Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2009
• Main Authors: Егоров, С.Г., Червоный, И.Ф., Воляр, Р.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
• Subjects: Вакуумно-индукционная плавка
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96009
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагни...