Levitation of particles in O₂ plasma
Oxygen discharges are scientifically and industrially interesting owing to chemical properties and
 physical effects. These latter are mostly due to the presence of negative ions affecting the plasma
 boundary in front of the surface to be processed. In this contribution we use parti...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2004
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98489 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Levitation of particles in O₂ plasma / B.M. Annaratone, T. Antonova, V.A. Lisovskiy, H.M. Thomas, G.E. Morfill // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 165–167. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862577248161234944 |
|---|---|
| author | Annaratone, B.M. Antonova, T. Thomas, H.M. Morfill, G.E. Lisovskiy, V.A. |
| author_facet | Annaratone, B.M. Antonova, T. Thomas, H.M. Morfill, G.E. Lisovskiy, V.A. |
| citation_txt | Levitation of particles in O₂ plasma / B.M. Annaratone, T. Antonova, V.A. Lisovskiy, H.M. Thomas, G.E. Morfill // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 165–167. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Oxygen discharges are scientifically and industrially interesting owing to chemical properties and
physical effects. These latter are mostly due to the presence of negative ions affecting the plasma
boundary in front of the surface to be processed. In this contribution we use particles levitating in the
Oxygen plasma sheath as a diagnostic of the intermediate positions in the sheath between the plasma
and the solid surface. The experimental results for three particle sizes are compared with the theoretical
levitation force obtained by the modelling of the electronegative plasma sheath and the charging of
particles in it.
Розряди в кисні представляють науковий і технологічний інтерес завдяки хімічнимвластивостямтафізичним
ефектам. Причиною цього є наявність негативних іонів,
що впливають на границю плазми перед оброблюваною поверхнею. У даній роботі використовуються частинки, які левітують в приелектродному шарі кисневої
плазми як діагностичний засіб для проміжних положень у шарі міжплазмою і твердою поверхнею. Експериментальні результати для трьох розмірів частинок
порівнюються з теоретичною силою левітації, отриманоїза допомогою моделювання плазмового шару в
електронегативному газі та процесу зарядки в ньому
частинок.
Разряды в кислороде представляют научный и технологический интерес благодаря химическим свойствам и физическим эффектам. Причиной этого является
наличие отрицательных ионов, воздействующих на границу плазмы перед обрабатываемой поверхностью. В
данной работе используются частицы, левитирующие
в приэлектродном слое кислородной плазмы как диагностическое средство для промежуточных положений
в слое между плазмой и твердой поверхностью. Экспериментальные результаты для трех размеров частиц
сравниваются с теоретической силой левитации, полученной с помощью моделирования плазменного слоя
в электроотрицательном газе и процесса зарядки в нем
частиц.
|
| first_indexed | 2025-11-26T16:22:35Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98489 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-26T16:22:35Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Annaratone, B.M. Antonova, T. Thomas, H.M. Morfill, G.E. Lisovskiy, V.A. 2016-04-15T11:04:03Z 2016-04-15T11:04:03Z 2004 Levitation of particles in O₂ plasma / B.M. Annaratone, T. Antonova, V.A. Lisovskiy, H.M. Thomas, G.E. Morfill // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 165–167. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98489 543.51 Oxygen discharges are scientifically and industrially interesting owing to chemical properties and
 physical effects. These latter are mostly due to the presence of negative ions affecting the plasma
 boundary in front of the surface to be processed. In this contribution we use particles levitating in the
 Oxygen plasma sheath as a diagnostic of the intermediate positions in the sheath between the plasma
 and the solid surface. The experimental results for three particle sizes are compared with the theoretical
 levitation force obtained by the modelling of the electronegative plasma sheath and the charging of
 particles in it. Розряди в кисні представляють науковий і технологічний інтерес завдяки хімічнимвластивостямтафізичним
 ефектам. Причиною цього є наявність негативних іонів,
 що впливають на границю плазми перед оброблюваною поверхнею. У даній роботі використовуються частинки, які левітують в приелектродному шарі кисневої
 плазми як діагностичний засіб для проміжних положень у шарі міжплазмою і твердою поверхнею. Експериментальні результати для трьох розмірів частинок
 порівнюються з теоретичною силою левітації, отриманоїза допомогою моделювання плазмового шару в
 електронегативному газі та процесу зарядки в ньому
 частинок. Разряды в кислороде представляют научный и технологический интерес благодаря химическим свойствам и физическим эффектам. Причиной этого является
 наличие отрицательных ионов, воздействующих на границу плазмы перед обрабатываемой поверхностью. В
 данной работе используются частицы, левитирующие
 в приэлектродном слое кислородной плазмы как диагностическое средство для промежуточных положений
 в слое между плазмой и твердой поверхностью. Экспериментальные результаты для трех размеров частиц
 сравниваются с теоретической силой левитации, полученной с помощью моделирования плазменного слоя
 в электроотрицательном газе и процесса зарядки в нем
 частиц. en Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Levitation of particles in O₂ plasma Левітація частинок у плазмі O₂ Левитация частиц в плазме O₂ Article published earlier |
| spellingShingle | Levitation of particles in O₂ plasma Annaratone, B.M. Antonova, T. Thomas, H.M. Morfill, G.E. Lisovskiy, V.A. |
| title | Levitation of particles in O₂ plasma |
| title_alt | Левітація частинок у плазмі O₂ Левитация частиц в плазме O₂ |
| title_full | Levitation of particles in O₂ plasma |
| title_fullStr | Levitation of particles in O₂ plasma |
| title_full_unstemmed | Levitation of particles in O₂ plasma |
| title_short | Levitation of particles in O₂ plasma |
| title_sort | levitation of particles in o₂ plasma |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98489 |
| work_keys_str_mv | AT annaratonebm levitationofparticlesino2plasma AT antonovat levitationofparticlesino2plasma AT thomashm levitationofparticlesino2plasma AT morfillge levitationofparticlesino2plasma AT lisovskiyva levitationofparticlesino2plasma AT annaratonebm levítacíâčastinokuplazmío2 AT antonovat levítacíâčastinokuplazmío2 AT thomashm levítacíâčastinokuplazmío2 AT morfillge levítacíâčastinokuplazmío2 AT lisovskiyva levítacíâčastinokuplazmío2 AT annaratonebm levitaciâčasticvplazmeo2 AT antonovat levitaciâčasticvplazmeo2 AT thomashm levitaciâčasticvplazmeo2 AT morfillge levitaciâčasticvplazmeo2 AT lisovskiyva levitaciâčasticvplazmeo2 |