Температурный коэффициент сопротивления мультислоев с поликристаллической структурой

• Опубліковано в: : Физическая инженерия поверхности
• Дата: 2004
• Автори: Дехтярук, Л.В., Маршалек, М., Проценко, И.Е., Чорноус, А.Н.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98476
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Температурный коэффициент сопротивления мультислоев с поликристаллической структурой / Л.В. Дехтярук, М. Маршалек, И.Е. Проценко, А.Н. Чорноус // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 60–68. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Получены точные и асимптотические выражения для температурного коэффициента сопротивления (ТКС) многослойного образца, состоящего из чередующихся поликристаллических слоев металла разной толщины (di ≠ dj ) и степени чистоты (λi ≠ λj ). Проведено апробацию полученных соотношений для мультислоев на основе Co и Cr, Cu и Cr. Показано, что расчетные и экспериментальные значения ТКС количественно согласуются. Отримані точні та асимптотичні співвідношення для температурного коефіцієнту опору (ТКО) багато-шарових плівок, які складаються з полікристалічних шарів металу різної товщини (di ≠ dj ) та ступеня чистоти (λi ≠ λj ). Проведено апробацію отриманих співвідношень для мультишарів на основі Co і Cr, Cu і Cr. Показано, що розрахункові і експериментальні значення ТКО узгоджуються кількісно. Exact and asymptotic expressions are derived for temperature coefficient of resistance (TCR) for multilayered sample consisting of alternating metallic polycrystalline layers of different thicknesses (di ≠ dj ) and degrees of purity (λi ≠ λj ). Approbation of the obtained relationships for multilayers is performed on the basis of Co and Cr, Cu and Cr. It is shown that calculation and experimental values TCR are quantitative conform.