Cover Image

Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения

Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
 потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
 характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод –
 подложка. В качес...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2005
Main Authors: Кунченко, Ю.В., Кунченко, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items