Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения

Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения

Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривае...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2005
Автори: Кунченко, Ю.В., Кунченко, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98763
record_format dspace
spelling Кунченко, Ю.В.
Кунченко, В.В.
2016-04-17T17:23:04Z
2016-04-17T17:23:04Z
2005
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763
621.793.14; 621.793.184 – 94.001.24
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного покрытия на основе нитридов титана и хрома.
Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка. Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану й хрому.
Analysis of speed distribution of matter flows condensation, which are generated by vacuum-arc source, analyses of covering thickness, as well as the nature of formed layered structures depending on geometry of the system “cathode-substrate” are carried out on the basis of calculation formula given in the present work. Formation process of multi-layer covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered as an example.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
Модель формування шаруватих покриттів, одержуваних на установках типу “булат”
The model of layered films formation obtained in installations of bulat type
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
spellingShingle Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
Кунченко, Ю.В.
Кунченко, В.В.
title_short Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
title_full Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
title_fullStr Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
title_full_unstemmed Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
title_sort модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
author Кунченко, Ю.В.
Кунченко, В.В.
author_facet Кунченко, Ю.В.
Кунченко, В.В.
publishDate 2005
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Модель формування шаруватих покриттів, одержуваних на установках типу “булат”
The model of layered films formation obtained in installations of bulat type
description Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного покрытия на основе нитридов титана и хрома. Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка. Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану й хрому. Analysis of speed distribution of matter flows condensation, which are generated by vacuum-arc source, analyses of covering thickness, as well as the nature of formed layered structures depending on geometry of the system “cathode-substrate” are carried out on the basis of calculation formula given in the present work. Formation process of multi-layer covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered as an example.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763
citation_txt Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kunčenkoûv modelʹformirovaniâsloistoistrukturypokrytiipolučaemyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kunčenkovv modelʹformirovaniâsloistoistrukturypokrytiipolučaemyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ
AT kunčenkoûv modelʹformuvannâšaruvatihpokrittívoderžuvanihnaustanovkahtipubulat
AT kunčenkovv modelʹformuvannâšaruvatihpokrittívoderžuvanihnaustanovkahtipubulat
AT kunčenkoûv themodeloflayeredfilmsformationobtainedininstallationsofbulattype
AT kunčenkovv themodeloflayeredfilmsformationobtainedininstallationsofbulattype
first_indexed 2025-12-07T17:08:52Z
last_indexed 2025-12-07T17:08:52Z
_version_ 1850870157374652416

Схожі ресурси