Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2005
• Main Author: Фареник, В.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98720
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий / В.И. Фареник // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 4–29. — Бібліогр.: 63 назв. — рос.

В настоящей работе проведен обзор экспериментальных исследований ионно-пучковой плазмы,
 возникающей в пространстве транспортировки широкого интенсивного ионного пучка низкой
 энергии при условиях, характерных для технологических систем ионно-лучевого травления.
 Описаны эксп...