Структура конденсатов диоксида титана, полученных способом электронно-лучевого осаждения в вакууме

• Datum: 2014
• 1. Verfasser: Крушинская, Л.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2014
• Schriftenreihe: Современная электрометаллургия
• Schlagworte: Электронно-лучевые процессы
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96873
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура конденсатов диоксида титана, полученных способом электронно-лучевого осаждения в вакууме / Л.А. Крушинская // Современная электрометаллургия. — 2014. — № 2 (115). — С. 36-43. — Бібліогр.: 25 назв. — рос.

Исследованы морфология поверхности, микроструктура, элементный и фазовый составы толстых конденсатов TiO₂, полученных способом EB PVD, в зависимости от температуры конденсации Tп. Экспериментальные исследования конденсатов проводили с применением рентгенодифракционного метода, оптической, растровой и просвечивающей электронной микроскопии. При формировании конденсатов TiO₂ в интервале температур конденсации 120...1200°С зафиксированы те же закономерности, что и для большинства неорганических материалов: формирование наноразмерной до Тп < 0,3Тпл и столбчатой структур в интервале 0,3Тпл < Тп < 0,5Тпл. Дополнительный вклад в размерность и морфологию структуры вносят полиморфные превращения. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур осаждения. В интервале Тп 120...700 °С формируется фрактальная структура с размерностью 2,92...2,95. Приведены результаты измерений электрической прочности конденсатов диоксида титана. Полученные способом вакуумного осаждения различные формы TiO₂ (покрытия, конденсированные материалы, наночастицы) с заданными морфологией и функциональными свойствами являются перспективными для многих направлений в технике и в медицине.