Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»

Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных по...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Современная электрометаллургия
Дата:2009
Автори: Демчишин, А.В., Миченко, В.А., Автономов, Г.А., Токарев, О.А.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96010
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862721109616492544
author Демчишин, А.В.
Миченко, В.А.
Автономов, Г.А.
Токарев, О.А.
author_facet Демчишин, А.В.
Миченко, В.А.
Автономов, Г.А.
Токарев, О.А.
citation_txt Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Современная электрометаллургия
description Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных покрытий на длинномерные изделия и формирования многослойных конденсатов с микро- и наноструктурой общей толщиной до 100 мкм и больше. Data are presented as regards to changes made in the design of vacuum-arc evaporators of metals, electrical diagram of drive of substrates rotation, pumping equipment of the installation and improvement of protection of flanges, viewing window systems from heat loads to provide the deposition of functional coatings on long products and formation of multi-layer condensates with a micro- and nanostructure of total thickness of up to 100 μm and higher.
first_indexed 2025-12-07T18:28:50Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96010
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0233-7681
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:28:50Z
publishDate 2009
publisher Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
record_format dspace
spelling Демчишин, А.В.
Миченко, В.А.
Автономов, Г.А.
Токарев, О.А.
2016-03-08T21:02:01Z
2016-03-08T21:02:01Z
2009
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
0233-7681
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96010
621.793.18.06
Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных покрытий на длинномерные изделия и формирования многослойных конденсатов с микро- и наноструктурой общей толщиной до 100 мкм и больше.
Data are presented as regards to changes made in the design of vacuum-arc evaporators of metals, electrical diagram of drive of substrates rotation, pumping equipment of the installation and improvement of protection of flanges, viewing window systems from heat loads to provide the deposition of functional coatings on long products and formation of multi-layer condensates with a micro- and nanostructure of total thickness of up to 100 μm and higher.
ru
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
Современная электрометаллургия
Вакуумно-дуговой переплав
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
Modified vacuum-arc installation «Bulat-3T»
Article
published earlier
spellingShingle Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
Демчишин, А.В.
Миченко, В.А.
Автономов, Г.А.
Токарев, О.А.
Вакуумно-дуговой переплав
title Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
title_alt Modified vacuum-arc installation «Bulat-3T»
title_full Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
title_fullStr Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
title_full_unstemmed Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
title_short Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
title_sort модифицированная вакуумно-дуговая установка «булат-3т»
topic Вакуумно-дуговой переплав
topic_facet Вакуумно-дуговой переплав
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96010
work_keys_str_mv AT demčišinav modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t
AT mičenkova modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t
AT avtonomovga modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t
AT tokarevoa modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t
AT demčišinav modifiedvacuumarcinstallationbulat3t
AT mičenkova modifiedvacuumarcinstallationbulat3t
AT avtonomovga modifiedvacuumarcinstallationbulat3t
AT tokarevoa modifiedvacuumarcinstallationbulat3t