Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках

Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости элек...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2005
Hauptverfasser: Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98726
record_format dspace
spelling Лисовский, В.
Бут, Ж.П.
Ландри, K.
Дуэ, Д.
Ренар, Г.
Касань, В.
2016-04-17T07:55:48Z
2016-04-17T07:55:48Z
2005
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот), согласующиеся с результатами других работ.
We propose a technique for evaluating the RF potential at the driven electrode in a technological gas-discharge device where the direct measurements are impeded. The technique is based on registering the coordinates of the turning point at the RF discharge breakdown curve and using the well-known values of the electron drift velocity in a gas. The results we obtained with our technique are close to the data of direct measuring of the RF potential at the driven electrode, and they also permit to get the results reasonable from the physical point of view (coincidence of right-hand branches of RF discharge breakdown curves for different frequencies), in agreement with the results of other papers.
Нами запропонований метод оцінки величини ВЧ напруги на потенційному електроді в плазмовій технологічній установці, прямі виміри якого затруднені. Метод заснований на вимірі координат точок повороту на кривій запалювання ВЧ розряду і використанні відо-мих значень дрейфової швидкості електронів у газі. Отримані за допомогою нашого методу результати близькі до даних прямих вимірів ВЧ напруги на потенційному електроді, а також дозволяють одержати розумні з фізичної точки результати (збіг правих галузей кривих запалювання ВЧ розряду для різних частот), що погоджуються з результатами інших робіт.
Авторы признательны компании Юнаксис (UNAXIS France – Displays division, Palaiseau, France) за финансовую поддержку исследований и за предоставленное оборудование.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Визначення величини ВЧ напруги на потенційному електроді в складних технологічних газорозрядних установках
RF potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
spellingShingle Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Лисовский, В.
Бут, Ж.П.
Ландри, K.
Дуэ, Д.
Ренар, Г.
Касань, В.
title_short Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
title_full Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
title_fullStr Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
title_full_unstemmed Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
title_sort определение величины вч напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
author Лисовский, В.
Бут, Ж.П.
Ландри, K.
Дуэ, Д.
Ренар, Г.
Касань, В.
author_facet Лисовский, В.
Бут, Ж.П.
Ландри, K.
Дуэ, Д.
Ренар, Г.
Касань, В.
publishDate 2005
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Визначення величини ВЧ напруги на потенційному електроді в складних технологічних газорозрядних установках
RF potential determination at the driven electrode in complex technological gas discharge set-up
description Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости электронов в газе. Полученные с помощью нашего метода результаты близки к данным прямых измерений ВЧ напряжения на потенциальном электроде, а также позволяют получить разумные с физической точки результаты (совпадение правых ветвей кривых зажигания ВЧ разряда для разных частот), согласующиеся с результатами других работ. We propose a technique for evaluating the RF potential at the driven electrode in a technological gas-discharge device where the direct measurements are impeded. The technique is based on registering the coordinates of the turning point at the RF discharge breakdown curve and using the well-known values of the electron drift velocity in a gas. The results we obtained with our technique are close to the data of direct measuring of the RF potential at the driven electrode, and they also permit to get the results reasonable from the physical point of view (coincidence of right-hand branches of RF discharge breakdown curves for different frequencies), in agreement with the results of other papers. Нами запропонований метод оцінки величини ВЧ напруги на потенційному електроді в плазмовій технологічній установці, прямі виміри якого затруднені. Метод заснований на вимірі координат точок повороту на кривій запалювання ВЧ розряду і використанні відо-мих значень дрейфової швидкості електронів у газі. Отримані за допомогою нашого методу результати близькі до даних прямих вимірів ВЧ напруги на потенційному електроді, а також дозволяють одержати розумні з фізичної точки результати (збіг правих галузей кривих запалювання ВЧ розряду для різних частот), що погоджуються з результатами інших робіт.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726
citation_txt Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT lisovskiiv opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah
AT butžp opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah
AT landrik opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah
AT duéd opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah
AT renarg opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah
AT kasanʹv opredelenieveličinyvčnaprâženiânapotencialʹnomélektrodevsložnyhtehnologičeskihgazorazrâdnyhustanovkah
AT lisovskiiv viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah
AT butžp viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah
AT landrik viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah
AT duéd viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah
AT renarg viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah
AT kasanʹv viznačennâveličinivčnapruginapotencíinomuelektrodívskladnihtehnologíčnihgazorozrâdnihustanovkah
AT lisovskiiv rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup
AT butžp rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup
AT landrik rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup
AT duéd rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup
AT renarg rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup
AT kasanʹv rfpotentialdeterminationatthedrivenelectrodeincomplextechnologicalgasdischargesetup
first_indexed 2025-11-30T10:04:14Z
last_indexed 2025-11-30T10:04:14Z
_version_ 1850857254408945664

Ähnliche Einträge