Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок
 Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не
 с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96394 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862741989441667072 |
|---|---|
| author | Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. |
| author_facet | Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. |
| citation_txt | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок
Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не
с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при
толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом
прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа.
Представлені результати дослідження адгезії методом склерометріі тонких металевих плівок Тi на
скляних підкладках, що формуються в умовах осадження з одночасним опромінюванням іонами Не з
енергією 30 кеВ при температурі 300 °С. Виявлено, що максимальна адгезія реалізується при товщині
плівки Тi 0,2…0,3 мкм і співвідношенні He/Ti при імплантації рівному 0,3…0,35. При цьому міцність
зчеплення плівки з склом складає 350 МПа.
The results of research of adhesion the method of sclerometry of thin metallic tapes of Тi are presented on glass
substrates, formed in the conditions of besieging with a simultaneous irradiation ions Не with energy 30 keV at the
temperature of 300 °C. It is discovered that maximal adhesion will be realized at the thickness of tape of Тi
0,2…0,3 mkm and correlation of He/Ti during implantation equal 0,3…0,35. Thus durability of coupling of tape
with glass is 350 MРa.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:22:36Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96394 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:22:36Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. 2016-03-15T21:18:47Z 2016-03-15T21:18:47Z 2009 Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96394 621.384.6:620.198 Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок
 Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не
 с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при
 толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом
 прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа. Представлені результати дослідження адгезії методом склерометріі тонких металевих плівок Тi на
 скляних підкладках, що формуються в умовах осадження з одночасним опромінюванням іонами Не з
 енергією 30 кеВ при температурі 300 °С. Виявлено, що максимальна адгезія реалізується при товщині
 плівки Тi 0,2…0,3 мкм і співвідношенні He/Ti при імплантації рівному 0,3…0,35. При цьому міцність
 зчеплення плівки з склом складає 350 МПа. The results of research of adhesion the method of sclerometry of thin metallic tapes of Тi are presented on glass
 substrates, formed in the conditions of besieging with a simultaneous irradiation ions Не with energy 30 keV at the
 temperature of 300 °C. It is discovered that maximal adhesion will be realized at the thickness of tape of Тi
 0,2…0,3 mkm and correlation of He/Ti during implantation equal 0,3…0,35. Thus durability of coupling of tape
 with glass is 350 MРa. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения Адгезіонні властивості тонких металевих покриттів, нанесених на скло методом іонно-стимулюючого осадження Adhesion properties of thin metallic coatings, inflicted on glass the method of the ion-stimulated besieging Article published earlier |
| spellingShingle | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения |
| title_alt | Адгезіонні властивості тонких металевих покриттів, нанесених на скло методом іонно-стимулюючого осадження Adhesion properties of thin metallic coatings, inflicted on glass the method of the ion-stimulated besieging |
| title_full | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения |
| title_fullStr | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения |
| title_full_unstemmed | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения |
| title_short | Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения |
| title_sort | адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96394 |
| work_keys_str_mv | AT marčenkoûa adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT perunnv adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT voevodinvn adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT vanžaaf adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT aleksandrovva adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT marčenkoûa adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT perunnv adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT voevodinvn adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT vanžaaf adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT aleksandrovva adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT marčenkoûa adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT perunnv adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT voevodinvn adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT vanžaaf adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT aleksandrovva adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging |