Особенности формирования диффузионного слоя при ионном азотировании в безводородных средах

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2003
• 1. Verfasser: Каплун, В.Г.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98432
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности формирования диффузионного слоя при ионном азотировании в безводородных средах / В.Г. Каплун // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 2. — С. 141–145. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Изложены особенности формирования диффузионного слоя при ионном азотировании в плазме тлеющего разряда в безводородных газовых средах (смеси азота с аргоном). Показано, что наличие аргона в насыщающей среде меняет кинетику процесса азотирования и фазовый состав поверхностного слоя. Это обуславлив...