Возный, А., Ям, Д., Кропотов, А., & Фареник, В. (2006). Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик. Физическая инженерия поверхности.
Chicago Style (17th ed.) CitationВозный, А.В, Дж.Ю Ям, А.Ю Кропотов, and В.И Фареник. "Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик." Физическая инженерия поверхности 2006.
MLA (8th ed.) CitationВозный, А.В, et al. "Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик." Физическая инженерия поверхности, 2006.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.