Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий
Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под углом α относительно нормали к оси ряда. Рассмо...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98784 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий / А.Л. Антоненко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 73–85. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98784 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Антоненко, А.Л. 2016-04-17T18:41:49Z 2016-04-17T18:41:49Z 2006 Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий / А.Л. Антоненко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 73–85. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98784 539 Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под углом α относительно нормали к оси ряда. Рассмотрен процесс взаимодействия атомных частиц с поверхностями в области энергий бомбардирующих частиц порядка единиц или десятков электрон-вольт. Рассмотрены основные тенденции поведения величин, которые позволяют сделать предварительные выводы о превалирующих процессах на начальной стадии напыления покрытия на поверхность подложки. Проведений аналіз ефектів, зв’язаних з бомбардуванням поверхні складної форми частинками, у широко використовуваних плазмових процесах нанесення покриттів, об’єктом вивчення якого є регулярна послідовність атомів, яка бомбардується ззовні під кутом α щодо нормалі до осі ряду. Розглянуто процес взаємодії атомних частинок з поверхнями, що бомбардуються в області енергій порядку, одиниць або десятків електрон-вольт. Розглянуто основні тенденції поводження величин, що дозволяють зробити попередні висновки про переважаючі процеси на початковій стадії напилювання покриття на поверхню підкладинки. The analysis of the effects connected to bombardment of a surface of the difficult form by particles, in widely used plasma processes of sputtering the coverings which object of studying is the regular sequence of atoms bombarded from the outside at a angle a concerning a normal to an axis of series. A process of interaction of atomic particles with surfaces in area energies bombarding particles of order from units to tens electron-volt is investigation. Are considered the basic tendencies of behaviour the values which allow to draw preliminary conclusions for prevailing processes at an initial stage sputtering coverings on a surface of a substrate. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий Дослідження впливу параметрів потоку плазми на властивості формованих покриттів Research of influence of parameters of a stream of plasma on properties of formed coverings Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий |
| spellingShingle |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий Антоненко, А.Л. |
| title_short |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий |
| title_full |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий |
| title_fullStr |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий |
| title_full_unstemmed |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий |
| title_sort |
исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий |
| author |
Антоненко, А.Л. |
| author_facet |
Антоненко, А.Л. |
| publishDate |
2006 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Дослідження впливу параметрів потоку плазми на властивості формованих покриттів Research of influence of parameters of a stream of plasma on properties of formed coverings |
| description |
Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под
углом α относительно нормали к оси ряда. Рассмотрен процесс взаимодействия атомных частиц
с поверхностями в области энергий бомбардирующих частиц порядка единиц или десятков
электрон-вольт.
Рассмотрены основные тенденции поведения величин, которые позволяют сделать предварительные выводы о превалирующих процессах на начальной стадии напыления покрытия
на поверхность подложки.
Проведений аналіз ефектів, зв’язаних з бомбардуванням поверхні складної форми частинками,
у широко використовуваних плазмових процесах
нанесення покриттів, об’єктом вивчення якого є
регулярна послідовність атомів, яка бомбардується ззовні під кутом α щодо нормалі до осі ряду.
Розглянуто процес взаємодії атомних частинок з
поверхнями, що бомбардуються в області енергій
порядку, одиниць або десятків електрон-вольт.
Розглянуто основні тенденції поводження величин,
що дозволяють зробити попередні висновки про
переважаючі процеси на початковій стадії напилювання покриття на поверхню підкладинки.
The analysis of the effects connected to bombardment
of a surface of the difficult form by particles, in widely
used plasma processes of sputtering the coverings
which object of studying is the regular sequence of
atoms bombarded from the outside at a angle a
concerning a normal to an axis of series. A process of
interaction of atomic particles with surfaces in area
energies bombarding particles of order from units to
tens electron-volt is investigation.
Are considered the basic tendencies of behaviour the
values which allow to draw preliminary conclusions
for prevailing processes at an initial stage sputtering
coverings on a surface of a substrate.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98784 |
| citation_txt |
Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий / А.Л. Антоненко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 73–85. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT antonenkoal issledovanievliâniâparametrovpotokaplazmynasvoistvaformiruemyhpokrytii AT antonenkoal doslídžennâvplivuparametrívpotokuplazminavlastivostíformovanihpokrittív AT antonenkoal researchofinfluenceofparametersofastreamofplasmaonpropertiesofformedcoverings |
| first_indexed |
2025-12-07T16:10:10Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:10:10Z |
| _version_ |
1850866464236503040 |