О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2004
• Main Authors: Кунченко, Ю.В., Кунченко, В.В., Картмазов, Г.Н., Неклюдов, И.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98480
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 102–108. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Микро, -нанослойный характер структуры формирующегося TiNx покрытия устанавливается путем наблюдения относительного изменения интенсивности отраженного лазерного излучения от поверхности конденсации в процессе вакуумно-дугового осаждения титана. Приводятся электронномикроскопические, рентгендифрактометрические, дюрометрические характеристики таких покрытий. Показывается микрослоистый характер их разрушения под воздействием сосредоточенной нагрузки. Высказываются предположения о возможном механизме формирования слоистых покрытий в условиях вакуумно-дугового осаждения. Мікро, -наношаруватий характер структури TiNx покриттів, які формуються, встановлено шляхом спостереження за відносною зміною інтенсивності відбитого лазерного випромінювання поверхнею конденсації під час вакуумно-дугового осадження титану. Наведено електронномікроскопічні, рентгендифрактометричні, дюрометричні характеристики таких покриттів. Показано мікро шаруватий характер їх руйнування під дією засередженного навантаження. Висловлено припущення про можливий механізм формування шаруватих покриттів в умовах вакуумно-дугового осадження. The micro-, nanolayer character of TiNx coating structure is established by observing relative variations in the intensity of laser radiation reflected from the condensation surface during vacuum-arc deposition of titanium. Electron microscopy, X-ray diffractometry and durometry characteristics of the coatings are presented. The microlayered character of their failure under the action of concentrated load is demonstrated. Suggestions are made about a possible mechanism of layered coating formation under vacuum-arc deposition conditions.