Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий
Проведен анализ эффектов, связанных с бомбардировкой поверхности сложной формы частицами, в широко используемых плазменных процессах нанесения покрытий, объектом изучения которого является регулярная последовательность атомов, бомбардируемая извне под углом α относительно нормали к оси ряда. Рассмо...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98784 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий / А.Л. Антоненко // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 73–85. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |