Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»

• Veröffentlicht in: Современная электрометаллургия
• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Демчишин, А.В., Миченко, В.А., Автономов, Г.А., Токарев, О.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
• Schlagworte: Вакуумно-дуговой переплав
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96010
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных покрытий на длинномерные изделия и формирования многослойных конденсатов с микро- и наноструктурой общей толщиной до 100 мкм и больше. Data are presented as regards to changes made in the design of vacuum-arc evaporators of metals, electrical diagram of drive of substrates rotation, pumping equipment of the installation and improvement of protection of flanges, viewing window systems from heat loads to provide the deposition of functional coatings on long products and formation of multi-layer condensates with a micro- and nanostructure of total thickness of up to 100 μm and higher.