Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей. Experiment on silicon refining was made using the method of electron beam melting of impurities. The content of impurities was measured in samples of silicon before and after EBM in unit INA-3 by the method of mass spectrometry of secondary post-ionized neutral particles. It is shown that the electron beam remelting can be a rather effective method of silicon refining from impurities. ru Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України Современная электрометаллургия Электронно-лучевые процессы Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки Refining of silicon using the method of electron beam melting Article published earlier |
| spellingShingle | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки Березос, В.А. Ерохин, А.Г. Электронно-лучевые процессы |
| title | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки |
| title_alt | Refining of silicon using the method of electron beam melting |
| title_full | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки |
| title_fullStr | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки |
| title_full_unstemmed | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки |
| title_short | Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки |
| title_sort | рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки |
| topic | Электронно-лучевые процессы |
| topic_facet | Электронно-лучевые процессы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007 |
| work_keys_str_mv | AT berezosva rafinirovaniekremniâsposobomélektronnolučevoiplavki AT erohinag rafinirovaniekremniâsposobomélektronnolučevoiplavki AT berezosva refiningofsiliconusingthemethodofelectronbeammelting AT erohinag refiningofsiliconusingthemethodofelectronbeammelting |