Возный, А., Ям, Д., Кропотов, А., & Фареник, В. (2006). Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик. Физическая инженерия поверхности.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Возный, А.В, Дж.Ю Ям, А.Ю Кропотов, und В.И Фареник. "Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик." Физическая инженерия поверхности 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Возный, А.В, et al. "Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик." Физическая инженерия поверхности, 2006.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.