Фареник, В. (2004). Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур. Физическая инженерия поверхности.
Chicago Style (17th ed.) CitationФареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности 2004.
MLA (8th ed.) CitationФареник, В.И. "Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур." Физическая инженерия поверхности, 2004.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.