Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
 потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
 характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод –
 подложка. В качес...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862708109375438848 |
|---|---|
| author | Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. |
| author_facet | Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. |
| citation_txt | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод –
подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного
покрытия на основе нитридов титана и хрома.
Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації
потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також
характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка.
Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану
й хрому.
Analysis of speed distribution of matter flows condensation,
which are generated by vacuum-arc source,
analyses of covering thickness, as well as the
nature of formed layered structures depending on
geometry of the system “cathode-substrate” are carried
out on the basis of calculation formula given in
the present work. Formation process of multi-layer
covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered
as an example.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:08:52Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98763 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:08:52Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. 2016-04-17T17:23:04Z 2016-04-17T17:23:04Z 2005 Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763 621.793.14; 621.793.184 – 94.001.24 Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
 потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
 характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод –
 подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного
 покрытия на основе нитридов титана и хрома. Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації
 потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також
 характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка.
 Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану
 й хрому. Analysis of speed distribution of matter flows condensation,
 which are generated by vacuum-arc source,
 analyses of covering thickness, as well as the
 nature of formed layered structures depending on
 geometry of the system “cathode-substrate” are carried
 out on the basis of calculation formula given in
 the present work. Formation process of multi-layer
 covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered
 as an example. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения Модель формування шаруватих покриттів, одержуваних на установках типу “булат” The model of layered films formation obtained in installations of bulat type Article published earlier |
| spellingShingle | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. |
| title | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_alt | Модель формування шаруватих покриттів, одержуваних на установках типу “булат” The model of layered films formation obtained in installations of bulat type |
| title_full | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_fullStr | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_full_unstemmed | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_short | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_sort | модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763 |
| work_keys_str_mv | AT kunčenkoûv modelʹformirovaniâsloistoistrukturypokrytiipolučaemyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kunčenkovv modelʹformirovaniâsloistoistrukturypokrytiipolučaemyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kunčenkoûv modelʹformuvannâšaruvatihpokrittívoderžuvanihnaustanovkahtipubulat AT kunčenkovv modelʹformuvannâšaruvatihpokrittívoderžuvanihnaustanovkahtipubulat AT kunčenkoûv themodeloflayeredfilmsformationobtainedininstallationsofbulattype AT kunčenkovv themodeloflayeredfilmsformationobtainedininstallationsofbulattype |