Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
Проанализированы закономерности формирования структурно-фазового состояния конденсатов, полученных ионным распылением. Установлено, что все многообразие выявляемых структурных форм и фазовых состояний в осаждаемых материалах можно описать единым механизмом конденсации при разной степени неравновесно...
Saved in:
| Published in: | Успехи физики металлов |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2008
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98054 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий // Успехи физики металлов. — 2008. — Т. 9, № 3. — С. 357-370. — Бібліогр.: 46 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98054 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Шпак, А.П. Соболь, О.В. Куницкий, Ю.А. 2016-04-08T12:41:46Z 2016-04-08T12:41:46Z 2008 Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий // Успехи физики металлов. — 2008. — Т. 9, № 3. — С. 357-370. — Бібліогр.: 46 назв. — рос. 1608-1021 PACS numbers: 61.10.Eq, 61.10.Nz, 61.43.Dq, 61.46.+w, 68.55.Jk, 68.55.Nq, 81.15.Cd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98054 Проанализированы закономерности формирования структурно-фазового состояния конденсатов, полученных ионным распылением. Установлено, что все многообразие выявляемых структурных форм и фазовых состояний в осаждаемых материалах можно описать единым механизмом конденсации при разной степени неравновесности процесса. Степень неравновесности уменьшается с повышением температуры осаждения. Предложен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием для высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное–кристаллическое β-метастабильной фазы–кристаллическое α-стабильной фазы. Проаналізовано закономірності формування структурно-фазового стану конденсатів, одержаних йонним розпорошенням. Встановлено, що все розмаїття структурних форм та фазових станів у матеріялах, що осаджуються, можна описати єдиним механізмом конденсації за ріжних ступенів нерівноважности процесу. Ступінь нерівноважности зменшується з підвищенням температури осадження. Запропоновано механізм формування конденсату з йонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, котра супроводжується атомовим перемішуванням для високоенергетичних частинок, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок, за якої, у залежности від температури осадження, має місце утворення структурних станів у наступній послiдовности: аморфно-кластерний–кристалічний β-метастабільної фази–кристалічний α-стабільної фази. Regularities of phase and structure state formation of condensates formed by ion sputtering are analyzed. As shown, the all variety of structural forms and phase states revealed in deposited materials can be described by the single condensation mechanism with different degree of the process non-equilibrium. The degree of non-equilibrium decreases with deposition-temperature increasing. The mechanism of condensate formation from ion–plasma flows is proposed and includes two main processes: subsurface implantation accompanied by intermixing for high-energy deposited particles and low-energy-particles’ condensation, at which the following consequence of structure states takes place depending on the deposition temperature: amorphous-cluster–crystalline metastable β-phase–crystalline stable α-phase. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Успехи физики металлов Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением Regularities of Formation of a Phase-Structural State of the Condensates Obtained by Ion Sputtering Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| spellingShingle |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением Шпак, А.П. Соболь, О.В. Куницкий, Ю.А. |
| title_short |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_full |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_fullStr |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_full_unstemmed |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_sort |
закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| author |
Шпак, А.П. Соболь, О.В. Куницкий, Ю.А. |
| author_facet |
Шпак, А.П. Соболь, О.В. Куницкий, Ю.А. |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| container_title |
Успехи физики металлов |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Regularities of Formation of a Phase-Structural State of the Condensates Obtained by Ion Sputtering |
| description |
Проанализированы закономерности формирования структурно-фазового состояния конденсатов, полученных ионным распылением. Установлено, что все многообразие выявляемых структурных форм и фазовых состояний в осаждаемых материалах можно описать единым механизмом конденсации при разной степени неравновесности процесса. Степень неравновесности уменьшается с повышением температуры осаждения. Предложен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием для высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное–кристаллическое β-метастабильной фазы–кристаллическое α-стабильной фазы.
Проаналізовано закономірності формування структурно-фазового стану конденсатів, одержаних йонним розпорошенням. Встановлено, що все розмаїття структурних форм та фазових станів у матеріялах, що осаджуються, можна описати єдиним механізмом конденсації за ріжних ступенів нерівноважности процесу. Ступінь нерівноважности зменшується з підвищенням температури осадження. Запропоновано механізм формування конденсату з йонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, котра супроводжується атомовим перемішуванням для високоенергетичних частинок, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок, за якої, у залежности від температури осадження, має місце утворення структурних станів у наступній послiдовности: аморфно-кластерний–кристалічний β-метастабільної фази–кристалічний α-стабільної фази.
Regularities of phase and structure state formation of condensates formed by ion sputtering are analyzed. As shown, the all variety of structural forms and phase states revealed in deposited materials can be described by the single condensation mechanism with different degree of the process non-equilibrium. The degree of non-equilibrium decreases with deposition-temperature increasing. The mechanism of condensate formation from ion–plasma flows is proposed and includes two main processes: subsurface implantation accompanied by intermixing for high-energy deposited particles and low-energy-particles’ condensation, at which the following consequence of structure states takes place depending on the deposition temperature: amorphous-cluster–crystalline metastable β-phase–crystalline stable α-phase.
|
| issn |
1608-1021 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98054 |
| citation_txt |
Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий // Успехи физики металлов. — 2008. — Т. 9, № 3. — С. 357-370. — Бібліогр.: 46 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT špakap zakonomernostiformirovaniâfazovostrukturnogosostoâniâkondensatovpolučennyhionnymraspyleniem AT sobolʹov zakonomernostiformirovaniâfazovostrukturnogosostoâniâkondensatovpolučennyhionnymraspyleniem AT kunickiiûa zakonomernostiformirovaniâfazovostrukturnogosostoâniâkondensatovpolučennyhionnymraspyleniem AT špakap regularitiesofformationofaphasestructuralstateofthecondensatesobtainedbyionsputtering AT sobolʹov regularitiesofformationofaphasestructuralstateofthecondensatesobtainedbyionsputtering AT kunickiiûa regularitiesofformationofaphasestructuralstateofthecondensatesobtainedbyionsputtering |
| first_indexed |
2025-12-07T19:05:30Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:05:30Z |
| _version_ |
1850877495610441728 |