Плазменный процесс получения «солнечного» кремния

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2013
• Main Author: Петров, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2013
• Subjects: Плазменно-дуговая технология
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96702
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Плазменный процесс получения «солнечного» кремния / С.В. Петров // Современная электрометаллургия. — 2013. — № 3 (112). — С. 37-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Выполнен расчет непрерывного высокопроизводительного технологического процесса получения «солнечного» кремния способом плазменного пиролиза моносилана при температуре, превышающей температуру его плавления, когда разложение моносилана проходит через газообразный кремний с последующей гомогенной конд...