Зображення обкладинки

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок

Пленки ТаВ₂ были синтезированы ВЧ магнетронным распылением мишени ТаВ₂ на стеклянные и ситалловые подложки. Исследовано влияние параметров распыления магнетронной распылительной системы на состав и толщину покрытий методами фотометрии и вторичной ионной масс-спектрометрии. Показано, что для по...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2005
Автори:	Петухов, В.В., Гончаров, А.А., Коновалов, В.А., Терпий, Д.Н., Ступак, В.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98759
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок / В.В. Петухов, А.А. Гончаров, В.А. Коновалов, Д.Н.Терпий, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 241–244. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)

Пути уменьшения энергозатратных показателей технологий распылительной сушки
за авторством: Шморгун, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Особенности процесса распылительной сушки высоковлажной биомассы Spirulina platensis
за авторством: Переяславцева, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Прогнозирование структуры титановых слитков-слябов, получаемых способом ЭЛП
за авторством: Жук, Г.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Линейная интерпретация геометрий флагов групп Шевалле
за авторством: Устименко, В.А.
Опубліковано: (1990)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Экспериментальное исследование влияния формы сечения зоны деформирования материала в дезинтеграторах на толщину зоны
за авторством: Надутый, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы
за авторством: Бевза, О.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Пористость углей, получаемых из фенолформальдегидных полимеров различной природы
за авторством: Иванова, Л.С., та інші
Опубліковано: (1983)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Изучение температурного поля профилированных монокристаллов вольфрама, получаемых плазменно-индукционным способом
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Перспективы производства и использования металлических микроламинатов, получаемых вакуумной прокаткой
за авторством: Неклюдов, И.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Kostin, E. G., та інші
Опубліковано: (2008)

Кривизны гиперсфер геометрии Гильберта
за авторством: Борисенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Интерметаллидное жароупрочнение сплавов титана, получаемых способом магнитоуправляемой электрошлаковой плавки
за авторством: Компан, Я.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Свойства BN-наноструктур, получаемых под воздействием концентрированного светового излучения
за авторством: Сартинская, Л.Л., та інші
Опубліковано: (2014)

Квадратичные задачи компьютерной геометрии
за авторством: Косолап, А.И.
Опубліковано: (2010)

Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
за авторством: Добротворская, М.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Создание новых форм иммунологически совместимых трансплантатов, получаемых из пупочного канатика
за авторством: Исаев, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Фазовый состав и структура дисперсных плёнок на основе железа
за авторством: Николайчук, Г.П.
Опубліковано: (2016)

Структура и механические свойства покрытий ZrN, получаемых осаждением потоков плазмы вакуумной дуги
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2014)

Аксиомы неоднородной геометрии
за авторством: Григорьян, Ю.Г.
Опубліковано: (2019)

Новый метод моделирования геометрии наноструктур
за авторством: Андреев, Е.А.
Опубліковано: (2014)

Квадратичные оптимизационные задачи компьютерной геометрии
за авторством: Косолап, А.И.
Опубліковано: (2010)

Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Особенности геометрии катушек многоуровневых обмоток
за авторством: Юрьев, А.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние режимов вакуумно-дугового осаждения в среде азота на фазовый состав, субструктурные характеристики и механические свойства нанокристаллических покрытий системы Мо-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптимизация работы алгоритма распыления информации в системе распределенного хранения
за авторством: Бойко, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Физико-математические аспекты затвердевания отливок разной геометрии в песчаной форме. Сообщение 2
за авторством: Мамишев, В.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние особенностей контактного взаимодействия тонкой полосы с валками на параметры начальной настройки рабочей клети и наименьшую толщину прокатываемой полосы
за авторством: Василев, Я.Д., та інші
Опубліковано: (2019)

Физические механизмы распыления мишеней из SiO₂ ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Оптимизация геометрии наконечника токоподводящего мундштука для механизированной дуговой сварки
за авторством: Абрамов, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)