Ионно-лучевое перемешивание в слоистых системах

• Published in: Успехи физики металлов
• Date: 2010
• Main Author: Зубарев, Е.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2010
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98128
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ионно-лучевое перемешивание в слоистых системах / Е.Н. Зубарев // Успехи физики металлов. — 2010. — Т. 11, № 2. — С. 175-207. — Бібліогр.: 39 назв. — рос.

При малых дозах облучения (ионами He⁺ до Φ ≤ 5⋅10²⁰ ион/м² и ионами Ar⁺ до Φ ≤ 1,3⋅10¹⁸ ион/м²) толщина силицидных фаз на межфазных границах раздела Mo-на-Si и Si-на-Mo увеличивается одинаково и линейно с дозой облучения. Средний атомный состав аморфных перемешанных зон соответствует сплаву состава...