Cover Image

Электронно-лучевая очистка кристаллического кремния

Показано, что электронно-лучевая очистка может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей. Разработана схема очистки кристаллического кремния с использованием электронно-лучевой плавки, сочетающей в себе три этапа рафинирования по механизмам вакуумного и окислительного рафинирования...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Современная электрометаллургия
Date:	2013
Main Author:	Березос, В.А.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2013
Subjects:	Электронно-лучевые процессы
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96699
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Электронно-лучевая очистка кристаллического кремния / В.А. Березос // Современная электрометаллургия. — 2013. — № 3 (112). — С. 19-23. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
by: Березос, В.А., et al.
Published: (2009)

Электронно-лучевая плавка нового высокопрочного титанового сплава Т120
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2017)

Электронно-лучевая плавка слитков жаропрочных сплавов на основе никеля
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2015)

Электронно-лучевая установка УЭ-121
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2003)

Электронно-лучевая технология получения трубных заготовок из сплава на основе циркония
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2004)

Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
by: Аснис, Е.А., et al.
Published: (2011)

Промышленная электронно-лучевая установка УЭ-5812
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2007)

Электронно-лучевая установка для плавки молибдена
by: Мушегян, В.О.
Published: (2010)

Электронно-лучевая плавка восстановленного концентрата молибдена
by: Мушегян, В.О.
Published: (2009)

Электронно-лучевая плавка недробленых блоков губчатого титана
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2006)

Электронно-лучевая выплавка бинарного сплава цирконий–гафний ядерной чистоты
by: Савенко, В.А., et al.
Published: (2016)

Электронно-лучевая плавка жаропрочных сплавов с промежуточной емкостью
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2004)

Одностадийная электронно-лучевая технология осаждения термобарьерных градиентных покрытий
by: Яковчук, К.Ю., et al.
Published: (2003)

Электронно-лучевая установка УЭ-185 для оплавления поверхностного слоя слитков
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2003)

Рафинирование монокристаллов кремния при выращивании их способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки
by: Аснис, Е.А., et al.
Published: (2011)

Электронно-лучевая технология получения конденсатов Ag–NaCl и физико-химические свойства коллоидной системы на их основе
by: Дидикин, Г.Г., et al.
Published: (2017)

Электронно-лучевая выплавка трубчатых заготовок из сплавов NiCrAlY, используемых в качестве катодов для ионно-плазменного нанесения покрытий
by: Гречанюк, Н.И., et al.
Published: (2019)

Электронно-лучевое оплавление поверхности слитков сплавов титана
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2014)

Получение высококачественных слитков-слябов никеля способом электронно-лучевой плавки
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2011)

Получение сплавов с эффектом памяти формы на основе титана способом электронно-лучевой плавки с промежуточной емкостью
by: Березос, В.А., et al.
Published: (2011)

Деформационная обработка сплава Ti—Ni с эффектом памяти формы, полученного способом электронно-лучевой плавки
by: Северин, А.Ю., et al.
Published: (2015)

Развитие технологий электронно-лучевой плавки металлов в ИЭС им. Е. О. Патона НАН Украины
by: Патон, Б.Е., et al.
Published: (2018)

Развитие электронно-лучевой плавки титана в ИЭС им. Е. О. Патона
by: Патон, Б.Е., et al.
Published: (2008)

Особенности получения крупных слитков алюминидов титана в электронно-лучевых установках
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2018)

Производство крупногабаритных слитков жаропрочных сплавов на основе титана способом электронно-лучевой плавки
by: Патон, Б.Е., et al.
Published: (2010)

Особенности выплавки слитков титановых сплавов, легированных оловом, в электронно-лучевых установках
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2016)

Получение высокопрочного титанового сплава ВТ22 способом электронно-лучевой плавки
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2018)

Исследование процесса изготовления горячекатаных труб из слитков титанового сплава ВТ20, полученных способом электронно-лучевой плавки
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2010)

Разработка технологии введения тугоплавких легирующих элементов в сплавы на основе интерметаллида Ti₂AlNb при электронно-лучевой плавке
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2015)

Производство крупногабаритных дисков газотурбинных установок из жаропрочного сплава титана ВТ3-1, полученного способом электронно-лучевой плавки
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2012)

Особенности выплавки слитков титанового сплава ВТ19 в электронно-лучевой установке с промежуточной емкостью
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2016)

Математическое моделирование процессов испарения при выплавке слитков многокомпонентных титановых сплавов в электронно-лучевой установке с промежуточной емкостью
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2013)

Производство дисков для энергетического машиностроения из титанового сплава ВТ6, полученного способом электронно-лучевой плавки
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2012)

Структура и свойства титанового сплава, легированного бором, полученного способом электронно-лучевого переплава
by: Григоренко, Г.М., et al.
Published: (2016)

Структура и свойства титанового сплава ВТ19, полученного способом электронно-лучевой плавки, после термомеханической обработки
by: Ахонин, С.В., et al.
Published: (2017)

Электронно-лучевое рафинирование платины и сплавов на ее основе. Сообщение 2. Электронно-лучевое рафинирование сплавов на основе платины
by: Савенко, В.А., et al.
Published: (2008)

Электронно-лучевое оплавление слитков циркония
by: Тригуб, Н.П., et al.
Published: (2004)

Исследование процессов теплообмена в кристаллизаторе электронно-лучевой установки
by: Наконечный, Н.Ф., et al.
Published: (2006)

Электронно-лучевой переплав отходов чеканочного инструмента
by: Мушегян, В.О.
Published: (2011)

Математическое моделирование электронно-лучевой плавки молибдена
by: Мушегян, В.О.
Published: (2011)