Cover Image

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур

В обзоре систематизированы основные результаты фундаментальных и прикладных исследований емкостного и
 индуктивного ВЧ разрядов, методы формирования интенсивных ионных потоков низкой энергии, полученные
 автором на протяжении 80-х – 90-х годов. Развита физическая концепция ВЧ разрядо...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2004
Main Author: Фареник, В.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98483
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур / В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 117–145. — Бібліогр.: 85 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items