Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
В обзоре систематизированы основные результаты фундаментальных и прикладных исследований емкостного и индуктивного ВЧ разрядов, методы формирования интенсивных ионных потоков низкой энергии, полученные автором на протяжении 80-х – 90-х годов. Развита физическая концепция ВЧ разрядов низкого давлен...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2004
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98483 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур / В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 117–145. — Бібліогр.: 85 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Голишников, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Голишников, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)
Потоки плазмы стационарной дуги низкого давления
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2005)
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Лисовский, В.А.
Опубліковано: (2006)
Магнитные домены. Анализ магнитных микроструктур
за авторством: Богданов, А.Н.
Опубліковано: (1999)
за авторством: Богданов, А.Н.
Опубліковано: (1999)
Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Разряд низкого давления, индуцированный микроволновым излучением со стохастическими скачками фазы
за авторством: Алисов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Алисов, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)
Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
за авторством: Афанасьева, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Афанасьева, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Модификация полиэтилена низкого давления в присутствии 9, 10-фенантренхинона
за авторством: Пацула, О.В., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Пацула, О.В., та інші
Опубліковано: (1983)
Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели
за авторством: Шоффа, В.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Шоффа, В.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние вакуумно-плазменного рафинирования расплава на качество деформируемых алюминиевых сплавов
за авторством: Наривский, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Наривский, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Очистка воды от нитратов методом обратного осмоса низкого давления
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Условия появления нормального режима разряда постоянного тока низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Лисовский, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик
за авторством: Возный, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Возный, А.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)
Лексико-грамматические разряды синонимов в крымскотатарском языке
за авторством: Шабутова, Л.Э.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Шабутова, Л.Э.
Опубліковано: (2001)
Тематические разряды аббревиатур в современном крымскотатарском языке
за авторством: Белялова, Л.С.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белялова, Л.С.
Опубліковано: (2013)
Семантические разряды обстоятельственных наречий в крымскотатарском языке
за авторством: Аджимамбетова, Г.Ш.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Аджимамбетова, Г.Ш.
Опубліковано: (2010)
Тематические разряды аббревиатур в современном крымскотатарском языке
за авторством: Белялова, Л.С.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Белялова, Л.С.
Опубліковано: (2013)
Эрозия катода и расход массы катодного материала в стационарной дуге низкого давления
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Хороших, В.М.
Опубліковано: (2004)
Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
за авторством: Крышталь, П.Г., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Крышталь, П.Г., та інші
Опубліковано: (2006)
Исследование влияния перемешивания расплава на формирование макро- и микроструктур
за авторством: Борисов, А.Г.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Борисов, А.Г.
Опубліковано: (2014)
Очистка вод, содержащих фтор, обратным осмосом низкого давления для их комплексной переработки
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Высокочастотные силовые трансформаторы для индукционных установок
за авторством: Письменный, А.С., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Письменный, А.С., та інші
Опубліковано: (2002)
О пробое в коаксиальном волноводе атомарного газа низкого давления микроволновым излучением со стохастически прыгающей фазой
за авторством: Загребельный, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Загребельный, И.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)
Сильное электрическое поле и частичные разряды в многожильных кабелях
за авторством: Беспрозванных, А.В.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Беспрозванных, А.В.
Опубліковано: (2010)
Высокочастотные поляритонные волны на границе металл–вакуум
за авторством: Смирнов, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Смирнов, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
Малозатратная модернизация цилиндра низкого давления турбины К-300-240 с учетом переменного режима функционирования турбоагрегата
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Размерные эффекты и высокочастотные свойства ферромагнитной решетки антиточек
за авторством: Криворучко, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Криворучко, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Свойства диспергирующих альвеновских волн. 1. Кинетика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2013)
Свойства диспергирующих альвеновских волн. 3. Гидродинамика (плазма очень низкого, промежуточного и низкого давлений)
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2014)
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2014)
Микро- и наносекундные разряды в газовых пузырях для обеззараживания и очистки воды
за авторством: Бойко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Бойко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2019)
Разработка мероприятий по повышению эффективности части низкого давления турбины К-300-240 при работе в условиях энергорынка
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Гидродинамические особенности газлифтной циркуляции расплава в условиях низкого вакуума
за авторством: Курпас, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Курпас, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)