Зображення обкладинки

Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде

В настоящей работе исследованы характеристики процесса плазменной очистки технологической камеры, покрытой пленками нитрида кремния и аморфного кремния во фторсодержащих газах CF₄, SF₆ и NF₃ в высокочастотном емкостном разряде. Процесс очистки камеры контролировался с помощью масс-спектрометрии, рег...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2004
Автори:	Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Касань, В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98490
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 168–183. — Бібліогр.: 77 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
за авторством: Лисовский, В., та інші
Опубліковано: (2005)

Плазменная очистка загрязненных вод
Опубліковано: (2012)

Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
за авторством: Крышталь, П.Г., та інші
Опубліковано: (2006)

Плазменная очистка воды и грунта от тяжелых металлов и радионуклидов
за авторством: Петров, С.В.
Опубліковано: (2013)

Плазменная конверсия этанола
за авторством: Черняк, В.Я., та інші
Опубліковано: (2007)

Плазменная нанопорошковая металлургия
за авторством: Цветков, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Плазменная теория смерча
за авторством: Боев, Г.В.
Опубліковано: (2008)

Плазменная конверсия углеродсодержащего сырья
за авторством: Мессерле, В.Е., та інші
Опубліковано: (2012)

О движении электронного потока в высокочастотном поле замедляющей системы клинотрона
за авторством: Корниенко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Ионно-плазменная модификация титановых сплавов
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Гибридная лазерно-плазменная сварка алюминиевых сплавов
за авторством: Кривцун, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)

СВЧ-плазменная технология сжигания угольной пыли
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)

Плазменная электроника в электроядерной энергетике
за авторством: Хижняк, Н.А.
Опубліковано: (2000)

Плазменная резка металла под водой
Опубліковано: (2005)

Тепловая неустойчивость слоистой вязкоупругой прямоугольной призмы при высокочастотном сжимающем нагружении
за авторством: Доля, Е.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Плазменная металлургия и ресурс работы плазмотронов
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Спин-плазменная волна в одномерном металле
за авторством: Гохфельд, В.М.
Опубліковано: (2003)

Гибридная лазерно-плазменная сварка нержавеющих сталей
за авторством: Кривцун, И.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Процессы микропластичности при высокочастотном механическом нагружении аустенитной стали с остаточным мартенситом
за авторством: Соколенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Упругость и усталость деформированных сплавов системы Ti—Si при высокочастотном нагружении
за авторством: Фирстов, С.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Предельное состояние камер высокого давления
за авторством: Мирошниченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Плазменная газификация отходов как метод экономии энергии
за авторством: Братцев, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

К исследованию кинетики малых поверхностных трещин при высокочастотном нагружении лёгких сплавов
за авторством: Васинюк, И.М., та інші
Опубліковано: (2000)

Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)

Плазменная антенна с азимутально-несимметричными бегущими волнами тока
за авторством: Карлов, В.Д., та інші
Опубліковано: (2018)

Ионно-плазменная пассивация поверхности кристаллов CdZnTe
за авторством: Леонов, С.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Релаксационные процессы при высокочастотном механическом нагружении металлов, деформированных при низких температурах
за авторством: Волчок, О.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Плазменная конверсия биоэтанола в сухой синтез-газ
за авторством: Жовтянский, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Плазменная обработка экономно-легированного теплостойкого наплавленного металла
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2001)

Импульсно-плазменная модификация свойств поверхности и нанесение покрытий
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2003)

Лазерно-плазменная сварка нержавеющих сталей и алюминиевых сплавов
за авторством: Кривцун, И.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние диссипации на структуру квазисолитонных состояний при высокочастотном точечном воздействии на нелинейные магнитоупорядоченные
за авторством: Белан, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Анализ основных показателей медицинских гамма-камер
за авторством: Логунова, Г.Л.
Опубліковано: (2010)

Технологический контроль потолочин камер на гипсовых шахтах
за авторством: Амелин, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Конструирование и электронно-лучевая сварка вакуумных камер
за авторством: Назаренко, О.К., та інші
Опубліковано: (2001)

Вероятностная оценка устойчивости конструкции «целик–кровля» камер
за авторством: Бобро, Н.Т., та інші
Опубліковано: (2010)

Генерация озона в тлеющем разряде положительной полярности
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)

Численный анализ источников ионизирующего излучения камер деления
за авторством: Канченко, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Основные закономерности формирования поля напряжений вокруг камер больших размеров
за авторством: Бузило, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Рекомендации параметров технологии заполнения очистных камер твердеющей закладкой
за авторством: Петлеваный, М.В.
Опубліковано: (2012)