Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2009
• Main Authors: Березос, В.А., Ерохин, А.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
• Subjects: Электронно-лучевые процессы
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96007
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки / В.А. Березос, А.Г. Ерохин // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 29-31. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Проведен эксперимент по рафинированию кремния способом электронно-лучевой плавки примесей. Измерено содержание примесей в образцах кремния до и после ЭЛП на установке INA-3 методом масс-спектрометрии вторичных постионизированных нейтральных частиц. Показано, что электронно-лучевой переплав может быт...