APA (7th ed.) Citation

Петухов, В., Гончаров, А., Коновалов, В., Терпий, Д., & Ступак, В. (2005). Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок. Физическая инженерия поверхности.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Петухов, В.В, А.А Гончаров, В.А Коновалов, Д.Н Терпий, and В.А Ступак. "Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок." Физическая инженерия поверхности 2005.

MLA (8th ed.) Citation

Петухов, В.В, et al. "Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок." Физическая инженерия поверхности, 2005.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.