О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
Микро, -нанослойный характер структуры формирующегося TiNx покрытия устанавливается путем наблюдения относительного изменения интенсивности отраженного лазерного излучения от поверхности конденсации в процессе вакуумно-дугового осаждения титана. Приводятся электронномикроскопические, рентгендифрак...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2004
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98480 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 102–108. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |