Петухов, В., Гончаров, А., Коновалов, В., Терпий, Д., & Ступак, В. (2005). Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок. Физическая инженерия поверхности.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Петухов, В.В, А.А Гончаров, В.А Коновалов, Д.Н Терпий, und В.А Ступак. "Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок." Физическая инженерия поверхности 2005.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Петухов, В.В, et al. "Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок." Физическая инженерия поверхности, 2005.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.