Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии

Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагни...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Современная электрометаллургия
Datum:2009
Hauptverfasser: Егоров, С.Г., Червоный, И.Ф., Воляр, Р.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96009
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862742613956755456
author Егоров, С.Г.
Червоный, И.Ф.
Воляр, Р.Н.
author_facet Егоров, С.Г.
Червоный, И.Ф.
Воляр, Р.Н.
citation_txt Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Современная электрометаллургия
description Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов. Process of growing single crystals of silicon by the method of induction crucible-free zonal melting with use of preheating inductor was investigated. Using the mathematical modeling, the parameters of electromagnetic field of phreheating inductor were established and conditions, at which the electromagnetic field of preheating inductor has an influence on the conditions of single crystal growing, were defined.
first_indexed 2025-12-07T20:26:04Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96009
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0233-7681
language Russian
last_indexed 2025-12-07T20:26:04Z
publishDate 2009
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
record_format dspace
spelling Егоров, С.Г.
Червоный, И.Ф.
Воляр, Р.Н.
2016-03-08T20:58:02Z
2016-03-08T20:58:02Z
2009
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
0233-7681
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96009
669.187.58
Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов.
Process of growing single crystals of silicon by the method of induction crucible-free zonal melting with use of preheating inductor was investigated. Using the mathematical modeling, the parameters of electromagnetic field of phreheating inductor were established and conditions, at which the electromagnetic field of preheating inductor has an influence on the conditions of single crystal growing, were defined.
ru
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Современная электрометаллургия
Вакуумно-индукционная плавка
Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
Mathematical model of inductor field effect on coefficient of impurity distribution in silicon
Article
published earlier
spellingShingle Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
Егоров, С.Г.
Червоный, И.Ф.
Воляр, Р.Н.
Вакуумно-индукционная плавка
title Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
title_alt Mathematical model of inductor field effect on coefficient of impurity distribution in silicon
title_full Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
title_fullStr Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
title_full_unstemmed Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
title_short Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
title_sort математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии
topic Вакуумно-индукционная плавка
topic_facet Вакуумно-индукционная плавка
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96009
work_keys_str_mv AT egorovsg matematičeskaâmodelʹvliâniâpolâinduktoranakoéfficientraspredeleniâprimesivkremnii
AT červonyiif matematičeskaâmodelʹvliâniâpolâinduktoranakoéfficientraspredeleniâprimesivkremnii
AT volârrn matematičeskaâmodelʹvliâniâpolâinduktoranakoéfficientraspredeleniâprimesivkremnii
AT egorovsg mathematicalmodelofinductorfieldeffectoncoefficientofimpuritydistributioninsilicon
AT červonyiif mathematicalmodelofinductorfieldeffectoncoefficientofimpuritydistributioninsilicon
AT volârrn mathematicalmodelofinductorfieldeffectoncoefficientofimpuritydistributioninsilicon