Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в
 плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод
 основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и
 использовании известных значений...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862629654057189376 |
|---|---|
| author | Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. |
| author_facet | Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. |
| citation_txt | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в
плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод
основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и
использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с
помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на
потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки
результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот),
согласующиеся с результатами других работ.
We propose a technique for evaluating the RF
potential at the driven electrode in a technological
gas-discharge device where the direct measurements
are impeded. The technique is based on registering
the coordinates of the turning point at the RF discharge
breakdown curve and using the well-known values
of the electron drift velocity in a gas. The results we
obtained with our technique are close to the data of
direct measuring of the RF potential at the driven
electrode, and they also permit to get the results
reasonable from the physical point of view
(coincidence of right-hand branches of RF discharge
breakdown curves for different frequencies), in
agreement with the results of other papers.
Нами запропонований метод оцінки величини ВЧ
напруги на потенційному електроді в плазмовій
технологічній установці, прямі виміри якого
затруднені. Метод заснований на вимірі координат
точок повороту на кривій запалювання ВЧ розряду
і використанні відо-мих значень дрейфової
швидкості електронів у газі. Отримані за
допомогою нашого методу результати близькі до
даних прямих вимірів ВЧ напруги на потенційному
електроді, а також дозволяють одержати розумні
з фізичної точки результати (збіг правих галузей
кривих запалювання ВЧ розряду для різних
частот), що погоджуються з результатами інших
робіт.
|
| first_indexed | 2025-11-30T10:04:14Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98726 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T10:04:14Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. 2016-04-17T07:55:48Z 2016-04-17T07:55:48Z 2005 Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726 Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в
 плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод
 основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и
 использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с
 помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на
 потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки
 результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот),
 согласующиеся с результатами других работ. We propose a technique for evaluating the RF
 potential at the driven electrode in a technological
 gas-discharge device where the direct measurements
 are impeded. The technique is based on registering
 the coordinates of the turning point at the RF discharge
 breakdown curve and using the well-known values
 of the electron drift velocity in a gas. The results we
 obtained with our technique are close to the data of
 direct measuring of the RF potential at the driven
 electrode, and they also permit to get the results
 reasonable from the physical point of view
 (coincidence of right-hand branches of RF discharge
 breakdown curves for different frequencies), in
 agreement with the results of other papers. Нами запропонований метод оцінки величини ВЧ
 напруги на потенційному електроді в плазмовій
 технологічній установці, прямі виміри якого
 затруднені. Метод заснований на вимірі координат
 точок повороту на кривій запалювання ВЧ розряду
 і використанні відо-мих значень дрейфової
 швидкості електронів у газі. Отримані за
 допомогою нашого методу результати близькі до
 даних прямих вимірів ВЧ напруги на потенційному
 електроді, а також дозволяють одержати розумні
 з фізичної точки результати (збіг правих галузей
 кривих запалювання ВЧ розряду для різних
 частот), що погоджуються з результатами інших
 робіт. Авторы признательны компании Юнаксис
 (UNAXIS France – Displays division, Palaiseau,
 France) за финансовую поддержку исследований и за предоставленное оборудование. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках Визначення величини ВЧ напруги на потенційному електроді в складних технологічних газорозрядних установках RF potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up Article published earlier |
| spellingShingle | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках Лисовский, В. Бут, Ж.П. Ландри, K. Дуэ, Д. Ренар, Г. Касань, В. |
| title | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_alt | Визначення величини ВЧ напруги на потенційному електроді в складних технологічних газорозрядних установках RF potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up |
| title_full | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_fullStr | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_full_unstemmed | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_short | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| title_sort | определение величины вч напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726 |
| work_keys_str_mv | AT lisovskiiv opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT butžp opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT landrik opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT duéd opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT renarg opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT kasanʹv opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah AT lisovskiiv viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah AT butžp viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah AT landrik viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah AT duéd viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah AT renarg viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah AT kasanʹv viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah AT lisovskiiv rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup AT butžp rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup AT landrik rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup AT duéd rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup AT renarg rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup AT kasanʹv rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup |