Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий
В настоящей работе проведен обзор экспериментальных исследований ионно-пучковой плазмы,
 возникающей в пространстве транспортировки широкого интенсивного ионного пучка низкой
 энергии при условиях, характерных для технологических систем ионно-лучевого травления.
 Описаны эксп...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98720 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий / В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 4–29. — Бібліогр.: 63 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862748758291251200 |
|---|---|
| author | Фареник, В.И. |
| author_facet | Фареник, В.И. |
| citation_txt | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий / В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 4–29. — Бібліогр.: 63 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | В настоящей работе проведен обзор экспериментальных исследований ионно-пучковой плазмы,
возникающей в пространстве транспортировки широкого интенсивного ионного пучка низкой
энергии при условиях, характерных для технологических систем ионно-лучевого травления.
Описаны эксперименты, в которых доказана определяющая роль γ-эмиссии с поверхности
мишени в механизме автокомпенсации пучка. Приведены зависимости температуры
нейтрализующих электронов и потенциала ионно-пучковой плазмы от параметров системы в
различных режимах нейтрализации при использовании атомарных и молекулярных рабочих
газов, а также при наличии катода-нейтрализатора. Описана динамика функции распределения
электронов ионно-пучковой плазмы по энергиям, ее угловая зависимость, принципиальное
различие вида функции распределения электронов по энергиям при наличии и в отсутствие
термо-катода. Рассмотрен вопрос влияния типа ионного источника на общие закономерности
процесса нейтрализации. Изучено влияние термоэлектронной эмиссии на нейтрализацию
широкого интенсивного ионного пучка низкой энергии. Описан способ ионно-лучевой
обработки диэлектрических поверхностей, позволяющий управлять потенциалом поверхности
и обеспечивающий возможность оперативного контроля момента окончания травления
диэлектрика.
У цій роботі ми провели огляд експериментальних досліджень іонно-пучкової плазми, що виникає у просторі транспортування широкого інтенсивного іонного пучка низької енергії за умовах,
типових для технологічних систем іонно-променевого травлення. Описані експерименти, у яких
доведена визначальна роль γ-емісіїз поверхні мішені у механізмі авто-компенсації пучка. Приведені залежності температури нейтралізуючих
електронів та потенціала іонно-пучкової плазми
від параметрів системи у різних режимах нейтралізації за використанням атомарних та молекулярних робочих газів, а також за наявністю катода-нейтралізатора. Описана динаміка функції
розподілу електронів іонно-пучкової плазми по
енергіях, її кутова залежність, принципова різниця вида ФРЕЕ за наявності та у відсутності
термокатода. Розглянуто питання впливу типа
іонного джерела на загальні закономірності процеса нейтралізації. Також був вивчен вплив
термоелектронної емісії на нейтралізацію широкого інтенсивного іонного пучка низької енергії.
У роботі також був описан спосіб іонно-променевої обробки диелектричних поверхонь, що дозволяє керувати потенціалом поверхні та забез-печує можливість оперативного конролю момента завершення травлення диелектрика.
This work contains the review of experimental researches
of ion-beam plasma arising in the transportation
space of wide intense low energy ion beam
under conditions typical for technological systems
of ion-beam etching. The experiments proving
determinative role of γ-emission from a target surface
in the mechanism of auto-compensation of a beam
are described. We provide here the dependencies of
temperature of neutralizing electrons and ion-beam
plasma potential from system parameters in various
modes of neutralization obtained with using atomic
and molecular working gases, as well as with the
presence of cathode-neutralizer. Dynamics of electron
energy distribution function and its angular dependence
is described. The principal difference of
EEDF form is discovered with presence and in absence
of the cathode-neutralizer. The question of ion
source type influence on general regularities of the
neutralization process is considered. The influence
of thermal electron emission on the neutralization
of a wide low energy ion beam is investigated. It is
also described the technique of ion-beam processing
of dielectric surfaces allowing to control the surface
potential and providing a possibility of the operative
determination of the dielectric etching completion.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:56:48Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98720 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:56:48Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Фареник, В.И. 2016-04-17T07:17:27Z 2016-04-17T07:17:27Z 2005 Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий / В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 4–29. — Бібліогр.: 63 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98720 539.188, 533.95 В настоящей работе проведен обзор экспериментальных исследований ионно-пучковой плазмы,
 возникающей в пространстве транспортировки широкого интенсивного ионного пучка низкой
 энергии при условиях, характерных для технологических систем ионно-лучевого травления.
 Описаны эксперименты, в которых доказана определяющая роль γ-эмиссии с поверхности
 мишени в механизме автокомпенсации пучка. Приведены зависимости температуры
 нейтрализующих электронов и потенциала ионно-пучковой плазмы от параметров системы в
 различных режимах нейтрализации при использовании атомарных и молекулярных рабочих
 газов, а также при наличии катода-нейтрализатора. Описана динамика функции распределения
 электронов ионно-пучковой плазмы по энергиям, ее угловая зависимость, принципиальное
 различие вида функции распределения электронов по энергиям при наличии и в отсутствие
 термо-катода. Рассмотрен вопрос влияния типа ионного источника на общие закономерности
 процесса нейтрализации. Изучено влияние термоэлектронной эмиссии на нейтрализацию
 широкого интенсивного ионного пучка низкой энергии. Описан способ ионно-лучевой
 обработки диэлектрических поверхностей, позволяющий управлять потенциалом поверхности
 и обеспечивающий возможность оперативного контроля момента окончания травления
 диэлектрика. У цій роботі ми провели огляд експериментальних досліджень іонно-пучкової плазми, що виникає у просторі транспортування широкого інтенсивного іонного пучка низької енергії за умовах,
 типових для технологічних систем іонно-променевого травлення. Описані експерименти, у яких
 доведена визначальна роль γ-емісіїз поверхні мішені у механізмі авто-компенсації пучка. Приведені залежності температури нейтралізуючих
 електронів та потенціала іонно-пучкової плазми
 від параметрів системи у різних режимах нейтралізації за використанням атомарних та молекулярних робочих газів, а також за наявністю катода-нейтралізатора. Описана динаміка функції
 розподілу електронів іонно-пучкової плазми по
 енергіях, її кутова залежність, принципова різниця вида ФРЕЕ за наявності та у відсутності
 термокатода. Розглянуто питання впливу типа
 іонного джерела на загальні закономірності процеса нейтралізації. Також був вивчен вплив
 термоелектронної емісії на нейтралізацію широкого інтенсивного іонного пучка низької енергії.
 У роботі також був описан спосіб іонно-променевої обробки диелектричних поверхонь, що дозволяє керувати потенціалом поверхні та забез-печує можливість оперативного конролю момента завершення травлення диелектрика. This work contains the review of experimental researches
 of ion-beam plasma arising in the transportation
 space of wide intense low energy ion beam
 under conditions typical for technological systems
 of ion-beam etching. The experiments proving
 determinative role of γ-emission from a target surface
 in the mechanism of auto-compensation of a beam
 are described. We provide here the dependencies of
 temperature of neutralizing electrons and ion-beam
 plasma potential from system parameters in various
 modes of neutralization obtained with using atomic
 and molecular working gases, as well as with the
 presence of cathode-neutralizer. Dynamics of electron
 energy distribution function and its angular dependence
 is described. The principal difference of
 EEDF form is discovered with presence and in absence
 of the cathode-neutralizer. The question of ion
 source type influence on general regularities of the
 neutralization process is considered. The influence
 of thermal electron emission on the neutralization
 of a wide low energy ion beam is investigated. It is
 also described the technique of ion-beam processing
 of dielectric surfaces allowing to control the surface
 potential and providing a possibility of the operative
 determination of the dielectric etching completion. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий Отримання і транспортування іонних пучків малих і середніх енергій Receipt and transportation of ion beams of low and average energy Article published earlier |
| spellingShingle | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий Фареник, В.И. |
| title | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий |
| title_alt | Отримання і транспортування іонних пучків малих і середніх енергій Receipt and transportation of ion beams of low and average energy |
| title_full | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий |
| title_fullStr | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий |
| title_full_unstemmed | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий |
| title_short | Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий |
| title_sort | получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98720 |
| work_keys_str_mv | AT farenikvi polučenieitransportirovkaionnyhpučkovmalyhisrednihénergii AT farenikvi otrimannâítransportuvannâíonnihpučkívmalihíseredníhenergíi AT farenikvi receiptandtransportationofionbeamsoflowandaverageenergy |