Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2005
• Hauptverfasser: Кунченко, Ю.В., Кунченко, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98763
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривае...