Использование динамики спеклов для позиционирования плоской поверхности

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2003
• ISSN: 1999-8074
• Main Authors: Дзюбенко, М.И., Колпаков, С.Н., Пелипенко, В.П., Приёмко, А.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98436
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Использование динамики спеклов для позиционирования плоской поверхности / М.И. Дзюбенко, С.Н. Колпаков, В.П. Пелипенко, А.А. Приёмко // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 2. — С. 174–179. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.

Взаимодействие когерентного излучения с шероховатой поверхностью приводит к образованию в
 пространстве спекл-поля. Приведена краткая история изучения спекл-эффекта. В спекл-поле содержится
 информация о пространственном положении той поверхности, от которой оно образовалось. В статье
 выведены зависимости, связывающие динамические параметры спеклов с параметрами позици
 онирования плоской поверхности. Рассмотрены варианты относительного положения поверхности и
 плоскости линзы. Описана схема эксперимента и представлены результаты измерения пространственного
 положения поверхности. Взаємодія когерентного випромінювання із шорст
 куватою поверхнею приводить до утворення в просторі
 спекл-поля. Приведено коротку історію вивчення
 спекл-ефекту. У спекл-полі міститься інформація про
 просторове положення тієї поверхні, від якої воно утво
 рилося. Устатті виведенізалежності, якізв’язують дина
 мічні параметри спеклів з параметрами позиціювання
 плоскої поверхні. Розглянуто варіанти відносного
 положення поверхні і площини лінзи. Описано схему
 експерименту та представлені результати виміру
 просторового положення поверхні. The interaction of coherent radiation with a rough surface
 results in formation in space of a speckle-field. The brief
 history of study of speckle-effect is adduced. In a specklefield
 the information on the space position of that surface
 is contained, from which it was derived. In the article the
 relations connecting dynamic parameters speckles with
 parameters of positioning of a flat surface are derived.
 The versions of relative position of a surface and plane of
 a lens are considered. The scheme of experiment is
 described and the outcomes of measurement of position
 of a surface are shown.