О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2004
• Main Authors: Кунченко, Ю.В., Кунченко, В.В., Картмазов, Г.Н., Неклюдов, И.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98480
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 102–108. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Микро, -нанослойный характер структуры формирующегося TiNx покрытия устанавливается путем наблюдения относительного изменения интенсивности отраженного лазерного излучения от поверхности конденсации в процессе вакуумно-дугового осаждения титана. Приводятся электронномикроскопические, рентгендифрак...