APA (7th ed.) Citation

Фареник, В. (2004). Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур. Физическая инженерия поверхности.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Фареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности 2004.

MLA (8th ed.) Citation

Фареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности, 2004.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.