Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2005
• Main Authors: Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.

Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости элек...