Фареник, В. (2004). Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур. Физическая инженерия поверхности.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Фареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности 2004.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Фареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности, 2004.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.