Фареник, В. (2004). Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур. Физическая инженерия поверхности.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Фареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности 2004.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Фареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности, 2004.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.