Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения

Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине пл...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Вопросы атомной науки и техники
Date:	2009
Main Authors:	Марченко, Ю.А., Перун, Н.В., Воеводин, В.Н., Ванжа, А.Ф., Александров, В.А.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Subjects:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96394
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96394
record_format	dspace
spelling	Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. 2016-03-15T21:18:47Z 2016-03-15T21:18:47Z 2009 Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96394 621.384.6:620.198 Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа. Представлені результати дослідження адгезії методом склерометріі тонких металевих плівок Тi на скляних підкладках, що формуються в умовах осадження з одночасним опромінюванням іонами Не з енергією 30 кеВ при температурі 300 °С. Виявлено, що максимальна адгезія реалізується при товщині плівки Тi 0,2…0,3 мкм і співвідношенні He/Ti при імплантації рівному 0,3…0,35. При цьому міцність зчеплення плівки з склом складає 350 МПа. The results of research of adhesion the method of sclerometry of thin metallic tapes of Тi are presented on glass substrates, formed in the conditions of besieging with a simultaneous irradiation ions Не with energy 30 keV at the temperature of 300 °C. It is discovered that maximal adhesion will be realized at the thickness of tape of Тi 0,2…0,3 mkm and correlation of He/Ti during implantation equal 0,3…0,35. Thus durability of coupling of tape with glass is 350 MРa. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения Адгезіонні властивості тонких металевих покриттів, нанесених на скло методом іонно-стимулюючого осадження Adhesion properties of thin metallic coatings, inflicted on glass the method of the ion-stimulated besieging Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
spellingShingle	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title_short	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_full	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_fullStr	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_full_unstemmed	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_sort	адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
author	Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А.
author_facet	Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А.
topic	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
publishDate	2009
language	Russian
container_title	Вопросы атомной науки и техники
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format	Article
title_alt	Адгезіонні властивості тонких металевих покриттів, нанесених на скло методом іонно-стимулюючого осадження Adhesion properties of thin metallic coatings, inflicted on glass the method of the ion-stimulated besieging
description	Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа. Представлені результати дослідження адгезії методом склерометріі тонких металевих плівок Тi на скляних підкладках, що формуються в умовах осадження з одночасним опромінюванням іонами Не з енергією 30 кеВ при температурі 300 °С. Виявлено, що максимальна адгезія реалізується при товщині плівки Тi 0,2…0,3 мкм і співвідношенні He/Ti при імплантації рівному 0,3…0,35. При цьому міцність зчеплення плівки з склом складає 350 МПа. The results of research of adhesion the method of sclerometry of thin metallic tapes of Тi are presented on glass substrates, formed in the conditions of besieging with a simultaneous irradiation ions Не with energy 30 keV at the temperature of 300 °C. It is discovered that maximal adhesion will be realized at the thickness of tape of Тi 0,2…0,3 mkm and correlation of He/Ti during implantation equal 0,3…0,35. Thus durability of coupling of tape with glass is 350 MРa.
issn	1562-6016
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96394
citation_txt	Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT marčenkoûa adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT perunnv adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT voevodinvn adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT vanžaaf adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT aleksandrovva adgezionnyesvoistvatonkihmetalličeskihpokrytiinanesennyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ AT marčenkoûa adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT perunnv adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT voevodinvn adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT vanžaaf adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT aleksandrovva adgezíonnívlastivostítonkihmetalevihpokrittívnanesenihnasklometodomíonnostimulûûčogoosadžennâ AT marčenkoûa adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT perunnv adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT voevodinvn adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT vanžaaf adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging AT aleksandrovva adhesionpropertiesofthinmetalliccoatingsinflictedonglassthemethodoftheionstimulatedbesieging
first_indexed	2025-12-07T20:22:36Z
last_indexed	2025-12-07T20:22:36Z
_version_	1850882346040950784

Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения

Institution

Similar Items