Зображення обкладинки

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках

Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости элек...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2005
Автори:	Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98726
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде
за авторством: Лисовский, В., та інші
Опубліковано: (2004)

О расширении технологических возможностей современных газоразрядных электронно-лучевых пушек
за авторством: Мельник, В.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения
за авторством: Турбин, П.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Исследование влияния величины напряжения на электромагнитные параметры катушки из ферромагнитного проводника
за авторством: Вербовой, А.П., та інші
Опубліковано: (2003)

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления
за авторством: Лисовский, В.А.
Опубліковано: (2006)

Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
за авторством: Севастьянов, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
за авторством: Sevastyanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2009)

Активное сопротивление факельного разряда и частотная зависимость наименьшего для его поддержания напряжения ВЧ-генератора
за авторством: Пузанов, А.О., та інші
Опубліковано: (2014)

Кинетика электровосстановления комплексов родия на родиевом электроде
за авторством: Джасымбеков, А.К., та інші
Опубліковано: (1983)

Электровосстановление водорода на палладиевом электроде особой чистоты
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (1983)

Расчет расширения канала электрического разряда в жидкости, описываемой в потенциальном приближении
за авторством: Каменская, Л.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Вихревой эффект и газодинамика в полом электроде плазмотрона
за авторством: Цыкуленко, К.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Кинетика адсорбции поверхностно-активных частиц на шероховатом электроде
за авторством: Потоцкая, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Туннельное зарождение пар кинков на дислокациях в потенциальном рельефе Пайерлса со случайными искажениями
за авторством: Петухов, Б.В.
Опубліковано: (2018)

Электровосстановление бис-иминодиацетатных комплексов палладия (II) на палладиевом электроде
за авторством: Кублановский, В.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Инверсионно-хронопотенциометрическое определение Mo(VI) на ртутном пленочном электроде
за авторством: Карнаухов, А.П., та інші
Опубліковано: (1983)

Применение методов на основе сетевых моделей в задачах анализа состояния сложных технологических объектов
за авторством: Кучеренко, Е.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Распределение выборки непрерывной случайной величины
за авторством: Фархадзаде, Э.М., та інші
Опубліковано: (2015)

Анализ изменения величины спрэда тренда
за авторством: Коробков, Д.В.
Опубліковано: (2007)

Многозначные величины, последовательности и функции
за авторством: Горбань, И.И.
Опубліковано: (2012)

Моделирование вольт-амперных характеристик несамостоятельного вспомогательного разряда в триодных газоразрядных электронных пушках
за авторством: Мельник, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)

Фотоэлектрохимические процессы, импеданс и шумы на полупроводниковом InP-электроде
за авторством: Колбасов, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2000)

О некоторых базовых установках неоязычества
за авторством: Сысоева, М.С.
Опубліковано: (2007)

Ингибирование разряда металлических ионов на ртутном электроде алифатическими и ароматическими альдегидами
за авторством: Лошкарев, М.А., та інші
Опубліковано: (1984)

Исследование явления запаздывания зажигания высоковольтного тлеющего разряда для повышения рабочего давления газоразрядных электронных пушек
за авторством: Тутык, В.А.
Опубліковано: (2008)

Применение новых газоразрядных и твердотельных полупроводниковых коммутаторов в сильноточных цепях мощных высоковольтных электрофизических установок
за авторством: Баранов, М.И.
Опубліковано: (2009)

О решениях уравнений движения твердого тела в потенциальном силовом поле в случае постоянного модуля кинетического момента
за авторством: Горр, Г.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Новые разработки ВЧ-фокусировки пучков ионов
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Разработка ВЧ-систем для электронных накопителей
за авторством: Андросов, В.П., та інші
Опубліковано: (1999)

Подавление фототока ФЭУ внешним ВЧ-полем
за авторством: Антонов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Взаимодействие солитонов с локализованным ВЧ полем
за авторством: Ковалев, А.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Перенапряжение выделения водорода в щелочном растворе на модифицированном электроде из нержавеющей стали
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)

Емісія оксидів азоту в теплоенергетичних установках
за авторством: Babin M.E., та інші
Опубліковано: (2008)

Емісія оксидів азоту в теплоенергетичних установках
за авторством: Бабін, М.Є., та інші
Опубліковано: (2007)

Спектрофотометрические стандарты 6.5—8.5 звездной величины
за авторством: Пантелеев, С.К.
Опубліковано: (1986)

Прогнозирование величины оборотного капитала предприятия с иностранными инвестициями
за авторством: Зборовская, О.М.
Опубліковано: (2006)

Особенности стадии разряда при образовании адатомов цинка на пироуглеродном электроде из цинкатного раствора
за авторством: Криштоп, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2007)

Высокояркостные ВЧ-источники ионов для ускорительных приложений
за авторством: Возный, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Проектные параметры усовершенствованного резонатора для ВЧ-фотоинжекторов
за авторством: Парамонов, В., та інші
Опубліковано: (2010)