Микроволновой метод определения толщин диэлектрических материалов с использованием излучателя со сканированием диаграммой направленности
Рассматриваются возможности микроволновой метрологии миллиметрового диапазона электромагнитных волн для определения толщин плоских слоев из диэлектрических немагнитных
 материалов, лежащих на металлической подложке или находящихся в свободном пространстве.
 В качестве излучателя ис...
Saved in:
| Published in: | Радиофизика и радиоастрономия |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Радіоастрономічний інститут НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98189 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Микроволновой метод определения толщин диэлектрических
 материалов с использованием излучателя со сканированием
 диаграммой направленности / Н.Л. Евич, Ю.В. Прокопенко // Радиофизика и радиоастрономия. — 2010. — Т. 15, № 4. — С. 462-469. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Рассматриваются возможности микроволновой метрологии миллиметрового диапазона электромагнитных волн для определения толщин плоских слоев из диэлектрических немагнитных
материалов, лежащих на металлической подложке или находящихся в свободном пространстве.
В качестве излучателя используется двухплечевой короткозамкнутый отрезок диэлектрического
волновода и электродинамически связанная с ним диэлектрическая пластина. Приводятся оценки погрешностей определения толщины и диэлектрической проницаемости исследуемого слоя
Розглядаються можливості мікрохвильової
метрології міліметрового діапазону електромагнітних хвиль для визначення товщини плоских шарів із діелектричних немагнітних матеріалів, що знаходяться на металевій підкладці
або у вільному просторі. Як випромінювач
використовується двоплечовий короткозамкнений відрізок діелектричного хвилеводу та електродинамічно пов’язана з ним діелектрична
пластина.
Possibilities of millimeter wavelength microwave
metrology for determination of thicknesses
of flat layers of nonmagnetic dielectric materials
placed on a metal substrate or in free space are
considered. As a radiator, a bilateral short-circuited
fragment of dielectric waveguide with interconnecting
dielectric plate is used. Error estimates
in determination of layer thickness and permittivity
are given.
|
|---|---|
| ISSN: | 1027-9636 |