Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения - Кунченко, Ю.В.; Кунченко, В.В. (Физическая инженерия поверхности, 2005)
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод –
подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного
покрытия на основе нитридов титана и хрома. Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації
потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також
характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка.
Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану
й хрому. Analysis of speed distribution of matter flows condensation,
which are generated by vacuum-arc source,
analyses of covering thickness, as well as the
nature of formed layered structures depending on
geometry of the system “cathode-substrate” are carried
out on the basis of calculation formula given in
the present work. Formation process of multi-layer
covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered
as an example.