Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2011
• Main Authors: Аснис, Е.А., Пискун, Н.В., Статкевич, И.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2011
• Subjects: Электронно-лучевые процессы
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96283
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background...