APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Петухов, В., Гончаров, А., Коновалов, В., Терпий, Д., & Ступак, В. (2005). Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Петухов, В.В, А.А Гончаров, В.А Коновалов, Д.Н Терпий, und В.А Ступак. Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2005.

MLA-Zitierstil (8. Ausg.)

Петухов, В.В, et al. Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2005.

Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.